JJF 1739-2019 数字式激光球面干涉仪校准规范

中华人民共和国国家计量技术规范

JJF1739—2019

数字式激光球面干涉仪校准规范

CalibrationSpecificationforDigitalLaserSphericalInterferometers

2019-09-27发布2019-12-27实施

国家市场监督管理总局发布

JJF1739—2019

数字式激光球面干涉仪校准规范ৣॣ

ॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣৣॣ

ॣॣ

ॣ—ॣ

CalibrationSpecificationforDigitalJJF17392019

ৣॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣ

ॣॣ

ॣৣ

LaserSphericalInterferometers

归口单位全国几何量工程参量计量技术委员会

:

主要起草单位中国科学院光电技术研究所

:

中国测试技术研究院

参加起草单位中国计量科学研究院

:

苏州慧利仪器有限责任公司

本规范委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释

JJF1739—2019

本规范主要起草人

:

侯溪中国科学院光电技术研究所

()

全海洋中国科学院光电技术研究所

()

冉庆中国测试技术研究院

()

宋伟红中国科学院光电技术研究所

()

参加起草人

:

康岩辉中国计量科学研究院

()

韩森苏州慧利仪器有限责任公司

()

JJF1739—2019

目录

引言

………………………(Ⅱ)

范围

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

术语和定义

3……………(1)

面形偏差

3.1……………(1)

峰谷值

3.2………………(1)

值

3.3PVr……………(1)

球面元件F数

3.4……………………(1)

概述

4……………………(1)

计量特性

5………………(2)

示值误差

5.1……………(2)

测量重复性

5.2…………(2)

校准条件

6………………(2)

环境条件

6.1……………(2)

校准用标准器

6.2………………………(2)

校准项目和校准方法

7…………………(3)

示值误差

7.1……………(3)

测量重复性

7.2…………(5)

校准结果表达

8…………(5)

复校时间间隔

9…………(5)

附录值

APVr…………(6)

附录三位置法公式推导

B……………(7)

附录数字式激光球面干涉仪直接比较法校准不确定度评定示例

C………………(9)

附录数字式激光球面干涉仪三位置法校准不确定度评定示例

D…(11)

附录校准证书信息及内页格式

E……………………(15)

Ⅰ

JJF1739—2019

引言

本规范的编写以国家计量校准规范编写规则

JJF1071—2010《》、JJF1001—2011

通用计量术语及定义和测量不确定度评定与表示为基础和

《》JJF1059.1—2012《》

依据

。

本规范为首次发布

。

Ⅱ

JJF1739—2019

数字式激光球面干涉仪校准规范

1范围

本规范适用于数字式激光球面干涉仪的校准

。

2引用文件

本规范引用了下列文件

:

平面等厚干涉仪校准规范

JJF1100—2016

光学零件的面形偏差

GB/T2831—2009

光学和光子学光学元件和光学系统的干涉测量第部分

ISO14999-4:20154:

规定的公差说明和评估

ISO10110(Opticsandphotonics—Interferometricmeasurement

ofopticalelementsandopticalsystems—Part4:Interpretationandevaluationoftoler-

ancesspecifiedinISO10110)

凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本规范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改单适用本规范

,()。

3术语和定义

界定的及以下术语和定义适用于本规范

GB/T2831—2009、ISO14999-4:2015。

面形偏差

3.1surfaceformdeviation

被测光学表面相对于参考光学表面的偏差

。

峰谷值

3.2peak-to-valley(PV)value

面形偏差最大值减去最小值简称值

,PV。

值

3.3PVrrobustpeak-to-valley(PVr)value

面形偏差的项多项式拟合面值加上倍拟合残差面形偏差减去

36ZernikePV3(

项多项式拟合面的均方根值

36Zernike)。

注:多项式定义按:附录标准定义。

ZernikeISO14999-4