ADI-培训介绍...ppt

1、afterdevelopmentinspectionintroduction显影后检查为光刻模块马万里2007.10.15，目录，ADI的一些技巧，ADI作业的流程和方法，产品的各层检查点，常见的光刻监视屏图形和作用，各产品的光刻ADI、缺陷检查、线宽测量：不需要非牛鼻子层、结账台直线测量：第一层不需要、显微镜检查(镜检查)、宏命令检查(光检查)、1 .正面检查、2 .背面检查SHOT内不同位置的读取值的差测量3、两边的间隔，判断是否偏移，进行读取位于SHOT起点，常见的监视屏图形和作用、九方眼PAD层的对位检查、CD BAR曝光量LOGO为Q7测试时的校准点、校准点、字体的读取也是可能的，右

2、侧是曝光量小、正常、大三种情况下，版ID 在几个等级上，对应很多版，例如ROM层，需要注意一盏茶，主要的缺陷类型1. Stage阶梯精度2 .标记接收埕，位置信息采编不正确3 .晶片本身歪斜4 .程序设定处理方法5点的测定/读取值，采用什么样的方式(补偿/DBD )少数短对过大，其他对位良好，可以采用DBD模式。 整个座椅偏向，方向基本一致，采用补偿方式。 (X/Y OFFSET )注意修正的方向和数值。 交换曝光对准标记(交换其他等级的plum曝光，例如metal的cont计程仪plum曝光，但留心曝光量和FOCUS )，两个光标、读取值为0.1，修正值应该设定为多少？ 正/负？ x :右偏

3、移校正左偏移校正y :上偏移校正下偏移校正、常见异常的处理、散焦的处理、产生原因晶片自身污染而局部的起伏过大2 .晶片级污染根据晶片自身的平面度差的处理方法点胶机区域及张数，电影还是晶片级的原因每多张或每批散布胶，用超平板测量了wafer stage平坦度。 擦拭(擦拭后，座椅载物台可能会出现警报，但擦拭过程中激光被遮挡，需要重新定径套定载物台。 注：对于非牛鼻子层的点胶机，可通过显微镜观察图形是否受到影响(变形、模糊、残胶、不显眼)，如果没有受到影响，可直接在流通卡上记录位置后放置。 对于线宽比较大的产品，经常需要这样的处理。 边缘散焦时，如果台不脏，也可以不重新加工。 (对于边缘shot，

4、晶片内的面积很小)，G7需要直接将载物台移至backleft，散焦引起的图案的模糊变形，常见的反常的处理，损伤的处理，产生原因可以擦拭机台擦伤2 .吸笔损伤的处理方法是什么？ 判断是本层还是前层的伤痕(前层没有记录，对本层施加记录)判断本层是橡胶上(挂在胶片上)还是橡胶下伤痕。 (拉薄膜需要酸槽的脱胶)根据损伤面积决定再加工方式。 (酸槽/轨道/干式法)注：脱胶后，用强光灯和显微镜检查，确认残渣是否去除。 胶下伤，胶上伤，各层图形检查要点第一层，检查要点：预校准确2 .版偏向判定方法：1.预校准严重时，可以光检查看到。 在较轻的情况下，在显微镜下，将主平边放大至最末端的die边缘正好进入目镜，

5、水平移动stage，可以看到die边缘距主平边的距离发生变化。 曝光背面图层时，stepper的画面会显示关格拉夫点的倾斜。在重大情况下，即使手动寻找对准标记也无法通过。 2 .版偏转可直接读取版偏转光标、目镜、die、主平边缘、预定位偏压、图形边缘与主平边不平行的版偏转光标、各层的图形检查点N P LDD、检查点：显示区域剩馀2.(多数情况下， 将显微镜聚焦于前一层的图形的人很多，本层的图形看不清楚)、本层的图形，在焦点不对准时，容易误以为有胶，各层的图形检查点POLY，检查点：1.断条2 .虚条3 .连条4 .的连条位置各层的图形检查点CONT、检查点：1.孔隙2 .遮蔽窗(未暴露)的判断

6、方法：1.很多孔隙在POLY条上的突点开启，直接观察POLY条上的孔隙相对于突点边缘的距离，可以迅速判断CONT层的对位状况。 孔的位置有2种，所以在POLY上/源漏区域打开。 盲目的的窗户容易出现在其中一个，在CDSEM的下面。 可分别寻找2种位置，观察孔的颜色，测量CD值。 (个别产品的孔层CD BAR有3组CD，不过也可以在不同的高度进行测量。 有无问题，各层图案检查点金属，检查点：1.偏差2 .连条3 .断条4 .浮动橡胶判定方法：1.长度分布短的条密集，且细，容易连条。 高低差多的橡胶条(显微镜下显示色调焦距长度，橡胶下有黑色痕迹)容易断裂或呈齿状。各层图形检查点PAD、检查点：1.

7、 PAD区域残留说明：1.本层的结账台限制要求较低，图形的PAD显示盒可以直接在PAD铝摇滾乐的中央看到有木有即可。 PAD显示区域重点观察界限线，看是否平坦，边缘是否有残留物。 注意区分METAL/PAD层图形。、ADI的几个技巧是如何判断电影是否涂层，如何判断本层胶片的颜色？ 如何判断上一层的/脱胶/伤痕/水平？ 主要的平角有颜色花纹，打印数字有色影，用测微器观察边缘橡胶的边界部，有橡胶和无橡胶区域的颜色差异，容易区分有橡胶区域和无橡胶区域，熟悉各层产品图形，了解各层图形的特点。 AA、POLY等图案形状完全不同，但各产品的光刻格拉夫图案为什么需要知道各产品的各层图案呢？ 显示区域2 .可能产生缺陷的区域3 .检查各层时应该看到那些地方有哪些种类CMOS (各产品的差异不大)2. DMOS (各产品的差异大)金属男同性恋(各产品的差异不大)获得渠道各产品格拉夫快速摄影图片(片材上的格拉夫快速产品片材ADI格拉夫快速)实物格拉夫快速(各产品的各层格拉夫快速在一张片材上露出)、各产品的照片微影技术格拉夫快速成像、MP w001，014 ring，015 ACTIVE，300，01