AS镀膜培训报告总结2ppt课件

1、AS培训报告,报告人：何维娜 报告日期：2010.12.31,气之作用,氩气：轰击之作用 氧气：氧化镀膜材料之作用 氮气：清洁设备之作用 氦气：检漏之作用,AS镀膜分类,AS镀膜为三大分类：蒸发镀膜 . 溅射镀膜 . 离子镀膜 蒸发镀膜：在高真空中通过加热蒸发方式使镀料转化为气体凝聚在镀物 表面 溅射镀膜：在高真空中利用荷能粒子轰击镀料表面，使被轰击出的粒子 在基片上沉积的一种技术 离子镀膜： 用一定能量的离子轰击靶材，分子脱离其表面，使靶材分子 输运到衬 底上的一种成膜方法,AS镀膜机台部位名称,AS操作面板项目,操作面板九大项目（日.英.中）,监視（生产线监视）,成膜炉数设定,成膜炉数,真

2、空大气时间,ST7低真空壓力,ST2ST6低真空、高真空压力,装载室、鍍膜室、卸载室,玻璃输运地带.流程,ST1高真空.低真空压力,此画面主要是对整条镀膜线的监测.真空时间.大气时间. ST2ST6的成膜数.自动运转许可显示,全体（真空动作监视）,DP.铜管状态,镀膜室内照明,装载室.镀膜室.运行动作完成时的警报,开始.自动停止按钮,手动.自动切换按钮,设备排气系统,主要是对设备局部运行的监视显示，该画面可做关机动作（auto-stop） 镀膜室灯的控制按钮（start-light) 时间设定自动开机操作（点击time进行设定）,搬送（产品输送）,ST2ST6镀膜室，每室可放一套伞具,产品输送

3、进口 一次可进5层,手.自动切换,产品进料数显示地带,输送操作系统,非真空半自动输送操作,手动操作输送.可倒走,该画面是机械内部输送运行的监视.可自动/手动运转.手动可逆行.自动不能,成膜（成膜步骤）,镀膜时间,真空时间,大气时间,ST2ST6腔体镀膜时高真空压力.高电压.低电流.成膜速率的画面,镀膜操作画面,个体炉腔镀膜操作画面（开始.停止.中止）显示.当其中一个发生故障，便会自动停止.也可手动操作,镀膜室运行时（真空度.高电压.低电流.成膜速率）的监测显示 该画面为镀膜操作时的重要一步（输入镀膜程序 ID start）, （处方模块）,多层膜程序,离子清洗程序,材料程序,该画面为（多层膜.

4、清洗.材料程序的相关电流.电压.压力）数据显示,管理 （程序管理）,清洗,登陆口令程序,操作口令,语言调整,ST2ST6成膜设定画面,ST1程序设定画面,仓体产品显示画面,ST7程序设定画面,开机时间设定,各个腔体伞具的状态显示,该画面是针对机械內部.部份程序（真空时间、腔体清洗、charge口令、语言、ID） 的管理,（警报）,排气、输送系统警报画面,ST2ST6警报显示画面,警报问题显示：当问题解释后.再按左下方的复位键,该画面针对三个问题报警（排气系统 . 输送系统 . ST2ST6镀膜室运行）, （冷却水系统）,中央阀门,冷却水通往ST2ST6各设备的管道画面,当机械需进行烘烤时. 可

5、点击此处.进入烘烤程序,冷却水动流画面显示.（可手动.自动）,（保养）,消耗进度,排气系统耗材名称,已消耗时间,每个仓体需保养的画面,当保养完毕后.可点此键 .消耗进度可恢复为0,可消耗时间,MEP与RP介绍及保养,MEP与RP性能：出抽真空,MBP：油量消耗极少，1年/次添加（专用型号-R4）,RP：油量消耗大.只剩3/1程度需立即添油（专用型号R-7) 添加量不能高于油圈上线范围，每周一/六确认油的份量 RP：油易变脏，需常检查，当油色变脏/水进入油中，需全部 更换,MBP与RP共6个,蓝色管道：冷却水.成膜过程中达到降温效果,冷 却 机,冷却机性能：通过铜管在机器内制冷凝结室内气体.达到

6、真空效果,冷却机：3个,4个异常灯： 1.压力不足 2.压力过高 3.压力太低 4.水温过高（20左右正常）,2#测水温（13.0值低）3#测铜管温度.压力 4#入口.出口往返温度 9#冷却机本体温度,4个制冷灯： 1.除霜完了 2.除霜中 3.排气中 4.COOL制冷,当温度达到 -130 时勿碰黑铜管，易破损,离子源保养,钨丝和电极.石英碗为主要保养对象 当操作面板发出警报信号，显示IB（钨丝已到保养时间或者烧断的情况下）可进行保养 钨丝：通常20H需更换一次，保养及更换工作完成后，进入操作面板画面切换Fi12运转即可 电极：用相应的治具-砂纸打磨，把表面的污渍擦干净，用无尘布蘸酒精把电极

7、擦拭干净，再用万用表测试它的绝缘性（重点：电极有大小之分，上面有英文标注，治具也有英文标注，需对应进行） 石英碗：防破，防灰尘，轻拿轻放 保养进行前必须确定离子源电源已断开 保养时所需的治具、砂纸、酒精、无尘布（菜瓜布）内六角、万用表、备品钨丝及图纸,离 子 源,离子源性能：清洗玻璃基片-提高成膜质量 /加速电流产生动能-辅助成膜稳固,钨丝：分内圈钨丝以及外圈钨丝,石英碗一个,电极：2个.上下层各一个，6000炉需更换1次,钨丝电源三根,上下层2个电极,离子源原理： 氩离子通过气体管进入RF（射屏）使气体表面变成离子进入 石英管， 被负电子吸引再加速 而正电子在磁场作用下迅速加速透过电极与NT

8、产生电子结合 产生粒子加速电流产生动能打在玻璃膜层起到清洁.稳固作用,传 送 带,操作面板解说： 开启方式： 打开电源 绿灯按钮 全体（出现异常情况下，按键 可看到异常原因） 红.黄.绿灯性能： 红灯：切断电源，停止运行 黄灯：暂时停止 绿灯：1-10个绿灯全按后，操作画面版按启动键，传送带就可开始运行,RH高温电阻蒸发机,药丸全自动给材系统,26根装载药丸的小钢管，1根可装9个药丸,给材1：药丸全自动给材系统（药丸：80mg） 给材2：钼舟蒸发系统 钼舟热蒸发系统有6组，每镀膜一炉后 废料通过除材系统排出，可镀234炉.成膜216 次后.6组钼舟需更换新的,电 子 枪,电子枪性能：蒸发源 .促进成膜过程 电子枪原理：钨丝加热产生电流.在磁场作用下形成电子束轰击SIO2,电子枪分为：正.负磁极 （此处为正磁极 负磁极在腔内