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文档简介

1、1,Confidential,气瓶柜简介,2,使用气瓶柜的主要目的： 安全输送特气 气体钢瓶操作的主要危险在于： （1）换瓶前钢瓶阀门未关死或管路中残留有害 性气体； （2）换瓶后钢瓶接头未连接好，导致开瓶时气体溢出。 二、保证气体压力和纯度 纯度可通过系统的高气密性避免外部污染和通过过滤器过滤气体中的微粒来实现。 三、提供不间断的供气需求 当处于供气中的钢瓶气量低于设定参数不能满足制程需求时，气柜会自动切换至另一瓶待供气瓶。,3,4,4.产品优势,5,5.气瓶数设计,6,5.特气系统供应能力,7,6. 气瓶柜PID图,7. 气瓶柜PID图,8,7. BSGS PID图,8. BSGS PID

2、图,8. 盘面介绍,部件和管路为316L不锈钢，管内电解抛光工艺。 盘面设计减小内部管路体积 弧型对缝焊管结构 手动工艺盘面配置 真空辅助吹扫 钢瓶衔接管设计,9. 盘面介绍,10,9.工艺盘面可选配置,纯化器 过流量开关 紧急关断阀门 烟感 火焰探测器 毒气探测器 电子称 钢瓶加热功能 盘面加热功能 其他过滤装置 注：以上功能须根据气体性质及客户使用要求选配,10.工艺盘面可选配置,11,10.控制器功能选配置,10英寸彩色触控屏幕显示器 实时气体流向示意图 可配置软件 气动电磁阀 可扩充数字I/O 模拟信号输入 内建阀门计数 四层安全密码 所有报警及关机报警窗口弹出显示 按时间记录报警历史

3、 以太网/RS-485串口网络功能,11.控制器功能选配置,12,12.气瓶柜之操作功能,13,1、气动阀：一般用GN2进行控制，不建议使用CDA,因GN2的供应系统比较稳定，不会因为停电或设备故障而中断。 2、手动阀：主要用于第二道防护，作为第二次确认用，一般于第二道气体的出口端。 3、单向阀：防止特气倒灌到洁净用的PN2系统和抽气用的GN2系统。 4、调压阀：用于调整供应系统的压力调节。 5、压力传感器：是防护系统中很重要的部件，通过它我们可以判断管路是否泄露，相关阀门是否正常开关，同时还可以读取钢瓶的剩余量。 6、真空产生器：利用GN2快速流动产生吸力，将管道中的气体抽出，达到产生真空的目的。 7、过滤器：一般分前端粗滤和后端精滤，过滤气体中的杂质，保护阀门等高纯零部件,13.主要阀件,14,气体输送设备通过以下分析测试（可选） 肉眼检查 控制箱功能测试 氦检漏测试 : 1 x 10-9 mbar. liter/sec. He 保压测试: below 1% after 24 hour 颗粒度测试 : 1 particle 0.1 um/cfm. 水分增量测试 : 100 ppb 氧分增量测试 : 100 p

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