动力系统架构介绍20110825.ppt

1、1,动力系统架构介绍,动力部-袁学申 2011.8.25,时间：14:00-15:30,2,前言,动力部-欧美、台资企业习惯称为Facility Department，随着半导体行业的在大陆的发展，受欧美、台资企业的影响，人们习惯将为FAB提供水、电、气、及其他动力供应的部门为厂务部，简称FAC 国内企业习惯将同种职能部门称呼为动力部门或设施部门，为尊重公司的企业文化和大家习惯，在此称之为动力部，厂务和动力即为同一个部门。,3,课程目的： 了解动力部门的基本职能和作用 熟悉动力设备分布及主要系统构成 了解动力设备与生产的相关及重要性,4,动力部门的职能： 为生产制造部门提供安全的、连续稳定、高

2、品质的动力、水、电、气供应；同时提供清洁、安全的生产环境。 保证动力设施安全稳定运行同时，持续开展节能工作、降低能源消耗是厂务部门的一个重要工作目标。,5,动力系统架构图,6,动力系统组成 电力供应系统 暖通、动力及排气系统 气化系统 给排水系统,7,NF3,DEZ房,特气房,柴油发电机房,LN2.LO2.LAr,氢气站,危险化学品仓库,硅烷站,配电室,锅炉房,102 厂 房,空压机房,冷冻水站,纯水站,PCW系统,冷却水塔,2F空调箱,2F空调箱,厂务系统分布图,废水处理系统,消防 溶解气体：CO2,O2,N2等; 可溶解固体(TDS)：如Ca. Mg. Na. K. Fe. HCO3. N

3、O3. SO4. SiO2等; 有机物(TOC)：油脂、污水、溶劑、等; 微生物：各种细菌,藻类,病素等;,一、纯水系统,24,3.工艺设备, 盘式过滤器: 去除水中较大的颗粒杂质、悬浮物、胶体絮凝、有机颗粒团，降低浊度（需要逆洗）； 超滤:去除水中较小的颗粒杂质、悬浮物、胶体絮凝、有机颗粒团，降低浊度（需要逆洗）； EDI:通过离子交换和电渗析结合的技术去除水中的阴阳离子，整个工艺无酸碱废水产生（需要消耗电能）； Filter: 去除水中的Particle等； RO (Reverse Osmosis) 逆渗透技术: 利用压力差为动力的膜分离过滤技术，将源水中的水分子与无机盐、重金属离子、有机

4、物、胶体、细菌、病毒等杂质分离出来 UV :在波长254nm的紫外灯辐射下，对细菌DNA分子结构可造成不可逆的破坏，从而达到杀灭和抑制细菌的繁殖的目的。,25,纯水系统工艺流程图,26,二、工艺冷却水系统（PCW）,27,三、工业废水处理系统,说明：工业废水由车间HF废水收集管道收集后进入HF总管，经过废水站处理，满足国家三级废水排放标准后达标排放。 三级排放标准：COD 400ppm PH:69 F：20ppm Zn：5ppm SS:400ppm,28,四、厂区排水系统,厂区排水系统： 采用清污分流，污废分流原则，雨水直接由厂区雨水管网收集，然后通过市政雨水管网进入湘江，工业废水经过厂区废水站处理达到国家三级排放标准后，与污水汇合排入市政污水管网，经过园区污水处理厂处理达标后排入湘江。,29,结语,作为整个制造设备的动力、部分原料的供应来源，动力系统设备稳定性、安全性直接影响到整个工厂的生产运营，与制造设备故障特性不同在于：动力设备故障后影响范围广,产能损失巨大，严重时将导致整个生产线的停产。 高品质，高稳定性且连续的动力供应标准，对负责动力系统的运行、维护、管理的人员提出了非常严格的要求，除正常的24小时设备巡检外，