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文档简介

1、缺陷培训教材,技研示,时间:12/05/07,干菲林 短路,技研示,不良表面特征: 短接处成弧形,低于线面,主要形成原因 1、磨板不良:板面磨板不净或 有点状氧化。 2、辘板不良:辘板参数有异常 或压辘有点状擦花。,相关改善对策: 1、检查磨板机磨痕有无异常 2、检查烘干后板面有无点状氧化 3、检查辘板参数有无异常 4、检查辘板机压辘有无点状擦花,干菲林缺陷-渗镀,技研示,主要形成原因 1、磨板不良:板面磨板不净或 烘干后有片状氧化。 2、辘板不良:辘板参数有异常 或压辘有条状擦花。,干菲林缺陷-菲林松,技研示,相关改善对策: 1、保证生产菲林清洁的品质。 2、把曝光玻璃台面、Mylar等处清

2、洁干净 3、检查辘板机有无菲林碎不良,若有,通知维修部维修OK。 4、检查手动曝光框有无脱漆或密封圈有无老化脱胶等现象。,干菲林缺陷-曝光垃圾,技研示,相关改善对策: 1、通知维修员对有故障之辘板机进行维修。,干菲林缺陷-膜皱,技研示,干菲林 开路,技研示,干菲林缺陷-片状残胶开路,技研示,相关改善对策: 1、检查黑孔烘干缸有无残胶。 2、检查干菲林磨板机烘干段之过滤棉 纱有无老旧、残破。 3、检查干菲林磨板烘干段之风刀、风 琴管有无黑渣。 4、检查干菲林洗油板有无洗油不净。,干菲林缺陷-点状残胶开路,技研示,干菲林缺陷-圆状残胶开路,技研示,干菲林缺陷-菲林碎开路,技研示,干菲林缺陷-曝光垃

3、圾开路,技研示,相关改善对策: 1、若为定区域曝光不良,则需检查所用菲林的遮光度是否符合要求。 2、检查曝光灯管有无超期使用,检查设定能量是否符合要求,检查曝光能 量均匀性是否符合要求。 3、检查曝光员的赶气动作是否规范。,干菲林缺陷-曝光不良开路,技研示,相关改善对策: 1、检查图形电镀上料手臂处之气管有无漏气之现象。,干菲林缺陷-油污开路,技研示,图形电镀缺陷,技研示,图形电镀缺陷-板面铜丝,技研示,不良表面特征: 铜面或线面上长出一根铜丝,板面铜丝可以造成短路。,主要形成原因 1、铜缸金属杂质过多。,相关改善对策: 1、检查铜缸过滤效果。,图形电镀缺陷-开路,技研示,不良表面特征: 线路

4、的断开处还残留铜,主要形成原因 1、线路上有油污污染; 2、镀锡不良; 3、镀锡后水洗太脏。,相关改善对策: 1、检查图形电镀各药水缸有无油污现象; 2、检查镀锡后水洗是否太脏。,图形电镀缺陷-针孔,不良表面特征: 孔环边、线路边或PAD边出现小圆形的凹点。,主要形成原因 1、搅拌不均匀或过滤机漏气; 2、镀液有机污染严重; 3、湿润剂偏底; 4、 D/F显影不良。,相关改善对策: 1、检查铜缸有无打气不均、过滤机漏气现象; 2、对镀液进行碳芯过滤或碳处理; 3、分析调整湿润剂浓度; 4、监控显影参数及显影后水洗效果。,技研示,图形电镀缺陷-夹膜短路,技研示,不良表面特征: 夹膜是密线路间短路

5、,在短路处的形状是比较平整且不光亮有点哑色,短路的铜比线路低。,主要形成原因 1、镀铜厚度偏厚。,相关改善对策: 1、检查整流机输出有无异常,并校正电流偏差在+/-5之内; 2、电流太大,重新试做FA; 3、镀铜均匀性差,调整镀铜均匀性大于85; 4、修改菲林线宽间距;并在线路独立处设计假铜位,以使电力分布均匀。,不良表面特征: 擦花干膜处呈条状短路。,主要形成原因 1、搬运不当; 2、上板员工操作不当或掉板。,相关改善对策: 1、规范员工搬运、上板动作; 2、前处理掉的板捞起后检查有无擦花干膜,如有需返洗油重做干膜。,图形电镀缺陷-擦花干膜,技研示,PTH、板电缺陷,技研示,PTH、板電缺陷

6、-PTH後铜面擦穿,技研示,不良表面特征: 在擦穿的區域內是沒有電鍍銅的,直接可以看出基材。,主要形成原因 1、板角擦穿; 2、磨板機卡板;,相关改善对策: 1、规范员工搬运、上下板动作; 2、檢查磨板機運輸狀況。,PTH、板電缺陷-板電鍍銅不均,技研示,不良表面特征: 鍍銅不均在蝕刻時會有蝕刻不凈、殘銅、蝕刻毛邊現象。,主要形成原因 1、鍍銅均勻性差。,相关改善对策: 1、合理、均勻擺布鈦籃位置;加裝陽極擋板及浮架合理開孔; 2、檢查鈦籃內銅球有無空洞、銅缸有無打氣不均現象; 3、檢查夾子是否在同一條線; 4、上板時板與板不能間隔太大、疊板,在兩端上陪鍍銅條。,PTH、板電缺陷-板面燒焦,技

7、研示,不良表面特征: 燒焦處銅面結晶粗糙並呈顆粒狀,銅後嚴重偏厚,易出現在高電流區域。,主要形成原因 電流過大;鍍液溫度過低;硫酸、硫酸銅濃度低;光劑含量低。,相关改善对策: 1、重新試做FA,檢查整流機輸出有無異常; 2、檢查鍍液溫度是否在范圍內; 3、分析調整硫酸、硫酸銅、光劑濃度。,PTH、板電缺陷-板面銅粒,技研示,不良表面特征: 板面附著微小顆粒,用手摸有刺手的感覺。,主要形成原因 1、鍍液臟;陽極袋破損;銅球含P量低;蝕夾不凈;缸中掉板過多;打空缸電流。,相关改善对策: 1、倒槽清洗缸中雜物,對槽液進行過濾;更換破損的陽極袋; 2、化驗銅球含P量,標準含P為0.03-0.06; 3

8、、提高硝掛槽硝酸濃度。,PTH、板電缺陷-疊板無光澤,不良表面特征: 疊板位置無光澤,且銅厚偏薄,严重则导致孔内无铜。,主要形成原因 1、夾子螺絲鬆動; 2、掛具不齊。,相关改善对策: 1、上板時需鎖緊夾子螺絲; 2、調整更換不齊的掛具。,技研示,PTH、板電缺陷-孔口毛刺,不良表面特征: 孔口要比旁边铜凸出。,主要形成原因 1、钻孔参数不符合要求。,相关改善对策: 1、换掉钻咀或重磨钻咀; 2、减少钻咀在孔中停留时间。,技研示,PTH、板電缺陷-铜渣塞孔,不良表面特征: 孔壁有凸出物,完全塞死的孔会导致开路。,主要形成原因 1、孔内粉尘及孔边披峰去除不净; 2、铜缸内铜渣杂质多。,相关改善对

9、策: 1、改善钻孔吸尘及去毛刺效果; 2、倒槽并清洗铜缸内杂物。,技研示,技研示,电镀铜问题及解决方法,问题1. 各镀铜层间附着力不良,技研示,问题1. 各镀铜层间附着力不良(續),技研示,问题2. 二次铜(线路镀铜)出现局部漏镀或阶梯镀,问题2. 二次铜(线路镀铜)出现局部漏镀或阶梯镀(續),问题3. 板子正反两面镀层厚度不均,问题4. 镀层过薄,问题5. 全板面镀铜之厚度分布不均,问题5. 全板面镀铜之厚度分布不均(續),问题6. 镀液槽面起泡,问题7. 通孔铜壁出现破洞,问题7. 通孔铜壁出现破洞(續),问题8. 镀铜层烧焦,问题8. 镀铜层烧焦(續),问题8. 镀铜层烧焦(續),问题9. 镀铜层表面长瘤(尤以孔口最易出现铜瘤),问题9. 镀铜层表面长瘤(尤以孔口最易出现铜瘤)(續),问题10. 镀铜层出现凹点,问题11. 镀层厚度分布不均匀,问题11. 镀层厚度分布不均匀(續),问题11. 镀层厚度分布不均匀(續),问题12. 镀层出现条纹状,问题12. 镀层出现条纹状(續),问题13.

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