PCB制造内层.ppt

1、內層課教育訓練教材,廣大科技(廣州)有限公司,前處理,壓膜,印刷,曝光,顯影,蝕刻,去膜,檢修,蝕刻線,內層簡介,內層目的 製作多層板的內層板 內層製程,結束,壓合課,前處理,內層前處理的目的: (1) 清潔板面 (2) 粗化銅面, 增加膜與銅面的附著力 (3) 達到一定的板面溫度 內層前處理之三種方式: (1) 噴砂研磨 (2) 尼龍刷刷磨 (3) 微蝕 各表面處理方式優缺點 前處理收板之重點注意項目 破水試驗,刷痕測試及整刷,結束,首頁,上一頁,上一級,內層壓膜,設備名稱: HAKUTO MACH-61OI 自動壓膜機 目 的: 利用一定的壓力和溫度將干膜附著于基板表面作為影像轉移之媒介

2、適用範圍: 各種內層基板的壓膜 壓膜流程如下: 內層干膜簡介 改變壓膜條件以減少短.斷路的發生,前處理,曝光,中心歸位,粘塵,中心歸位,貼膜,壓膜,收板,靜置,結束,首頁,上一級,上一頁,印刷,目的: 將油墨均勻塗附于基板表面作為影像轉移之媒介 內層油墨印刷之三種方式: (1) 手動印刷 (2) 連陸滾輪塗布 (3) 群翊滾輪塗布 油墨與干膜之比較: (1) 油墨成本比干膜低 (2) 油墨不受板面凹陷及折痕影響 (3) 油墨結合 Roller Coating生產, 生產效率較高 (4) 干膜板線路邊緣品質較好 (5) 壓膜操作較簡單, 準備時間短, 適合樣品及小量產料號生產 (6) Rolle

3、r Coating 對無塵室要求較高, 易受灰塵影響,結束,首頁,上一級,上一頁,目 的: 利用乾膜(油墨)的光聚合特性, 進行影像轉移 使用設備: ORC- 5KW 手動曝光機 (乾膜板,底片為棕片) ORC- 7KW 手動曝光機 (油墨板,底片為棕片) CBT- 7KW 半自動曝光機 (油墨板,底片為黑片) 曝光流程: 曝光底片簡介 曝光注意事項,曝光,壓膜,印刷,顯影前放板,蝕刻線,底片檢查,底片安裝,放板,曝光,靜置,靜置,結束,首頁,上一級,上一頁,內層蝕刻線,目 的: 將轉影至干膜上的圖像通過化學方法轉變為板面線路 生產流程: 蝕刻線大保養步驟 警報的解除步驟: (1) 按警報消音

4、 (2) 看異常顯示面板 (3) 按異常顯示面板上紅燈指示的異常情況以相應的方法處理 (4) 異常情況解決了,紅燈指示器會一閃一閃,請再按警報消音,顯影前放板,顯影,蝕刻,去膜,檢修,收板,曝光,結束,首頁,上一級,上一頁,內層檢修,目的: 對內層品質加以檢驗, 并對在允許修補范圍內的不良品加以修補 檢測方式: (1) 目測, 主要針對量產之大銅面板, 視情況採取全檢或抽檢(每20片抽檢4片) (2) AOI 檢測 主要檢查項目 (1) 對准度 (2) 靶位 (3) 短, 斷路 (4) 破洞 (5) 線寬 (6) 殘銅 (7) 線路缺口 (8) 線路凸起 (9) PAD (10) 阻流塊 (1

5、1) 孔內殘銅 作業方式 報廢標準,結束,首頁,上一級,上一頁,設備名稱: PUMIFLEX 2000 噴砂研磨機 表面處理方式: 利用尼龍軟毛刷的轉動來帶動火山灰對銅面進行研磨 適用範圍: 各種厚度的內層基板的壓膜,印刷前處理. 噴砂研磨線工作流程如下: 操作參數的控制標准: 酸洗濃度:25%(硫酸) 輸送速度:0.23m/min 刷痕寬度:0.81.2cm 水破時間:15S以上 烘干溫度:5080 火山灰濃度:1015%(體積比) 操作步驟 操作注意事項,前處理噴砂研磨線,入料,酸洗,水洗,噴砂研磨,水洗,吸干,吹干,烘干,出料,結束,首頁,上一級,上一頁,噴砂線操作步驟,開啟主電源 機器

6、進行自動檢測“警報復位”燈亮,“急停指示燈亮”,自檢完成后“警報復位”燈自動熄滅,按“急停復位”. 按“F1”顯示機器工作的當前狀態,查看當前生產基板的尺寸,厚度,是否跟現在要做的料號一樣,否則,就要更改參數. 按“F2”,修改尺寸,參數狀態,通過移動光標進行修改條件把光標移到“Length”和“Width”輸入板長度和寬度,按“F4”確認,回車,之后按“F1”顯示輸入參數之后的狀態看是否已接收新的工作狀態 做板前,每班要對刷幅進行一次測試按“F8”,彈出主菜單,選擇第七項,按啟動,機器進行一次熱機,根據屏幕提示按“F3”,進行刷幅測試 確認正常之后,按自動,啟動,即可. 當要換料號時,尺寸不

7、符時,可根據第四項進行修改參數.,結束,首頁,上一級,上一頁,噴砂線操作注意事項,放板要使用非整列方式, 以防刷輪磨損不均勻 放板應端正(勿歪斜),放板距離應與壓膜機速度相匹配 更換不同料號時,應更換設置中的板長,板寬,板厚的數值 不平整板子翹(起),弄平整后放入磨刷,防止卡板 前處理兩段機器(噴砂機與酸洗水洗機)的輸送速度應保持一致 隨時注意板面處理情況是否良好 不可在機內有板狀況下更改機器操作參數 勿將火山灰液直接排入水溝 火山灰液添加時不可過滿(液面應比溢流口略低),結束,首頁,上一級,上一頁,設備名稱: STM-320 刷磨機 表面處理方式: 用600目的尼龍刷磨輪刷磨板面 適用範圍:

8、 厚度為15mil及以上的內層基板的前處理. 刷磨線工作流程如下: 操作參數的控制標准: 酸洗濃度: 0.81.2%(硫酸) 輸送速度: 2.53.5m/min 刷磨電流: 2.03.5A 烘乾溫度: 60 10 產品操作前注意事項,前處理刷磨線,入料,酸洗,水洗,刷磨,水洗,吸干,吹干,烘干,出料,結束,首頁,上一級,上一頁,產品操作前注意事項,接收基板及放板作業前確認板子的料號,數量與版本是否符合流程單,有無刮傷,避免混料 注意搬運時勿造成刮傷 作業前調整刷磨壓力,檢查刷痕是否均勻深淺是否適中 投板機要調整好投板速度,避免投板時間太短而疊板,或時間太長而使生產效率降低(板間距保持在5cm左

9、右) 投板要用非整列方式,以防刷輪局部磨損 不同料號但相同尺寸的板子,放板前要用油性筆在板邊劃線以作區別,結束,首頁,上一級,上一頁,適用範圍:適用于內層垂直式Roller Coating的前處理 原理說明: (1)脫脂段用(6%10%)的CT-115水溶液在加溫(425).加壓1.70.5 kg/cm2 下以(3.51)m/min的速度完成除去基板銅面的油脂等雜物 (2)微蝕段用1315%的硫酸(H2SO4). 912%的雙氧水和CT-177的混和液在加壓(1.70.5)kg/cm2. 加溫(355)下以(3.51)m/min的速度使板面無氧化. 微蝕線工作流程如下: 入料 脫脂 水洗*2段

10、 微蝕 浸泡式酸洗 水洗*4段 酸洗 市水洗*3 吸干 吹干 烘干 出料 微蝕各段參數,前處理微蝕線,結束,首頁,上一級,上一頁,微蝕各段參數,結束,首頁,上一級,上一頁,各表面處理方式優缺點,結束,首頁,上一級,上一頁,前處理收板之重點注意項目,一. 收板時,需看流程卡后面的對內層所附注的內容,如:是否需要壓滿膜, 板作業結搆是否特殊及基板兩面的Cu皮厚度是否一樣等,特殊狀況必 須立即告知領班,及相關各站; 二. 流程卡的張數是否足夠; 三. 轉移單上的轉板數量同實際數量是否相符(六層或以上的板按層別分開); 四. 樣品.補料等特殊料號,是否在轉移單上注明; 五. 轉移單上的料號 . 尺寸

11、. 數量 . 批號是否與流程卡上一致; 六. 板的實際尺寸是否與流程卡上一致; 七. 板的厚度是否與流程卡上一致; 八. 板的銅箔厚度特殊(不為1oz)時,須在紙墊板上注明并告知于相關各站; 九. 檢查板面是否有露底材,刮傷,嚴重氧化等不良; 十. 在來板登記卡上作好登記; 十一.暫存資材的板子要登記在暫存登記卡上,取回后要注明.,結束,首頁,上一級,上一頁,破水試驗,刷痕測試及整刷,破水性試驗 將待測板放入水中,然后以45拿出,如果板子上有一層均勻分布的水膜并能保持15秒不會破,就証明板子清潔度好. 刷痕寬度量測 (1) 刷磨機 用一塊氧化的板子,送入到磨刷機的刷輪位置,停止輸送帶,開啟刷磨

12、,調節刷輪控制把手,調至適當時,記錄下電流表的數值,把刷調起關閉刷磨,起動輸送帶(后退),把板子取出來 (2) 噴砂機 取一塊氧化的板子,設定好尺寸後,按“F8”,彈出主菜單,選擇第七項,按自動啟動,機器進行一次熱機,根據屏幕提示按“F3”,進行刷幅測試 (3)若刷痕寬度均勻,可直接測量它的寬度;若刷痕一端比另一端粗,需調整平行度;若刷痕兩端粗而中間細,則需整刷 整刷 (1) 左右兩端刷痕寬度不一致時先調整磨刷輪軸水平度 (2) 用整刷板整刷十五分鐘左右 (3) 整平后,放板要左右交替放板,結束,首頁,上一級,上一頁,內層干膜簡介,內層用干膜為長興HT-715干膜, 其類型為負片工作膜中的半水

13、溶液型干膜 干膜的結構 PE分隔膜:半透明之聚烯類薄膜,阻止光阻劑粘附 在PET膜上,起分隔作用, 一般厚度為 25m. 光阻劑層:由含酸樹脂等成份組成,影像轉移作用, 內層用干膜,光阻劑層厚度為33m, 即1.3mil. PET膜(Mylar):透明之聚酯類超薄膜,起保護光阻層, 防止氧氣與光阻劑層結合等功能,PET 較PE對于光阻劑有較強之附著性,一般 厚度為16m. 干膜的保存: 溫度:202 溼度5515% 置放位置:放于干膜架上,并且不能重疊,用黑色膠紙包好,PE,光阻劑,PET,結束,首頁,上一級,上一頁,改變壓膜條件以減少短.斷路發生,增加壓膜時壓力:因為Mylar支持膜很堅韌,

14、使得光阻劑分子不易被擠入基板表面的凹洞里,增加壓力,干膜較易被擠入基板凹洞里,內層壓膜壓力最適為 4.04.5kg/cm2. 降低壓膜時速度:增加干膜與熱壓滾輪之間的接觸時間,可得到較高溫度,更易軟化流動,使得光阻材料可填入凹洞中,但太慢會導致產量減少,最適速度為 2.53.5m/分. 增加熱壓滾輪溫度:可稍微減少介面空泡的產生,但溫度過高,會產生有害氣體,使干膜材料流動太大,而粘到熱壓滾輪上面,造成清理及維護的煩惱,使干膜受熱聚合,造成顯影不良,最適溫度 100120. 增加板面預熱溫度:可減少介面空泡的生成,效果比增加熱壓滾輪溫度要有效些,還能使鄰近銅箔的干膜更易流動,而填塞表面之缺陷,最

15、適溫度4050. 使用較厚的干膜:提供更多可用的光阻劑,用以填塞表面凹陷,但成本會增高,內層用干膜光阻劑厚1.3mil(33m).,結束,首頁,上一級,上一頁,設備名稱: 大震手動印刷機 使用範圍: 適用於內層厚度15mil及以上之基板的油墨印刷 生產流程: 使用油墨特性及技術參數 操作注意事項,前處理,曝光,手動印刷,收板,印I面,檢查,烘烤,靜置,印II面,檢查,烘烤,靜置,結束,首頁,上一級,上一頁,使用油墨特性及技術參數,油墨特性 (1) 油墨品牌型號:圖達LM-3000 (2) 外觀:藍色粘稠液體 (3) 粘度:11030PS(25.VT-04) (4) 使用條件: 使用120250

16、目的網板,油墨需經振盪 (5) 膜厚:1015um (6) 曝光:7KW曝光機 手動印刷技術參數 刮刀印刷角度:030 氣壓:57kg/cm2 印刷速度:412m/min 網版高度:612格 烘烤溫度:7585,時間815分鐘,結束,首頁,上一級,上一頁,操作注意事項,作業前需檢查刮刀有無破損,缺口,如發現立即更換 油墨要攪拌均勻 印刷前需檢查網版是否有破損,針孔等不良,如發生,應更換 印刷取板時手不得觸及成型區,并有序豎直放于板框內,避免碰傷,刮傷 印刷時隨時檢視待印板是否刷磨不良,板髒, 印第二面時,檢視第一面印刷是否有不良品,有則挑出退洗 印刷不良之板子,退洗前,還要烘烤34分鐘 框架在

17、使用時,應鎖緊,防止因框架松掉而造成退洗,結束,首頁,上一級,上一頁,連陸水平滾輪塗布機,適用範圍: 0.4mm以上之內層基板的油墨塗布 生產流程: 操作注意事項,前處理,曝光,粘塵,中心歸位,塗布,烘烤,收板,靜置,結束,首頁,上一級,上一頁,操作注意事項,滾輪為貴重.核心部件, 進行與滾輪有關工作時, 必須小心操作, 不可將除刮刀外的物品.硬體物件與滾輪碰撞或接觸, 操作刮刀時須小心操作, 以免傷到滾輪 清潔烘烤部分須關閉電源, 確認將上層支杆放到凹槽內及機內溫度低于50度后, 方可進行作業 使用酒精清潔時, 不可將其混入油墨桶內, 否則,油墨需重新更換. 滾輪前段傳動勿放置物品.工具之類

18、以免傷及滾輪 用無塵布.紙清理滾輪兩耑及刮刀油墨時, 刮刀需退開至最大極限 清潔機台.機身殘墨時, 需關閉電源作業 清理作業, 油墨供應管口須用膠套或布將其堵塞.防止溢流 暫停做板及生產中必須保証滾輪油墨供應量 正常調機, 非指定人員請勿調動溫度控制,傳動速度等部分 停機時間較長請用泡棉將滾輪覆蓋保護,結束,首頁,上一級,上一頁,適用範圍: 各種內層基板的油墨塗布 生產流程: 注意事項,群翊自動塗布機,前處理,曝光,暫存機,粘塵,中心歸位,塗布,烘烤,收板,靜置,結束,首頁,上一級,上一頁,注意事項,非操作人員嚴禁操作. 在操作過程中.塗布輪上無油墨不可轉動塗布輪 每日檢查滴油量 在清潔過程中

19、感應器必須用酒精清洗 入料滾輪必須順轉否則會轉坏滾輪 油墨桶上加油墨之開關在有壓力下不可打開 在裝塗布輪前必須確認 “手動操作畫面1-壓膜單元-油墨刮刀縮,塗布滾輪運轉(停),塗布滾輪壓輪縮” 在自動狀態下,人不能進入塗布區內以免撞傷 在機器正常運轉情況下人不得進入夾式爐之收料區域 在正式量產中夾爪,旋臂夾爪必須兩小時清潔一次,結束,首頁,上一級,上一頁,底片的搆成: 由光面,藥膜層和保護膜組成 區分光面與藥膜面的方法: (1) 光面較光滑 (2) 藥膜面的字為反字 底片檢查要項: (1) 料號,版本 (2) 對准度 (3) 線路是否有斷,短路,缺口等 (4) 是否有刮傷 底片使用注意事項 (

20、1) 棕片清潔用無塵布粘碧麗珠清潔,嚴禁用酒精擦洗 (2) 棕片使用次數為800次,黑片為2000次, 超過作報廢處理 (3) 勿放于高溫,高溼場所 (4) 禁止置于髒物及尖銳物體表面,曝光底片簡介,結束,首頁,上一級,上一頁,曝光能量測定: 每班一次, 用21格測試, 實現68格 均勻度測試: 每星期一次, 用能量度測試5個點(如圖), 其值為 (最小值/最大值)*100%, 達到80%以上為之合格,否則更換燈管(燈管 使用壽命15000次左右) 作業要項: (1) 曝光時,使用底片的料號與流程單一致 (2) 刮氣要確實(先橫掃趕氣, 待吸氣完成後再刮氣, 刮氣時要 刮過整塊板子) (3)

21、眼不要長時間直視紫外線強光,防止眼睛受到傷害 (4) 撕Mylar,放板時,要與蝕刻線人員配合好 (5) 確實做好底片清潔檢查和首片(曝光25次清潔一次底片, CBT曝光機作業及線路板曝25次做一次首片, 大銅面板 50次做一次首片),曝光注意事項,結束,首頁,上一級,上一頁,顯影放板注意事項,首片 (1) 首片曝光后應靜置2分鐘以上 (2) 用油性筆在第2層板邊畫一條35CM左右長度的直線,以示首片 (3) 首片需通知顯影人員后才可放出 問題板 (1) 問題板應集中在一起放出 (2) 放出時應用油性筆在板邊用箭頭以直角的方式標示出問題點 (3) 放出問題板時,第一片及最后一片需打豎放且通知顯

22、影人員 六層板,多層板,不同料號板,銅箔厚度特殊板 (1) 六層板及多層板應將不同層次錯開來放,以免混層 (2) 放不同料號板應將第一片打豎放,以示換料號,避免相同尺寸板混料 (3) 放銅箔特殊的板子時,需知會蝕刻線人員待其確認后方可放板 下一頁,結束,首頁,上一級,上一頁,顯影放板注意事項,21格能量測試板 放21格能量測試板時應先知會顯影人員后才可打豎放出 干膜板與油墨板 (1) 放干膜板時需注意:刀尖勿刮至成型區內,Mylar需撕干淨 (2) 放油墨板時應注意其板面是否有刮傷,漏印,漏曝及大面勣露銅 (3) 放板需注意靶位是否齊全,阻流塊是否齊全,有無曝偏 退洗板 (1) 退洗板應有退洗

23、卡跟隨,退洗卡需確實填寫 (2) 退洗板置于暫存架時每個料號置1格,不可將不同料號放置于 同一格中,以免混料 (3) 退洗板應確實做好退洗記錄,并及時退洗 放板方向 (1) 一般大銅面板應將靶位朝上,料號朝左放出 (2) 線路板應將線路面朝下放出 上一頁,結束,首頁,上一級,上一頁,蝕刻線大保養步驟,保養項目: 顯影槽 蝕刻槽 去膜槽 水洗槽 目視段: 用清水洗 烘干段: (1) 用吸塵器吸塵 (2) 清洗風刀(用布擦或水洗) 機器表面 地面,結束,首頁,上一級,上一頁,顯影槽,蝕刻槽大保養步驟,顯影槽: (1) 槽內清洗步驟: 水洗(1530min) 硫酸洗(濃度4%,30min) 水洗(1

24、530min) NaOH(濃度2%,30min) 水洗(30min) (2) 清洗濾心,門窗,過濾網,噴嘴(用清水洗) 蝕刻槽: (1) 槽內清洗步驟: 水洗(1530min) NaOH(濃度3%,30min) 水洗(1530min) 鹽酸洗(濃度4%,30min) 水洗(2次,次/30min) (2) 清洗檔水滾輪,濾心(網),門窗,噴嘴,吸水海棉輪(用清水洗),結束,首頁,上一級,上一頁,去膜槽,水洗槽大保養步驟,去膜槽: (1) 槽內清洗步驟: 水洗(1530min) 硫酸洗(濃度2%,30min) 水洗(2次,次/30min) (2) 清洗滾輪(鹽酸洗加清水洗) (3) 清洗噴嘴(清水

25、洗) 水洗槽: (1) 顯影后水洗槽清洗: NaOH洗(濃度1%,15分鐘) 水洗(30min) (2) 蝕刻,去膜后水洗槽清洗: 鹽酸洗(濃度1%,15分鐘) 水洗(30min),結束,首頁,上一級,上一頁,顯影,目的: 利用未反應乾膜(油墨)之溶解特性, 去除未曝光的乾膜, 保留曝光後聚合部分作為蝕刻阻劑 流程: 顯影液組成: Na2CO3溶液(1.20.2%) 消泡劑(少量,依廠家不同而異) 工作參數: 顯影溫度: 283 顯影噴壓: (1.70.3)kg/cm2 顯影速度: 35m/min 操作注意事項,顯影前放板,半檢,蝕刻,顯影I,顯影II,水洗,結束,首頁,上一級,上一頁,顯影操

26、作注意事項,噴嘴與濾網 噴嘴: 顯影段, 段前用圓錐形(如圖) 顯影后段用扇形(如圖) 濾網: 避免干膜殘渣或其他異物塞住噴嘴,而造成顯景不潔 顯影控制 顯影點(1/22/3)L: 是指顯影過程中,未曝光聚合之干膜被沖洗掉,而露出銅面時的位置,結束,首頁,上一級,上一頁,顯影後半檢項目,首片檢查 問題板檢查, 修補 量產板抽檢 檢查項目: (1) 靶位, 阻流塊 (2) 曝光臟點 (3) 料號, 版本是否正確 (4) 其它異常項目,結束,首頁,上一級,上一頁,蝕刻,目的: 把沒有乾膜(油墨)阻劑保護的銅面蝕刻掉, 保留所需要的銅面圖形 流程: 蝕刻液成分參數 蝕刻工作原理 工作參數: 輸送速度

27、: 35 m/min 蝕刻溫度: 505 蝕刻噴壓: (1.70.3)kg/cm2,顯影,去膜,水洗,蝕刻I,蝕刻II,蝕刻III,水洗,結束,首頁,上一級,上一頁,蝕刻液成分參數,蝕刻液: CuCl2 , HCl , CuCl , PC-581 (H2O2) 蝕刻線(AQUA)控制參數 蝕刻液比重中CuCl2含3.03.4N(N當量濃度),結束,首頁,上一級,上一頁,蝕刻工作原理,工作原理: 蝕刻段用(505)的蝕刻母液與在再生機控制下,自動添加鹽酸 PC581混和液,經(1.70.3)kg/cm2的壓加噴灑在顯影后之 基板上蝕刻沒有干膜保護之銅 蝕銅反應: Cu + CuCl2 = 2Cu

28、Cl 2CuCl + 2HCl +H2O2 = 2CuCl2 + 2H2O,結束,首頁,上一級,上一頁,去膜,目的: 去除銅面上的乾膜(油墨)阻劑 流程: 去膜液成分: NaOH(41% ) 工作參數: 輸送速度: 35 m/min 去膜溫度: 505 去膜噴壓: (1.70.3)kg/cm2 烘乾溫度: (6510),蝕刻,檢修,去膜I,去膜II,水洗,烘干,收板,結束,首頁,上一級,上一頁,AOI(Automatic Optical Inspection) 自動光學檢測機,目的: 檢測內層課曝光蝕刻后之銅面板,找出Open,Short,缺口, 凸出,殘銅,破洞等 設備: Orbotech

29、14x0 AOI (3台), VRS4Li (4台); Camtek Orion AOI (1台), CVR (1台) AOI測試前準備: (1) 沖定位孔 (2) 資料製作 注意事項,結束,首頁,上一級,上一頁,沖定位孔,目的: 將待測板精確定位於AOI工作台上, 保證檢測之準確 沖孔設備: (1) MultiLine OPE-7000 沖孔機 (2) 壓合沖孔機 沖孔方式: (1) 待測板為四層板, 或板厚大於32mil, 或板子短邊長度小於12inch, 或板子尺寸不是整數而且無法在Multiline沖孔機定位時,使用壓合PE沖孔機沖孔 (2) 待測板為六,八層板, 且厚度,尺寸符合沖孔

30、機要求時,使用Multiline沖孔機沖孔,結束,首頁,上一級,上一頁,Multiline OPE-7000沖孔機,適用範圍: 12inch*12inch(MIN) 24inch*28inch(MAX) 2mil32mil(厚度) 簡要操作步驟: (1)開機 (2)設定待沖孔板之尺寸,定位點容許誤差上下限 (3)調整沖模位置與板子尺寸一致 (3)啟動油壓泵, 進行馬達復位及零點定位 (4)開始沖孔,結束,首頁,上一級,上一頁,AOI資料製作,目的: 為AOI之檢測設定參數, 保證檢測的準確快捷 資料製作方式: (1)用金板(Golden Board, 即沒有缺陷的板子)製作參考資料 (2)轉換

31、CAM資料為AOI參考資料 Orbotech 14x0 AOI目前資料製作方式為用金板製作資料, 製作流程見 Orbotech AOI 資料製作 Camtek Orion AOI資料製作方式為轉換CAM資料, 製作流程見 Camtek Orion AOI 資料製作,結束,首頁,上一級,上一頁,Orbotech AOI資料製作流程,编制板子外形特征参数及检测参数 光头聚焦(Focus),光线补偿(Calibrate),设置影像邊界(Threshold) 检测板子(Inspect ),鉴定缺陷(Display) 太多缺陷時, 視情況修改板子參數及影像邊界值 確定板子沒有真正的缺陷(斷,短路, 線細

32、,殘銅等) 以該板作為金板, 建立參考資料(Reference) 檢查掩蓋缺點(Masks), 去除線路上的掩蓋(Mask) 存檔(Save),結束,首頁,上一級,上一頁,Camtek AOI資料製作流程,從網路上拷貝CAM資料 在CRG上轉換成AOI資料, 並設定板子基本參數, 如板子類型(Signal,Mixed,Power-Ground等),板厚,解析度等 傳送至AOI AOI接收後, 設定板面圖形參數(線寬等), 進行影像定位,影像邊界設定(Threshold) 檢測板子, 如假點太多, 視情況修改氧化程度及基材敏感度等,結束,首頁,上一級,上一頁,注意事項,資料設定必須依照流程卡,

33、不可隨意更改 調用舊料號的資料時, 要檢查資料能否正常作業 待檢板之方向孔,位于左下角或右下角 已測板之編號寫在板子右下角成型區外, 並與AOI顯示的編號一致 非指定編程人員不能修改資料,結束,首頁,上一級,上一頁,報廢標準,線路板報廢標准: (1) 斷路長度大于1CM(400mil)報廢. (2) 每pcs排版斷路超過6(含)條報廢. (3) 斷脖子(但線路與PAD)相接處小於2.5mm以上報廢. (4) PAD缺一半(含)以上報廢. (5) 有兩轉彎處連續斷路報廢. (6) 無靶位或靶位圓PAD缺一半(含)以上者報廢. (7) 十字對准度在3mil以外報廢. 大銅面板報廢標准: (1) 螃

34、蟹角全蝕刻掉,沒與外界導通報廢. (2) 一大片孔蝕刻過度,變成孔大報廢. (3) 無靶位或靶位圓PAD缺一半(含)以上. (4) 十字對准度在3mil以外報廢.,結束,首頁,上一級,上一頁,作業方式,首片由專人檢查,發現有問題立即與曝光反應 蝕刻線人員收板時(由專人收板),以每20PNL一疊放置整齊送到檢修區(方便檢修作業,同時能減少大板里混有小板) 檢修人員以每20PNL為單位,抽出一台曝光機不同底片所做之板子(大板4PNL,小板8PNL),作為抽樣板 檢查抽樣板時,要認認真真,像檢查首片一樣檢查,假若發現問題點,即在余下(非抽樣板)16PNL或12PNL,找出相對應代號之板子,看看是否固定點,若是固定點即告之區長 對于非抽樣板,要求檢查: (1) 靶位是否完整 (2) 是否有大殘銅 (3) 是否有明