清洗工艺及操作要求.ppt

1、清洗工艺及操作要求,昊能光电清洗员工转正要求培训 许心磊,操作流程,脱胶,手动脱胶,工艺要求： 水温：50-55 水位：淹没硅片即可 浸泡时间：硅片自然倒伏（810分钟）,1.领用硅棒 （1）由切片人员将硅棒和相应的随工单送至清洗车间。 （2）预清洗人员核对随工单，区分厂家、规格、晶体编号、长度等情况。 注意观察硅棒是否有异常 （3）在随工单上注明交接时间、清洗确认人、掉片等情况。 （4）将硅棒轻轻从推车上取出放入预冲洗槽中，按照先左后右的顺序 进行冲洗取出和 放置时要小心放，防止撞片。,2、预清洗 （1）打开自来水开关冲洗15分钟左右，直到没有污水流出 （2）在冲洗过程中，如硅片有松动、掉片

2、等情况，直接在冲洗槽内将硅片取出，防止 翻棒过程中，对硅棒造成二次伤害。 （3）硅棒冲洗干净后，熟练的将硅棒翻转过来，并移至脱胶槽。 （4）在翻棒过程中硅棒不得与其他物品发生碰撞，防止造成人为的损耗。,3、脱胶 （1)脱胶槽水温控制在505，温度过高会造出花斑片，温度太低胶水脱不下 (2)脱胶时间应控制在8-10分钟，使硅片自然倾倒不允许将硅片推到，防止倾倒造成崩边 和碎片 (3)取少量在脱胶台上进行脱胶，必须严格控制时间，否则时间过长会导致花片 (4)拿硅片时保持力度适中，否则会导致碎片，脱胶时必须把粘胶面倒角及侧面清理干净，防止有 胶残留。 (5)各取出头、中、尾各25片单独放，接着逐一取

3、出剩余硅片，完全浸泡在周转箱中。,4、插片 （1）作业前戴好干净的乳胶手套，系好防水围裙。核对随工单 （2）在取片的时候，必须确保每张随工单与预清洗出片时的顺序相对应。 (3)检查晶片盒，将变形或者破损的晶片盒挑选出来，作好禁用标示 (4)打开循环水 小水槽水位开关调节，要确保小水槽水位到达溢流出口。将小水槽进水开关调至约1/4开启状态。 控制溢流水流量不能太大。 （5）脱好胶的硅片可从周转车转移至机器槽内暂放区，注意粘胶面朝上放置，每次取片30 片左右， 且需要注意取片时粘胶面正对着身体。如硅片较脏、不易拉开，需复冲洗。,6、向滑台内一片一片轻放硅片，硅片在水流带动下滑入晶片盒；在硅片经过感

4、应器后，晶片盒架自动上升一格，仪表计数一次。插完第一个晶片盒的第24片时，报警器提示这盒即将插满，插完第25片时暂停插片，待固定升降架自动升到第2个晶片盒时再进行插排片，直到第3个晶片盒插满硅片。（避免碰到两边滑条，每盒插至最后一张硅片后，需待报警解除后再插片） 注意事项： 1、插片机暂停工作时，请及时关闭进水阀及相关电源; 2、发生异常或机器故障时可及时按“急停开关”停止作业； 3、非指定人员，请勿擅自更改工艺或设置； 4、当出现水流量明显减少时，应及时停机清理水过滤器； 清理过滤器时应在停机状态下进行； 5、随时保持工作场所的清洁，做好5S；,5、清洗 （1）检查插片机、清洗机、甩干机、水

5、、电、气是否正常运行 （2）1号槽氢氟酸加入1000ml，4、5号槽分别加入清洗剂3kg （3）温度控制在505，4号、5号、9号槽需要加热，2号、3号、6号槽使用自来水，9号槽使用纯净 水，必须保持水面无泡沫 （4）2号-9号槽每槽需打开超声波开关 （5）将插好的硅片放到机器上进行清洗，每盒25片，6盒装一篮 （6）打开电源开关，（黄色指示灯手动状态下）按复位键，将两只机械手复位至原点，（有红色感应灯显示）将开关调至自动状态（绿色指示灯状态）。按启动键即进入生产运行状态。 注意事项 1、6号清洗槽必须保持为空槽（两只机械手交接的地方） 2、裝片前要检查提篮是否有破损，防止因提篮破损造成压蓝,

6、6、甩干 （1）、将硅片盒对称放入甩干机，如不对称则会造成剧烈抖动，使硅片破损 （2）、片盒装好后，关闭缸盖，甩干时间控制在4分钟左右，加热温度1305；吹气、喷淋开始运行，无紧急情况下不得按急停开关 （3）、甩干后的硅片由甩干机内取出，整齐的排列在桌面上，必须保证同一晶体的硅片放在一起，严禁混放 （4）、做好送检记录表，并有检片人员确认送检数量、缺角数量、交片数和理论片数的差异，备注清楚各种异常。 注意事项： 1、片盒分布对称，且不能晃动 2、禁止甩干机未蜂鸣手动停止，开门取片 3、手套有水禁止接触片盒 4、不同晶棒编号有明显界限,脱胶清洗员工上岗转正试题,一、填空（每题 1 分，共 30分

7、） 1、预清洗冲洗槽水压范围在 、冲洗时间范围 。 2、要保持硅片表面 ，禁止将硅片长时间置于 。 3、脱胶前必须核对晶棒的 是否与 一致。 4、物料的进出必须遵循 的原则。 5、脱胶时每次除胶要将 清理干净，拿片宜在 之间。 6、接班后必须对设备的 ， ， 进行点检。 7、插片时，粘胶面方向应该是 、每次拿片小于 。 8、清洗过程中产生脏污片的主要因素为 、 、 、 、 等。 9、给设备加、换药剂时，必须穿戴 、 等防护用品。 10、当设备出现异常时，应及时按下 并上报 。 11、插片机划台水流过大会 。 12、 6S是的内容为 、 、 、 、 、 。,二、选择题（前五道为单选题，每题2分，

8、后五道为多选题，每题3分，共25分） 1、脱胶时，是否需要戴上防护手套？（ ） A.不需要 B.需要 C.无所谓 D.有就戴没有就不戴 2、防治污染的发生，清除垃圾和赃物是6S中的（ ） A清扫 B清洁 C整理 D安全 3、清洗机的药剂槽加入的药剂是（ ） A.清洗剂 B.乳酸 C.氢氟酸 D.草酸 4、清洗机总共有几个漂洗槽（ ） A.5个 B.4个 C.6个 D.7个 5、当机器出现异常时，应（ ） A.及时通知班长 B.自己解决 C.找同事 D.装作不知道 6、下列哪些不良品一定不会由清洗区引起（ ） A.线痕 B.崩边缺角 C.超厚 D.脏片 E.TTV,7、转运脱胶后的硅片时，在硅片

9、周转箱底及侧壁粘附海绵是为了（ ） A.将硅片放入盒中时起减振作用 B.将盒底垫高，便于硅片的摆放 C.防止硅片与硅片周转箱直接接触产生崩边缺角 D.减小推车时振动或晃动对硅片的影响 8、清洗过程中发生异常，该如何处理（ ） A.找班长处理 B.按下急停开关按键 C.将界面自动模式点击至手动模式 D.不管它，继续洗 9、预清洗过程中脱胶不完全容易对硅片产生（ ) A.崩边 B.缺角 C.硅落 D.隐裂 E.线痕 10、为防止硅片二次污染，对清洗送检员工要求佩戴（ ) A.防尘帽 B.口罩 C.手套 D.防尘服 E.围裙,三、判断（每题 1.5分，共10分） 1、水温会影响硅片的质量。（ ） 2、由于现场硅片积压，药剂更换时间可以先延后。（ ） 3、线痕片原本就不好插，插碎多少跟我毫无关系，是片子 质量问题。（ ） 4、插片机周转槽是等到下班和设备一起打扫的。（ ） 5、清洗机各槽内的碎片对清洗效果有影响。（ ） 6、片盒摆放时总是来回拉片盒，多放几层就可以少跑几趟了。（ ） 7、硅片无论哪个面朝上都可以。（ ） 8、烘干后的硅片可以用手触摸。（ ） 9、送检时必须带好口罩防止唾液飘落在硅片上。（ ） 10、破损、残缺的硅片可以倒插在片盒中送入分选。（ ）,四、简答题（共30分