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文档简介

1、；10 万级洁净区环境监测要求监测项目技术要求监测方法监测频次温度1828 O C（十万级、三十万级）JGJ71-901 次/ 班湿度4565（十万级、三十万级）JGJ71-901 次/ 班换气次数十万级 15 次/ 小时JGJ71-901 次/ 月5Pa（不同洁净级别洁净室（区）之间）JGJ71-90静压差10Pa（洁净室（区）与室外）1 次/ 月5Pa（洁净室（区）之间与非洁净室（区）0.5 m5m尘埃粒子十万级GB/T16292-19961 次/ 季20000 个/m33500000 个/m3浮游菌十万级 500 个/m3GB/T16293-19961 次/ 季沉降菌十万级 10 个/

2、皿GB/T16294-19961 次/ 周.；100 级和 10000 级洁净区环境监测要求技术要求监测频监测项目监测仪器100 级10000 级测 量 位 置次温度 ()温湿度计18-2818-28洁净区各室1 次/班湿度 ( %)温湿度计45-6545-65洁净区各室1 次/班风速 (m/s)水平层流 04垂直层流 0.3风速仪送风口1 次/月换气次数20(次/h)静压差微压差计55不同洁净区之间1 次/(Pa)1010洁净区与室外月尘埃粒子0.5um0.5um数尘埃粒子350035000洁净区内关键操作点及 100 级超净工1 次/季(个计数器5um5um作台/M 3 )02000沉降菌落培养皿13洁净区内关键操作1 次/周数(个/皿 )点浮游菌落浮游菌采洁净区内关键操作

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