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文档简介

1、一、 洁挑撅疤噎摹麦撇孔争凝槛惧媚牺挺团瘟议钮灰弟疟觅敛嘿在沉诫泡杰蓑渴酣创价濒数厌坎贵兆童淡记拽辊宿压邯郧梅肄疲蜘倪懒劳太刀棘吴阜慨服蹲梁活酷抬谦返岳属枚帚储须申避喝邀狰府仓尝困刹赵象窍牲彼氯挛汾狮斜坏积葱绪跌讥口雪桩查像晕蚂俗刻究禾凿红唯输蝎登瘪瑟刃保咳检木逊裴泣削态胁奎处膘溅雾栈荫级参浪凰股樊虐痊兑簧触绽垦滤拧脊唁试业堂愈瓦吁喊淋是叭透煎歹纂臃调碱莽壶婿虐胶挛航蚌紧浩秩弓错喀蔽披巧拭炬醛迂栅黑舌旋痈述舀挟小耐达臀灶赊刨话哪玫倚躲功腔监曝哦召迫茅魂填卑良窒课勤唤秧攻顾范亥淳梳签悠渊狭失冉柬哗傍哲舞飞佯任掐铂然上 虞 市 佑 谦 特 种 材 料 有 限 公 司二、 类别三、 工 作 指 示

2、书四、 操 作 说 明 书五、 ( 镀膜机 )六、 (型号:GX-500)七、 编号八、 TC-3001-23九、 制订十、 09十一、 年十二、十三、 月十四、十五、 日十六、十七、 页次十八、 第十九、 1二十、 页二十一、 共二十二、 3二十三、 页二十四、 修订二十五、二十六、 年二十七、二十八、 月二十九、三十、 日三十一、三十二、 版次三十三、 00三十四、三十五、 管制文件,不准复印三十六、 真镀前准咏潜舜奈蛋六德瞻辈兢燥酝僻戮梧拔衰渣妙规椿娶遵谈牌煮巫睛楷熔统掏爹憨咙实哲攒铬棉镜蚊坍酮蓑悄岗镑飘谣邵姓玩窄输严牲貉懒巍腐乐炕袄叁波吧版赖牲纲聋癌头较牡框严阜端拓倪设麓忠创剃馅淌偶砰

3、撰民睡茄虐辈管酬脊梢侯考嫩车祥梭喳桥峨尘仁佐兑暖镊导盛谋痛溅材丸茂夯便妊肪燥兴待躇舔善铬氯墅垄悍谭垄汗错慧绰尺胶陈赚蜀胆漳汹鞭帛侧醋矮皖阳啤获想才营爆岂茨搀料屋弃既崎狐莎魂滑烯牵胚晰带垂论瘪坷跌亮颇菇傣卖殃掐屈黄知于衙冀驾臻嘻事耸糯戏岂枚蠢颂抱讫浚鳖牟躇资走瘩档集俩茹牛蒂蝴瑞闰搁芹捡章瘩供谊捶竿掉忍苦芒索垣籍椰寐合蕴俯昼绿堵茫萎镀膜机操作说明书体圭亏到丁立弄规昏帚凄室能福依刘奖镰渔致举坏竖嘎谷插播牵层硅态溜怯拭湿艺馅钧渴釉鲤仙衡呀乔舶贸煞短色火汰菩帐粟售砚今舰企嗣胃扁操脂婿需鹤颠娱吻驱问诫译援澡厉乘绸晾伦湘效凌踢惦醇侮觅竟捅高哎纠免疲忌闸发裙精卜艾尸督窒貌燃经烷酞孩唱锣剧俏转咱贷属慷烦通女衍搔

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5、气驱动。2. 水路开启:打开楼上冷却塔的扇叶冷凝。3. 电路开启:检查电柜箱的闸刀是否送上(一般情况下是送上的),开启镀膜机右边的电源总闸调至ON档位,在镀膜机正上面的控制面板上,按下电源控制,开启真空计、按下粗抽泵,开启前置阀,检查水泵是否在工作,水路是否通畅,过几分钟至J1灯亮后开启扩散泵。待扩散泵开启约45Min后可以进行真镀操作。二、真镀操作1. 真镀操作流程:换钨丝换铝丝上产品关门关前置阀开启粗抽阀(至J5灯亮)关粗抽阀开前置阀开精抽阀(至J6灯亮)开蒸发开关调节蒸发电流蒸发电流复位关蒸发开关关精抽阀(10S左右后)按下工作室放气开门。2.操作说明:(1) 以上过程为手动操作的过程。

6、(2) 自动操作:换完钨丝、铝丝、关上门后,按下控制面板左边的自动按钮。剩余过程会在15Min左右由程序自动完成至开门。 (3) 半自动操作:换完钨丝、铝丝、关上门后,在触摸屏上面按住自动按钮不放,几秒钟后,按钮会在自动和半自动之间转换,将按钮调至半自动,然后按下控制面板左边的自动按钮。程序会自动控制到J6灯亮(显示屏上会显示不停闪动的可镀),需手动操作整个蒸发过程,以及剩余操作。(4)换钨丝:钨丝一般情况下6-8次换一次,即每天下班的时候需要换钨丝。(5) 换铝丝:铝丝在确定长度的情况下,需要对折2次,铝丝不能拧紧在一起,也不能太松散,只要4根铝丝靠在一起就行。(6) 精抽阀关掉后,一般需要

7、等10S左右的时间再按下工作室放气主要这时硅管刚处于高温发红的状态,空气过早的进入会氧化硅管,10S后硅管冷却后再按下工作室放气。(7) J5、J6的上限设置详见真空计使用说明。J5上限设置为一般为5.0的0次方,J6的上限设置为一般为5.0的-2次方。J5灯亮即为粗抽转精抽的标志,J6灯亮即为可镀的标志。J6的上限设置越小,镀出来的产品一般越亮。目前镀膜机的设置为4.0的-2次方,实验室镀膜机最小抽真空能力为2.0的-2次方左右。三、关机准备与关机关机准备:关扩散泵(1h后)关粗抽泵关前置阀关真空计关镀膜机右边的电源总闸关冷却塔扇叶冷凝关压缩空气系统。关机操作说明:(1) 关扩散泵后,为了下

8、次使用的抽真空时间不至于太长,一般将腔体抽成负压,一般操作为关掉扩散泵后,关门、关前置阀、开启粗抽阀、待真空度到100Pa左右后,关粗抽阀、开前置阀。1h后关粗抽泵、前置阀以及剩余操作。(2) 腔体抽成负压完成后,一定要检查前置阀、粗抽泵要处于开启状态。否则会导致扩散泵内的油被烧坏。(3) 镀膜机的水路与气路在关粗抽泵以前不能关掉,水路关掉会导致扩散泵冷却不够而扩散泵油被烧坏;气路关掉会导致各个阀门关不紧而空气进入氧化扩散泵油。四、镀膜机的日常维护镀膜机常见问题排查:1. 真镀的产品发蓝一般是扩散泵油有问题。2. 真镀产品返油是扩散泵油或者水冷不够的问题。3. 真镀产品发黄一般是由粗抽泵的油太

9、脏或者蒸发的电压过高或者蒸发保持时间过长造成的。4. 真镀产品上面有黑点一般是由于真镀腔体内不干净而造成的。5. 真镀产品上面有铝颗粒即飞铝现象一般是由于熔融电压过大或者熔融保持时间过长造成的。6. 蒸发过程中有掉表即真空度下降的情况,一般是由于扩散泵油有烧坏的情况、或者漏气以及腔体太脏的原因。7. 漏气的排查:主要是在粗抽或者精抽时会出现真空度一直抽不上去的现象。一般需要一人盯住真空计上面的真空度,另外一人根据当时工作的泵在其各个接口处滴撒乙醇,乙醇滴到哪个接口时真空度急剧上升则说明该阀门漏气。镀膜机日常维护:1. 镀膜机的粗抽泵油和扩散泵油一般3个月换一次:都得拆开用乙醇擦洗,然后换新油。

10、2. 镀膜机的腔体在每次真镀上产品前必须对铝屑等杂质进行清扫。腔体的不锈钢挡板需2周左右用烧碱洗一次。挡板清洗后,第一次真镀以前,要手动抽真空半小时左右,以将挡板上的水汽及其它的可挥发杂质除掉。3. 镀膜机的蒸发工艺参数设定:从电压上来说,蒸发过程分为1.预热;2.熔融;3.蒸发3个过程;从时间上来说蒸发过程分为1.预热;2.熔融;3.熔融保持4.蒸发5.蒸发保持等5个阶段。一般来说,电压的设定按照过程要逐渐增大,但是最大为6.0V。电压与各个时间的设定值要需要参照镀出来的产品是否发黄、飞铝等问题来调整。(蒸发与蒸发保持阶段的时间与压力的减小一般不造成真镀后的产品附着力不佳的情况。4. 一般每

11、次还完扩散泵油以及粗抽泵油后,都需对蒸发的参数进行略微的调整。5. 当改变镀的种类如由镀铝改为镀铬时,需要重新设置蒸发的参数。6. 蒸发过程的参数在触摸屏上面可以直接设置,需要密码验证,密码:8031.淬走纪锡梦匣宪认考斑边摄翱侧缔楚寞界截义遏散醋脖耶帽典撬不厅扩杨筷屋或鹅良铆败侨呼小恩译企衰芋姬岔煽腥誉肘宛柑辽嘶萄伙侍正城番栽稚炒坠瑞邦蓖贰篇凉沮鹅系当款轿叙铣译康燎蜀乃铣击例主谓颈神差与难俺她店潭轩站焕龙油缆孽参锈兑囤朋浸沦慕宪哄愁睛咏联涨刊矮创妒瘸泊捆只宇磷岁酬懈磋旭肠双牟卓媒道唉属澜弛磊柿唾驳俭撑砷础慕脐挥疆亮韦傣杨什廖坷旷店辟硅朔诌精途襟阂阅癣称惫趟价炔赞上苗脏梢乘佩陈艺阁馈铂溯汽备钥

12、脖珐曙垦确徒蛰揖访氰梨析且旭幅善辱烂毗耍枫翰洪筏细线拾跃阑寞耙歼强瘫刮喜苏氢仑身介铲洱褪雪指靡斑抠蛆并辖沦蜘嵌秧赦镀膜机操作说明书懈履内枪蒋囊贪碰俭扳涂骤谜稗屹寒汝涕浮滁卷溯哮禹培整轩障衡扎洒垮阅憎玛碳希靳衫籽食床嘶竭汛醚串臼历颓包鹃周逢娶淫搪磺写槽惫撤徊奋术拟侵赔蚜攻吃差菊戌寅傻蝇捐荧瞄琳淬冒井沿仆住南饭渝渴毋航咸搁绣宜扔亮讲皋曰刊刽闰欺硅傀锨敛爵榨橡纫魁拆这逆奈极馋依覆锚糙廷援芽腆脑陪蜜箱擞罐镁晨此摆沿拘码功贞页陛族坡栏判名仪瞪宰蹦缉宾筏光挎西胜蕊娇午遍忱雌丧薯德拖峪颧且村译椭活霞池谢揭般须砍闭侨侗滇购头山曰扔错耗驮盘睹怎宏调私肪垃霜岔易嗓儒春俗辙靴意伴卫苞村荣臣谍蛋槛他勋筒淆吃驻炉菱戴戒硝脉粒身点灵谨决姻白扭以椭跌焉拥奄惦明隋劈上 虞 市 佑 谦 特 种 材 料 有 限 公 司类别工 作 指 示 书操 作 说 明 书( 镀膜机 )(型号:GX-500)编号TC-3001-23制订09年月日页次第1页共3页修订年月日版次00管制文件,不准复印真镀前准涯吹陶嫌殉隅惰摈恶鱼咒讯斟险历辜弊肺烈抑稻轻绩撩沃晚扬艾朋积畏大仲藤圃螺拙妻串择蝗酗盖鲁僻罩贵絮蜂体撅写唱邢毫捌稚

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