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超精密三坐标测量仪整机机构设计论文.doc

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超精密三坐标测量仪整机机构设计论文.doc

I毕业设计论文题目名称超精密三坐标测量仪整机机构设计摘要本文中,对三坐标测量仪的研究现状和精密测量的关键技术做了总结,对所设计的测量仪的总体布局、床身的选材、导轨的设计、进给方式的选择做了介绍,选用燕尾型气体静压导轨,同步齿形带和钢带传动,摩擦杆进行驱动。对移动桥和溜板进行了简单的ANSYS分析,计算了移动桥受力时最大的变形量和直线度;选用伺服电机作为动力源,并对其进行了简单的功率计算,分析了测量仪的工作环境对其精度的影响和它的应用环境;定位采用开式光栅尺,对光栅尺的选型做了比较。最后针对测量仪整机进行精度分析,查找误差源和精度的综合分析。关键词超精密、气静压、高精度、精密测量IITHREECOORDINATESMEASURINGINSTRUMENTULTRAPRECISIONMACHINEABSTRACTINTHISPAPER,THREECOORDINATESMEASURINGINSTRUMENTFORPRECISIONMEASUREMENT,THERESEARCHPRESENTSITUATIONANDTHEKEYTECHNOLOGYOFSUMMINGUP,THEDESIGNOFMEASURINGINSTRUMENTLATHEBEDOFTHEGENERALLAYOUT,THEDESIGNOFTHESELECTIONOFMATERIALS,GUIDERAIL,INTOTOTHECHOICEOFTHEWAYSOFDOINGINTRODUCED,CHOOSECOATTAILSTYPEAEROSTATICGUIDERAIL,SYNCHRONOUSCOGBELTANDSTEELBELTTRANSMISSION,FRICTIONLEVERDRIVENSLIPBOARDOFMOBILEBRIDGEANDTHESIMPLEANSYSANALYSISMETHOD,THELARGESTMOBILEBRIDGEWHENSTRESSDEFORMATIONANDSTRAIGHTNESS;CHOOSESERVOMOTORASAPOWERSOURCE,ANDANALYSESTHESIMPLEPOWERCALCULATION,ANALYZESTHEWORKINGENVIRONMENTOFMEASURINGAPPARATUSTOTHEPRECISIONOFTHEINFLUENCEANDITSAPP

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