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基于气浮支承引线键合定位平台设计论文[带图纸].DOC

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基于气浮支承引线键合定位平台设计论文[带图纸].DOC

西安文理学院机械电子工程系本科毕业设计(论文)题目基于气浮支承引线键合定位平台设计专业班级08级机械(2)班学号08102080222学生姓名赵魁指导教师卢志伟设计所在单位西安文理学院2012年5月基于气浮支承引线键合定位平台设计摘要为满足新一代芯片封装设备对定位平台性能的要求,本文旨在研究设计一种全新的高推重比直接驱动气浮定位平台及其相应的位置伺服控制系统。通过协调机电系统的多影响参数,使平台在高加速度运动后,快速达到稳定状态。实现概念设计、详细设计、仿真实验以及系统的综合性能评估,提供面向芯片封装的高加速度高精度定位平台的单元级和原型级设计方法及关键技术的解决方案。为了减小定位系统的摩擦力及其扰动,设计了一种基于气浮导轨支撑的两自由度高速精密定位平台。该平台采用了新型的气浮解耦机构,使音圈电机置于固定支座上,有效地减小了定位平台的运动惯量。探讨了节流孔直径和导轨间隙对平台承载能力和静刚度的影响规律,得到一组优化参数;在此基础上对平台的运动稳定性进行深入分析,该平台在给定的初始条件下可快速趋于稳定,为该类气浮定位平台的设计提供了一定的理论基础。关键词气浮支承芯片封装引线键合定位平台THEPOSITIONINGSTAGEWITHAIRBEARINGS,WHICHBASEDONTHEAIRSUPPORTEDBEARINGANDWIREBONDINGABSTRACTINORDERTOMEETTHEREQUIREMENTSOFTHENEWGENERATIONOFPACKAGINGEQUIPMENTS,THISTHESISISMAINLYTOSTUDYANDDESIGNACOMPLETELYNEWPOSITIONINGSTAGEANDITSSERVOCONTROLSYSTEMTHESTAGEISDIRECTLYDRIVENBYHIGHTHRUSTWEIGHTRATIOLINEARMOTORANDSUPPORTEDBYAEROSTATICBEARINGSTHROUGHADJUSTINGTHEMULTIFACTORSOFTHEELECTROMECHANICALSYSTEM,THESTAGECANBESTABILIZEDINSHORTTIMEAFTERHIGHACCELERATIONMOVINGTHEWORKOFTHISTHESISISTOREALIZECONCEPTUALAND

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