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外文翻译--固体电解加工使用的是涂上一种聚合物电解质的钨微电极 中文版.doc

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外文翻译--固体电解加工使用的是涂上一种聚合物电解质的钨微电极 中文版.doc

毕业设计论文外文资料翻译系别机电信息系专业机械设计制造及其自动化班级姓名学号外文出处日本陶瓷学会期刊2007年10期附件1原文;2译文2013年03月固体电解加工使用的是涂上一种聚合物电解质的钨微电极KAIKAMADA,MASAAKITOKUTOMI,MIKIINADA,NAOYAENOMOTOANDJUNICHIHOJO福冈西区元冈744,九州工学院应用化学系8190395电解加工的金属板采用一个固体聚合物电解质。基本的电解系统是由一个金属板阳极和聚合物电解质钨针阴极组成,在接触的金属聚合物的接口非常小几微米。金属基质是电化学氧化然后锰离子迁移到聚合物电解质形成的。比起我们之前的结果使用NAΒ氧化铝固体电解质,由于连续应用直流电压到电池,细分辨率微加工~10M实现室温下操作。此外,目前的技术适用于许多不同种类的金属基板。2007年7月3日收到;2007年8月24日接受关键词电化学微加工,固体聚合物电解质,阳极溶解,阳极氧化,微电极1、介绍采用固体表面微加工,为制造各种微系统,如嶶传感器,微反应器,微电极阵列。13相信一个更有效、更精细的分辨率加工技术将需要密集的集成的微零件在最先进的微系统上。固体表面微加工的一般进行位置选择性腐蚀的原子使用机械、物理和化学技术。化学技术包括浸的工件,部分覆盖着一层,在一个表面掩盖蚀刻溶液,经表面接触的解决方案是有选择地解散。根据类型的基质,有图案层是解决方案的优先蚀刻。例如,部分成品二氧化硅层在硅基质溶解在水高频的解决方案。事实上,没有表面变形或压力引起的加工工件在湿化学过程看作一个明显的优势在机械或物理溅射、激光烧蚀等技术。作为一个扩展的化学腐蚀、电化学微加工研究广泛的导电基体金属和半导体等。46在这个技术中解散的蒙面工件电极是加速通过应用一个电偏压的电解质溶液。相比传统的化学腐蚀,电化学技术可以更快速溶解和控制,并且不需要激进的电解质,比如酸。从电解加工使用了电解质溶液中,屏蔽强制性的位置选择性腐蚀和过程需要多步骤。电解加工后很难控制凹槽的长宽和大小,因为侧面腐蚀的结果使液体渗入到面具的下面。为了克服这些问题,坚实的电化学方法提出,78使用固态离子导体作为电解质,而不是溶液剂。即,电解加工由固态电解质取代了液体电解质。我们的团体有报告,相关的固态技术包括一个阳极电化学反应在金属基体之间的微触和离子导体。910在本地的金属基体纳

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