外文翻译--对由微注塑模型的聚合物微结构复制的实施和分析 中文版.doc

外文资料名称：Implementationandanalysisofpolymericmicrostructurereplicationbymicroinjectionmolding外文资料出处：JOURNALOFMICROMECHANICSANDMICROENGINEERING附件：1.外文资料翻译译文2.外文原文指导教师评语：签名：年月日1对由微注塑模型的聚合物微结构复制的实施和分析苏玉川，JatanShah，林立伟宗建海译摘要：本文提出一个常规注塑模型过程的适应对聚合物微结构的许多复制与适当的模子设计和程序控制。使用与在表面被铭刻的微结构的硅片当模子插入物，我们顺利地预言了，改善，并且发生优选复制。聚合物融解流程行为在微铸造中描绘的是模仿和实验。在各种各样的过程参数之中，温度被辨认作为果断地确定射入被铸造的微结构的质量的关键系数。基于收集的实验性和模仿结果，工艺过程最佳化执行改进复制质量和建立潜在的应用的指南。由于它的高速和低成本，注塑模型过程的适应对模型将导致MEMS应用的有为的技术。关键词：注塑模型；聚合物微结构；微结构；聚合物；过程参数；MEMS应用一、介绍由于他们独特的物产，聚合物越来越用于各种各样的应用包括宏指令和微设备。为了扩展被归档MEMS对基于聚合物的设备，介绍聚合物微结构的制造的有效的技术在低成本和与高精度是重要的。近年来，聚合物微结构复制的一定数量的技术提议，包括LIGA过程[1，2]那个热的装饰[3]或注塑模型[4]复制聚合物微结构的用途。使用X-射线石版印刷制造的模子插入物，LIGA过程提供可能性给制造微结构任意侧向几何和高深度为从各种各样的材料的高长宽比设备例如金属、聚合物和陶瓷由各种各样的造型过程。在不同的造型技术之中，注塑模型是最突出一个与低成本和大量生产的高精度的好处。通过使用特别注塑模型过程[5-12]和常规CD射入造型技术[13，14]聚合物微结构的复制的成功的结果达到了。然而，聚合物融解流程行为在微铸造洞的不充分地被了解。被相信由于大表面对容量比率，表面效应将控制流程行为在微小等级[15]。本文打算调查聚合物融解流程行为在微铸造洞的和确定必要的战略适应聚合物微结构的复制的传统注塑模型过程。首先，使用模仿软件C-MOLD[16]常规注塑模型过程的直接应用在聚合物微结构的复制的被分析。过程参数的不同的组合然后被模仿调查聚合物融