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外文翻译--微模具制造中聚焦离子束技术的调查 中文版.doc

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外文翻译--微模具制造中聚焦离子束技术的调查 中文版.doc

外文资料名称:Investigationofmicrolensmoldfabricatedbyfocusedionbeamtechnology外文资料出处:MicroelectronicEngineering56(2001)333–338附件:1.外文资料翻译译文2.外文原文指导教师评语:签名:年月日(用外文写)1微电子工程56(2001)333—338微模具制造中聚焦离子束技术的调查元富胡乾亮译新加坡,南洋大道,南洋理工大学机械与生产工程学院,精密工程与纳米技术中心,接受于2001年4月25日摘要:本文提出Abstract新型制备方法的微模具,聚焦离子束(纤维蛋白原)铣。衬底与不同的材料,铜,镍和大量的硅,被用来以比较其磨粉品质。二维概况和表面粗糙度的测量模具制造使用激光干涉仪。最后,模具用于热压复制。表面粗糙度(R值)的复制品是8纳米,以及材料的整洁和对称,测量尺寸的副本与设计完全吻合。关键词:微透镜模具;纤维蛋白原铣;热压;复制1.导言常规制备方法成型的微透镜和光学元件光刻图案和电镀加工误差较大,由于在许多程序累积误差。本文将介绍一种新型微透镜成型方法,聚焦离子束铣,这与传统方法相比,它具有以下优点:(1)它是一步加工,不需要其他任何程序,因此,制造误差比常规方法小;(2)该材料的模具可以是玻璃,硅,金属或其他非金属;(3)加工精度可以更容易使用计算机编程在米林进程中进行控制。在本文中将介绍实验结果复制热压的不同的衬底材料,铜,镍和体硅,被用来比较其磨粉品质。2.模具的微细铣削用纤维蛋白原铣削进行试验使用我们的聚焦离子束(纤维蛋白原)机(Micrion9500EX)与液体镓离子源结合扫描电子显微镜(SEM),能量色散X射线光谱(能谱)设施和气体辅助刻蚀的功能。这个设备采用了集中镓离子束能量5至50千电子伏,电流探针4PA和19.7Na和梁限制孔径大小介于25和350毫米。最小束电流,光束可集中到7纳米直径在全宽半级(半高宽)。微模具的设计,直径70毫米,深度为三点四五毫米,曲率半径180毫米和球面形式。模具铣削过程控制由计算机程序控制,在其中参数的加工和模具定制作过程中,详细介绍了判别方法。为了研究模具铣削性能不同的材料,基板的镍,铜和体硅被用于审查。2完成后的模具,使用机器的压力与暖气和热控系统进行热压,2800聚碳酸酯(拜耳)。在成型下完成下列条件:温度,

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