外文翻译--微模具制造中聚焦离子束技术的调查 中文版.doc

外文资料名称：Investigationofmicrolensmoldfabricatedbyfocusedionbeamtechnology外文资料出处：MicroelectronicEngineering56(2001)333338附件：1.外文资料翻译译文2.外文原文指导教师评语：签名：年月日(用外文写)1微电子工程56（2001）333338微模具制造中聚焦离子束技术的调查元富胡乾亮译新加坡，南洋大道，南洋理工大学机械与生产工程学院，精密工程与纳米技术中心，接受于2001年4月25日摘要：本文提出Abstract新型制备方法的微模具，聚焦离子束（纤维蛋白原）铣。衬底与不同的材料，铜，镍和大量的硅，被用来以比较其磨粉品质。二维概况和表面粗糙度的测量模具制造使用激光干涉仪。最后，模具用于热压复制。表面粗糙度（R值）的复制品是8纳米，以及材料的整洁和对称，测量尺寸的副本与设计完全吻合。关键词：微透镜模具；纤维蛋白原铣；热压；复制1导言常规制备方法成型的微透镜和光学元件光刻图案和电镀加工误差较大，由于在许多程序累积误差。本文将介绍一种新型微透镜成型方法，聚焦离子束铣，这与传统方法相比，它具有以下优点：（1）它是一步加工，不需要其他任何程序，因此，制造误差比常规方法小；（2）该材料的模具可以是玻璃，硅，金属或其他非金属；（3）加工精度可以更容易使用计算机编程在米林进程中进行控制。在本文中将介绍实验结果复制热压的不同的衬底材料，铜，镍和体硅，被用来比较其磨粉品质。2模具的微细铣削用纤维蛋白原铣削进行试验使用我们的聚焦离子束（纤维蛋白原）机（Micrion9500EX）与液体镓离子源结合扫描电子显微镜（SEM），能量色散X射线光谱（能谱）设施和气体辅助刻蚀的功能。这个设备采用了集中镓离子束能量5至50千电子伏，电流探针4PA和19.7Na和梁限制孔径大小介于25和350毫米。最小束电流，光束可集中到7纳米直径在全宽半级（半高宽）。微模具的设计，直径70毫米，深度为三点四五毫米，曲率半径180毫米和球面形式。模具铣削过程控制由计算机程序控制，在其中参数的加工和模具定制作过程中，详细介绍了判别方法。为了研究模具铣削性能不同的材料，基板的镍，铜和体硅被用于审查。2完成后的模具，使用机器的压力与暖气和热控系统进行热压，2800聚碳酸酯（拜耳）。在成型下完成下列条件：温度，3408F；压力，二千磅（8.8千牛）。3实验结果和讨论微透镜设计参数如下：直径70毫米；凹陷高度，三点四五毫米；不适用的价值0.1；工作波长633毫米。图1显示了微模具制造的纤维蛋白原铣削的基板铜。图显示二维剖面测量的模具使用WYKO新台币2000年拉斯维加斯干涉。可以看出，是表面不光滑的模具，一侧有些缺陷的模具。二维剖面表明，模具表面非常粗糙，是一个不规则的形式。图第3和第4查看铣削和测量结果的模具与镍材料。可以看出，和以往的类似案例结果并不理想。图1微模具铜材料碾磨的纤维蛋白原。图2铜模剖面测量WYKO新台币2000年激光干涉仪图5日和6显示模具与体硅铣削和测量结果。可以看出，铣削结果是理想的表面光滑，并整齐对称的。实测表面粗糙度R值为2.5纳米。图7显示了扫描电子显微镜（SEM）镜的636微阵列米模具的纤维蛋白原的体硅。其二维剖面测量数据的干涉转移以比较形象的设计，因为图中显示可以看出，这两个剖面完全吻合。可以看出，模具质量的体硅优于金属材料。可能原因是，铣削加工是一种纯粹的3身体之间的正离子和金属原子碰撞过程。由于金属和硅不同的晶体结构，结晶金属晶粒尺寸大于硅。金属材料，大批量的材料被离子碰撞产生高能。硅，被剥夺了物质层面的作用离子碰撞小于金属由于其松散的晶体结构和脆弱的特点。由于工作原理，纤维蛋白原，它更适合于材料的脆性断裂，而不是适用于金属与延展性。然而，硅模具是一种短寿命的材料由于其较低的耐磨性。进一步的研究应集中在寻找具有良好铣高性能和高耐磨性新的材料。图3微模具材料与镍碾磨的纤维蛋白原图4镍微模具剖面测量WYKO新台币2000年激光干涉仪图5大量硅材料的微模具的纤维蛋白原