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外文翻译--光刻投影镜头多闭环温度控制系统.doc外文翻译--光刻投影镜头多闭环温度控制系统.doc

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毕业设计论文外文资料翻译学院机械工程学院专业机械设计制造及其自动化姓名学号指导老师附件1外文资料翻译译文;2外文原文。指导教师评语签名年月日附件1外文资料翻译译文光刻投影镜头多闭环温度控制系统聂宏飞1,李晓平1,*,何艳2。1国家重点实验室,数字制造装备与工艺,华中科技大学,武汉430074,中国大学2天华学院,上海师范大学,上海201815,中国2008年5月27日收稿;2009年1月8日修订;2009年1月22日定稿;2009年2月6日电子出版摘要图像质量是光学光刻工具的最重要指标之一,尤其易受温度、振动和投影镜头(PL)污染的影响。本地温度控制的传统方法更容易引入振动和污染,因此研发多闭环温度控制系统来控制PL内部温度,并隔离振动和污染的影响。一个新的远程间接温度控制(RITC)方案,提出了利用冷却水循环完成对PL的间接温度控制。嵌入温度控制单元(TCU)的加热器和冷却器用于控制冷却水的温度,并且,TCU必须远离PL,以避免震动和污染的影响。一种包含一个内部级联控制结构(CCS)和一个外部并行串联控制结构(PCCS)的新型多闭环控制结构被用来防止大惯性,多重迟滞,和RITC系统的多重干扰。一种非线性比例积分(PI)的算法应用,进一步提高收敛速度和控制过程的精度。不同的控制回路和算法的对比实验被用来验证对控制性能的影响。结果表明,精度达到0006℃规格的多闭环温度控制系统收敛率快,鲁棒性强,自我适应能力好。该方法已成功地应用于光学光刻工具,制作了临近尺寸(CD)100纳米的模型,其性能令人满意。关键词投影镜头,远程间接温度串级控制结构,并行串连控制结构,非线性比例积分(PI)的算法1简介由于集成电路缩小,更小的临界尺寸(CD)要求,生产过程的控制越来越严格。作为最重要的制造工艺设备,先进的光学光刻工具需要更严格的微控制环境1,如严格控制其温度、洁净度、气压、湿度等。温度波动,特别是导致图像失真和平面图像转变,成为了光学光刻工具对图像质量影响的一个关键因素。投影镜头PL内的温度精度要求一个光刻工具在接近001℃制造一个小于100NM的模型。另外需要PL内部温度收敛率快以降低光刻技术的所有权(COD)的成本然而,实现这些目标是一个很大的挑战,因为加热器和冷却器控制温度要求操作远离PL2,否则其性能将被它们的振动和污染所破坏。另一个原因是,PL内部结构复杂,它包含数十
编号:201311171536556881    类型:共享资源    大小:2.05MB    格式:DOC    上传时间:2013-11-17
  
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