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外文翻译--显微车床的影像反馈控制 中文版.doc外文翻译--显微车床的影像反馈控制 中文版.doc

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外文资料名称VISUALFEEDBACKCONTROLOFAMICROLATHE外文资料出处SPRINGERLINKCHINAOACNATIONALCONSORTIUM附件1外文资料翻译译文2外文原文指导教师评语签名年月日用外文写1译文显微车床的影像反馈控制广尾岛,克斋藤,周荔波,六月清水,HIROSHIEDA,茨城大学李润铭译关键字显微车床,影像反馈,位置控制摘要近年来显微机械加工技术迅速发展。在这次研究中,显微车床安装了已经发明并得到发展的标准电子组件真空室。首先,通过标注电子图形装置中的CCD电荷耦合装置成像,影像导引显微车床系统得到发展。传统的进给控制只控制XY方向,这种方式直接控制刀具的位置、路径和速度。通过接受各种建议,切削试验成功进行,并证实了显微车床系统的切削效率非常高。1.介绍近年来,生产显微零件的系统要求小型化,显微加工技术发展迅速。探索性研究的水平已经达到分子和原子水平。作为动力源,MENS(显微电子机械系统)在制造显微部分和装置中扮演了主要角色。然而,MENS的基础是影音石板技术,因而可以应用像硅晶体这类有限的材料。为了满足电子和光学应用的显微化要求,选择显微加工技术的从三维方向控制加工多种材料是必须得。显微机械制造系统(M4)较容易满足多种材料的各项要求,而且应用最小精度方法达到高的重复性和精度。然而M4实际执行中遇到很多科学技术障碍,其中之一是平面化学影响。当加工部分达到显微尺寸,发现表面2变化率倍数增加,生产的部分与传统加工的零件差不多。另外一个问题是引导动作和位置控制,传感器立即测量刀具和工件的相对位移的能力还没有实现。在这项研究中,显微车床安装运行了已经发明并得到发展的标准电子组件真空室。图1表明显微车床的发展过程。在这种有氧情况下,切削实验证实表面化学反应对显微零件的影响。然而,因为显微车床的尺寸很小,它的刚度也低。传统的只控制XY轴的方法不能精确控制车刀位置,因而,影像反馈控制方法被提出。通过SEM(显微电子扫描器)形成的图像通过CCD数字化为8进制灰度图像。因为每个像素包含2维信息,因而这个影像系统提供了一个直角坐标来描述物体。像素坐标不受机械误差影响,并且直接测量刀具和工件的相对位置。这个方法随着显微放大倍数和电子耦合像素的数目应用越来越多。在这项研究中,影像控制配置被提出并且应用到刀具运动进给控制。不同于只控制XY方向的传
编号:201311171914007845    类型:共享资源    大小:531.04KB    格式:DOC    上传时间:2013-11-17
  
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