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文档简介
第1章基本概念
研留完本章,符明瞭
1.何需光季薄膜
2.光^薄膜分^
3.光孥薄膜功能
4.光孥薄膜特徵矩障
5.it膜符虢
6.未^膜基板的反射率R典透射率T
7.光^薄膜模率欠飕
1-1曾介
光季薄膜(opticalthinfilm)的效果)基本上就是光的干涉(interference)作
用,例如肥皂泡沫(soapbubble),水面上的油清,或者是蝴蝶、蜻蜒、蜜蜂的翅
膀、甲蠡的甲毂及同段内膜所呈垣的颜色,皆悬光孥薄膜的干涉效果。一般而言,
若光在膜>t内的干涉作用可以被俱洌I到,即可耦卷薄膜,否即便是厚膜,因此相
封於厚度常在1厘米以上的基板,膜厚只有黑他1波房的it膜皆可稠悬薄膜。
因篇现今的幺用路资源非常多元瞿富,在此示靶如何透谩幺用路查前所需要的参
考资料。例如,使用英文版雒基百科站查前
在查看旬橄位中输入欲查黄)的主,例如输入opticalthinfilm之彳灸,以滑鼠按Q查
前相^内容,幺吉果骸示如下
1XGIIUWI11DI
A
DonatetoWikipedia
Thinfilm
▼Interaction
Athinfilmisalayerofmaterialrangingfromfractions...thickness.Electronicsemiconductordevices
Help
andopticalcoatingsarethemain...
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15KB(2,227words)-16:26,8March2011
Communityportal
RecentchangesPhysicalvapordeposition
ContactWikipediaanyofavarietyofmethodstodepositthinfilmsbythecondensationofa...Willey.RonaldR.Practical
MonitoringandControlofOptical...
►Toolbox
5K0(712words)-19:16,14February2011
Dichroicfilter(redirectfromThin-filmopticalfilters)
Adichroicfilter,thin-filmfilter,orinterferencefilterisaveryaccurate...H.A.Macleod.ThinFilmOptical
Filters.(Bristol.England...
7KB(1,012words)-1806.4March2011
Opticalc梦nq
AnopticafQatingisoneormorethinlayersofmaterialdepositedonanoptical...allowingthe
productionofdichroicthin-filmopticalfilters
14KB(1.633words)-02:46.13June2010Ml
造些相居3主题可能很多,可以随意逗按主题项目参考。
WIKIPEDIAOptical^coafing
TheFreeEncyclopediaFrom.Vikipedia,thefreeencyclopedia
MainpageAnopticalcoatingisoneormorethin
Contentslayersofmaterialdepositedonan
Featuredcontentopticalcomponentsuchasalensor
Currenteventsmirror,whichaltersthewayinwhich
Randomarticletheopticreflectsandtransmitslight
DonatetoWikipediaOnetypeofopticalcoatingisan
antireflectioncoating,whichreduces
,Interactionunwantedreflectionsfromsurfaces
Helpandiscommonlyusedonspectacle
AboutWikipediaandphotographiclensesAnothertype
Communityportalisthehigh-reflectorcoatingwhich
RecentchangescanbeusedtoproducemirrorswhichOpticallycoatedmirrorsandlenses.
或者使用Googled站查前
其中搜尊到的相^主题很多,同棣可以随意逗按主题项目参考。例如有^彳行
文章的主题
A.;
Gooopticalthinfilm搜尊
料有5.120.00C项结果,披君畴网:0.24秒)谨陪披司
纣全部施告
提示:如只要楞尊中文1整博)的结果,可便由使用偏
圄片好指定搜再^言。ThinFilmAnalysis
HighprecisionThinFilm
・影片
FilmMeasurement&Ch
有朋opticalt堀“film的阜价于文章
/scientif
4Thin-film£?icalfilters-Fvlacleod-被引用1992
6次
▼更多ThinFilmSoftwarev
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或者其他相^的^站
锢路ForSheetResistance/MA
所有中文9Thm-filmopticskWikipedia,thef「eeThickness/Resistivity
鳌艘中文encyclopediaQ>g恸11此直]wwwkeithlinkcom
台湾的^^
Thinfilmsareusedtocreateopticalcoatings您可以在造俚登施告》
外文^^翻版Examplesincludelow-emissivitypanesofglassfor
housesandcarsanti-reflectivecoatingsonglasses...
所有结果
enwikipediaorg/wiki/Thin-film_optics-
搜寻.舞盛直库存槽-JS似内容V
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Ihin-tilmopticsisthebranchotopticsthatdealswithvery
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thinstructuredlayersofdifferentmaterialsInorderto
Recentchanges
exhibitthin-filmopticsthethicknessofthelayersof
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materialmustbeontheorderofthewavelengthsofvisible
►Toolboxlight(about500nm}Layersatthisscalecanhave
remarkablereflectivepropertiesduetolightwave
►Print/export
interferenceandthedifferenceinrefractiveindexbetween
▼LanguagesthelayerstheairandthesubstrateTheseeffectsalterthe
5-bnrapcxMwaytheopticreflectsandtransmitslightThiseffectknown
日本杷asthin-filminterference,isobsersableinsoapbubblesand
Polskioilslicks.
PyCCKHHMoregeneralperiodicstructuresnotlimitedtoplanar
Suomilayersareknownasphotoniccrystals
YKpaiHCbKa
Inmanufacturingthinfilmlayerscanbeachievedthrough
thedepositionofoneormorethinlayersofmaterialontoa
substrate(usuallyglass)Thisismostoftendoneusinga
physica:.apordepositionprocesssuchasevaporationor
sputterdeposition,orachemicalprocesssuchaschemical
vapordeposition
ThinfilmsareusedtocreateopticalcoatingsExamples
includelow-emissivitvcanesofGlassforhousesandcars
因卷使用英文^^字查前'孱真示主题内容自然是以英文内容卷主)如果需要中
文,可以逗按繁飕中文^直。
「「opticalthinfilm-Google搜琴-WindowsInteractExplorer0®®
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thinfilm-Manifacier-被引用643次opticalthinfilm
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光季薄膜保指在光孥元件或3蜀立基板上4度上介膜或金腐膜,或者是介重
膜或金腐膜所名且成的膜堆,以改建光波之停遮特性,其特性包括光的透射
(Transmission*,*票示*虢,代表章末有示李&查言旬维I路W■源)、反射(Reflection*)、
吸收(Absroption)、散射(Scattering)、偏振(Polarization*)及相位(Phase)改建。换
言之,幺坐由逾富言殳"可以言周燮不同波段上,元件表面之穿透率T及反射率R,以
及上述其他不同的特性,迤而裂造各槿罩眉以及多嵬光孥薄膜来满足科季典工程
上的愿用。
1-2光^^膜分^
假t殳膜眉的膜^具有以下特性
1.平面平行(planeparallelism):膜眉平整以避免散射冏题
2.同^均匀(homogeneous)
3.等方性(isotropy)
4.:攵有吸收(freeofabsorption)
5.:攵有色散(freeofdispersion)
^除上,膜眉有微版幺吉情(microstructure),非假言殳理想状憩下所^,是一
境聚密平整光滑速^的薄>t;由^路资源6所查前的资料g)形可以清楚看到,以
玻雕基板卷比申交封■象,圈中^膜眉ZnS舆MgF2,皆有非常明^的界面舆柱状幺吉
<,SiO2:攵有明II的柱状结情,膜眉的特性侵於TiO2。
光^^膜分^(Classicalopticalcoatings)有
•抗反射膜(Anti-reflectioncoating*):波段内,低反射率的光吉普特性
•高反射膜(Highreflectioncoating):波段内>高反射率的光春普特性
•分光^(Neutralbeamsplitter):波段内,反射舆穿透率固定比例的光春普特性
•短波通滤光片(Shortpassedgefilter):短波辰显域,高穿透率的光言普特性
•晨波通滤光片(Longpassedgefilter):晨波晨显域)高穿透率的光吉普特性
•宽带通滤光片(widebandpassfilter):特定宽波是显域内,高穿透率的光
卷普特性
•窄带通滤光片(narrowbandpassfilter):特定窄波晨显域内>高穿透率的光
言普特性
1.3光^^膜功能
光的干涉作用是强烈的波晨函数,使得光通遇光孥薄膜之彳灸,崖生反射、透
射、偏振以及相位的改燮由此燮化可知光^薄膜具有下列的功能
•反射率R的降低(或者是透射率T的提高):抗反射膜
•反射率R的提高(或者是透射率T的降低):增反射膜
•分光作用:有中性分光,曼色分光,偏振分光
•滤光作用:光^带通滤光,带止滤光,是波通滤光,短波通滤光
•幅射热控制
•相位改燮
•光波引簿、光典稹光路
•色光、色温燮:模掇:自然日光光源*
•光瓷存:光阜薄膜在光资有礼的言己存上,如常免的光碟片,藉由不同薄膜
厚度改建碟片上的反射光反射率或相位,雷射光射到Lands(平地)的部分反
射回来强度不曾燮弱,而射到PitsM礼洞)的部分在反射回来强度更I曾燮弱。
•液晶骸示功能彰骸色光骸示、反射,票舆有^言登卷防偏:与<'票防偏it膜技
街,垂直(虚'«)奥斜向45度
•防偏:光擘薄膜在色光骸示、色光反射、咨少票及有僵卷登券之防偏上,藉由封
咨少票视角不同多眉光孥薄膜在色光反射上座生不同彦直色,追槿彦直色建化辗法
以印刷方式it成且以平面描描方式亦维法膜.装,由此可得到趣高的防偏功
能。
1-4光擘薄膜特徵矩阵
光是甯磁波,入射於膜眉各界面招畲分成反射光舆透射光,其中逮包括吸
收舆散射光,意即
反射率R+透射率T+吸收A+散射S=1
在不考感吸收舆散射的理想假言殳下,上式曾化悬
反射率R+透射率T=1
在忽略多重反射光的情况下,膜眉特性可以由2x2的特徵矩阵(麓穗膜矩睡)描
述,封多^膜而言,其特徵矩睡就是各罩•眉特徵矩障的依序乘稹>造些矩睡相
乘彳发,仍然是2x2的矩阵,再配合一他1代表基板的2x1矩阵'即可言十算厚纳值典
所有相封鹰的薄膜特性。
q^^膜结横,光优入射介No以Oo角度入射,其薄膜特徵矩阵可表示成
q—sin61
cos6rr
HrHs
[i]=n..cos6
*■r=iir)rsin6orr
Y=
2Tl
5=
1:
其中相厚度入Nrdrcos0r,r第r眉it膜
nrcos0rS偏振(NscosesS偏振
nr=P偏振"s-砥aP偏振
cosw
cos0r<s
X:波晨,Nrdrcos0r:光晕厚度,Nr=nr-iKr:禊教折射率,nr:^敦折射率,
Kr:消光保敷,如果是介重^材料,Kr=0,dr:黑何厚度,a:第r眉折射角,
由SnelTslaw:夬定
Nosin0o=Nrsin0r=Nssin0s
No:入射介^携■数折射率,0o:入射角,Ns:基板禳敦折射率,0s:基板折射角,
Y:募纳
由特徵矩障公式中的光^等^^念,可以言十算薄膜膜堆的反射率R'穿透率丁
及吸收A:
RI=no"-Y\2
Re(ns)d-R)
T=
Re(BC*)
Re代表^数部份
Re(ns)
A=(l-R)1---=1-R-T
Re(BC)
C
Y——
符溥纳B代入上式,得
4noRe(ns)
(>loB+C)(r|()B+C)
4HoRe(BC,-r)s)
(HOB+C)2
隐例H入射介折射率no=l>基板折射率ns=l.52,^膜折射率n=l.38,相厚
度入/4,言十算其反射率R
271
S=—
l_^J使用「入NrdrCOS0r(以垂直入射言十算)
2Tl入TI
6=
i
cos6——sin61
rHr「r
[cl=nHs
iqsin8cos8
代入特徵矩阵rrr
n
7T
B2-2
cnnS
L7T
22
Bo-
cn
no
c
-
代B
入
Yin
n-s
n
o-Y
R+-
oY
代
入
代入数值
(1X1.52-1.382)
R=k=1.26%
(1x1.52+1.38”)
相封反射率光如下所示,其中缸色才票^代表在言殳言十波是虑的反射率
罩盾抗反射膜
A(nm)
I轮例2)入射介折射率1,基板折射率1.52,it膜折射率n,相厚度;1/4,if
算其反射率R=0的修件
画使用上述的结果
2
"nons-n\
=7~2"
\n0ns+n
no+~
可知R=0,分子部分必须等於零,即
2
ngns-n=0
蛇后9
符数值代入
n=JlX1.52^1,233
现有存在的材料中,:攵有造麽低折射率的材料,因此理^上可以逵到零反
射率,^除上卸是辗法^^)而唯一燮通的辨法,就只能靠多眉膜来改善。
使例3]入射介折射率no,基板折射率n,s,^膜折射率n,相厚度;1/2,言十算
其反射率R
271
(}5=
使用,入NraCOsOr(以垂直入射言十算)
2n
入A/2=7r
i
C0S6r—sin61
[c]=n.sHrHs
r=1inrsinorcos8r
代入特徵矩阵
i
cosIT—sinir
»D_n
C一•.
insinircosn
B
C
C
Y=—
代入B
-ns
Y=工-=ns
R=
号2
代入
n0-ns
R
no+ns
在言殳言十波晨入。虑,反射率R舆it膜折射率^^,故稠瓢效眉。
I轮例41人射介折射率n0,基板折射率ns,^膜折射率n,光季厚度入/4,tf
算其反射率R
271
(}5=--
1里使用,入MdrCOsOr(以垂直入射言十算)
2n入IT
6二————
i
[cl=rftcos6r—sin61
Hr
Hs.
iqrsin6rcos6r
令特徵矩阵中,
q
cos8r一sin6
M=nHr
r=1iqrsin6rcos6r
(a)P=2日寺
i
cosb]—sin6
COS62—sin62
M=Hi四2
][ir)2sin82
i%sinbicos81COS62
符数值代入
00
M=n
in2
00
n2
若P=4
0°A
M=nl
in
l0oin20
0
同棣步.彝,常p=p(偶数)畤
2。1
丝/2门”々
-U-
B]«ir11_«i
c=f、%"S=/
JJ勺//JJ勺//
0——力s——
n
«2/JLV2
阳向
nS--\户
vC«2«1
Y=—=—^―;—=ns——
B«2
»2
R-(Ho-Yk
代人\Ho+Y、
«2
代入T=l-R
T=R=
(«0?+2(«o)ns
«2
(b)P:奇事攵,^自行.辣酊
1-5膜符虢
膜的光厚度卷1/4波晨(麓穗QWOT)或1/2波是(麓耦HWOT)的整数
倍畴,特徵矩阵符曾化言午多,ji且在^^言殳言十上也常常愿用,因此^膜符虢通常
是以1/4或1/2波晨表示膜屑厚度,例如麓嘉H'M'L的^膜保指膜厚1/4波
房的高、中、低折射率膜眉;同理
HH,2H,H2
MM,2M,M2
LL,2L,L2
刖分别代表膜厚1/2波晨的高、中、低折射率膜眉1例如光优空氟n()=1垂直
入射於基板&=1.52的^膜系统,若膜眉探用QWOT方式,即
A
NrdrCOS0r=
2n2TI入n
入NrdrcosOr=入4=2
此畴特徵矩阵卷
71TT
cos-—sin—
Bni2101
CITTT%Hi
iHisin—cos—Hi0
[ini,
由上式t十算拳纳
i\
CHi
Y=B=Hi=Hs
状况一:
it膜状况:1|L|1.52,nL=1.38,0o=O
1.382
Y==1.253
溥纳:依ns1.52
y—
/Ho-\2/n0-YV/11.253^2
=1.261%
+R_DO+Y_n0+Y[1+1.253)
反射率:1°I\°
可是罩眉低折射率^膜)在言殳割•波晨畤具有降低反射率的效果,因悬未4度膜的基
板反射率悬
/Ho-Y\/n0-ns\zi-1.52\2
状况二:
it膜状况:1|H|1.52,nH=2.35,0o=O
7
ni22.352
Y=——=-^-=3.633
醇辆:nSL52
no-Y)1-3.633
R=22=32.3%
Ho+1+3.633
反射率:Y,
可是覃眉高折射率^膜的醇纳值更逮蹄1,致反射率不降反升。
若膜眉揉用HWOT方式,即
A
NrdrCOS0r=2
2Tl2ITA
此B寺特徵矩^卷
1
B,cos(n)—sin(n)1-10][l
C/r|co-i][n
ir|]Sin(ir)COS(TT)s
B-1
c一Hs
由上式t十算厚纳
C-ns
Y=B=-1=ns=i,52
因此,不管此罩眉膜是低折射率或高折射率材料,反射率均典基板反射率相同,
即
-0-Y卜尸-.fl-1.52b
骸见基板^上半波晨罩眉膜,在m殳t十波寺,其效果如同未4度膜一般,故矛再瓢效
眉。
1-6基板的反射率R典透射率T
若不考感吸收,以特徵矩睡th俞基板的反射率、透射率(或者耦悬穿透率),
聚玻璃基板,ns=1.52,Ks=O卷例>其特徵矩阵卷
B1
Cns
可知厚•纳值卷
C
Y=BJs
R4n°Re(Bc*-T]s)
(n()B-c*4r|oe(Hs)
R=[*loB+C,A=
(r|oB+C)(qB+C)(nB+c)2
上式代回00
NgcosGQ-JV^cosGg
跖COS8Q+N$COS8S
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