薄膜的生长过程

薄膜的生长过程Tag内容描述：<p>1、第五章 薄膜的生长过 程和薄膜结构 1 本章研究内容 ： 薄膜具体的生长过程； 薄膜的微观组织； 微观组织与生长条件的具体关系。 2 第一节 薄膜生长过程概述 第二节 新相的自发形核理论 第三节 新相的非自发形核理论 第四节 连续薄膜的形成 第五节 薄膜生长过程与薄膜结构 第六节 非晶薄膜 第七节 薄膜织构 第八节 薄膜的外延生长 第九节 薄膜中的应力和薄膜的附着 力 3 第一节 薄膜生长过程概述 薄膜的生长过程直接影响到薄膜的结 构以及它最终的性能。 薄膜的生长过程大致划分为两个阶段 ：新相形核阶段、薄膜生长阶段。 4 一.薄膜的生长。</p><p>2、第六章 薄膜的生长过程,6.1薄膜生长过程概述,图6.1表示薄膜沉积中原子的运动状态及薄膜的生长过程,6.1薄膜生长过程概述,射向基板及薄膜表面的原子、分子与表面相碰撞，其中一部分被反射，另一部分在表面上停留。 停留于表面的原子、分子，在自身所带能量及基板温度所对应的能量作用下，发生表面扩散(surface diffusion)及表面迁移(surface migration)，一部分再蒸发，脱离表面，一部分落入势能谷底，被表面吸附，即发生凝结过程。 凝结伴随着晶核形成与生长过程，岛形成、合并与生长过程，最后形成连续的膜层。,6.1薄膜生长过程概述,在真。</p><p>3、第六章薄膜的生长过程,6.1薄膜生长过程概述,图6.1表示薄膜沉积中原子的运动状态及薄膜的生长过程,6.1薄膜生长过程概述,射向基板及薄膜表面的原子、分子与表面相碰撞，其中一部分被反射，另一部分在表面上停留。停留于表面的原子、分子，在自身所带能量及基板温度所对应的能量作用下，发生表面扩散(surfacediffusion)及表面迁移(surfacemigration)，一部分再蒸发，脱离表面，一部。</p>