滑块厚度综合检测平台检测平台开题报告.doc

毕业设计(论文)开题报告学生姓名：学号：专业：机械工程及自动化设计(论文)题目：滑块厚度综合检测平台-检测平台指导教师:2005年3月20日开题报告填写要求1开题报告（含“文献综述”）作为毕业设计（论文）答辩委员会对学生答辩资格审查的依据材料之一。此报告应在指导教师指导下，由学生在毕业设计（论文）工作前期内完成，经指导教师签署意见及所在专业审查后生效；2开题报告内容必须用黑墨水笔工整书写或按教务处统一设计的电子文档标准格式（可从教务处网页上下载）打印，禁止打印在其它纸上后剪贴，完成后应及时交给指导教师签署意见；3“文献综述”应按论文的格式成文，并直接书写（或打印）在本开题报告第一栏目内，学生写文献综述的参考文献应不少于15篇（不包括辞典、手册）；4有关年月日等日期的填写，应当按照国标GB/T740894数据元和交换格式、信息交换、日期和时间表示法规定的要求，一律用阿拉伯数字书写。如“2004年3月15日”或“2004-03-15”。毕业设计（论文）开题报告1结合毕业设计（论文）课题情况，根据所查阅的文献资料，每人撰写2000字左右的文献综述：文献综述一选题背景和意义本文介绍的是为空调中某个精度要求很高的滑块测量所设计的自动检测系统。（一）采用自动检测设备有非常重要的意义1采用自动检测技术有利于提高生产效率并降低工人的劳动强度。自动检测系统与自动机械当然密不可分。所谓自动机械，是指在没有操作人员直接参与下，组成机器的各个结构（装置）能自动实现协调动作，在规定的时间内完成循环的机器。在该测量滑块的自动检测系统中，为了减少时间损失并提高劳动生产率，使送料分类等辅助工作与被测件的运送、检测工作重合起来。工作中，首先启动机器，人工完成将被测滑块送至检测系统中，自动定位、夹紧，然后滑块随同步齿形带移动并完成测量，最后通过计算机数据处理、分类并从不同的出料口滑处。我们据上可以看出：整个测量过程工人仅需要把被测件放到进料口，工人的劳动强度大大降低。2自动检测的控制元件可以保证足够的测量精度，从而确保测量分类的可靠性在机械行业中，质量是生命。在实现这个目标的过程中，自动检测的作用和重要意义是不言而喻的。作为装备有感应器和反馈装置的测量系统，可以达到比较高的测量精度。测量过程中如要保证动态测量精度，需要研究适合于动态或准动态的测试设备，甚至能集成到加工设备中的特殊测试设备，做到实时测试。设备制造出来后，再根据调试结果对一些环节作适当的修改，从而保证了测量分类结果的可靠性。3自动检测是测量学和自动机械两者紧密结合的有机整体。当前，国内外在这两个领域的研究已经比较成熟，便于我们在设计时参考或直接利用随着工农业的发展，测量学朝着更广、更精的方向发展。众所周知，三峡水利枢纽工程巨大，技术要求高。仅监测一项就耗资巨大，对变形监测和库区地壳形变、滑坡、岩崩以及水库诱发地震监测，不仅采用目前国内外最成熟最先进的仪器、技术，在实践中也在不断发展新的技术和方法，如对滑坡体变形与失稳研究的计算机智能仿真系统；拟进行研究的三峡库区滑坡泥石流预报的3S工程等，都涉及到精密工程测量。隔河岩大坝外部变形观测的GPS实时持续自动监测系统，监测点的位置精度达到了亚毫米。自动机械方面，自改革开放以来，我国不断的引进技术，改善生产，这方面的进步是显而易见的。数控机床，流水生产线等等无一不是自动机械的应用。而在以下四个关键性环节中我们仍需花大力气、下大功夫。（1）如何才能改善机器的动态性能：使之在高速工作时运动平稳，降低振动与噪声；（2）如何才能提高系统工作可靠性，降低故障率，提高机器设备的利用率；（3）提高机械效率，减少磨损和摩擦，提高精度保持性。对于如何设计一部自动机械，前人已经总结了一套方案。设计过程可分为初步设计阶段、技术设计阶段、工作图设计阶段、安装调试阶段。二国内外发展现状（一）北京灵和公司生产的大惯量超精密气浮平台1工作条件平台在设计时需考虑对不同尺寸的多种气足结构形式特性进行实验验证的要求，所以不仅可以实现对大惯量气浮平台的设计方法、控制理论及气膜厚度和压力分布特性的研究，还为气浮轴承共性的理论方面的研究成果进行实验验证提供了实验平台，实现资源共享。为准确研究光刻机在工作过程的真实的特性，需实现大惯量气足沿XY方向运动。为保证大惯量气足的稳定性，在大惯量气足旁边加一副气足，两气足均采用真空预载方式。由该平台所得出的气浮导轨和大惯量气足工作时的动态特性和超精密控制方法能够真实的反映光刻机实际工作时的动态特性。2技术要求（1）技术参数及设计指标最大运动加速度：1.62.0g定位精度：0.52.0m最大稳定运动速度：600mm/s运动行程300mm气浮导轨：气膜