标准解读

《GB/T 34504-2017 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法》是一项国家标准，旨在规范蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素的测量过程。该标准适用于半导体工业中使用的蓝宝石抛光衬底片，其主要目的是通过科学的方法检测这些材料表面上可能存在的微量或痕量金属污染，从而确保产品质量符合要求。

标准详细规定了从样品准备到分析报告出具整个流程中的具体步骤和技术要求。首先，在样品制备阶段，明确了如何选取代表性样本以及对样本进行预处理的要求，包括清洗、切割等操作；接着是测试方法的选择与实施，这里推荐使用电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）作为主要手段来定量分析目标金属元素含量；此外还涵盖了仪器校准、数据处理及结果表示等方面的内容。

在整个过程中，《GB/T 34504-2017》强调了实验条件控制的重要性，比如实验室环境应保持清洁无尘，并且所有用于分析的试剂和耗材都需达到一定纯度级别以避免引入额外污染源。同时，对于不同种类的目标金属元素，该标准也提供了相应的检测限值参考，帮助用户根据实际需要设定合理的质量控制标准。

最后，依据本标准完成的所有测量活动均需形成正式文档记录，包括但不限于原始数据、计算过程及最终结论，以便于后续审核或比对工作。通过遵循这一系列严格而系统的指导原则，可以有效提升蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量结果的准确性和可靠性。


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  • 被代替
  • 已被新标准代替，建议下载现行标准GB/T 24578-2024
  • 2017-10-14 颁布
  • 2018-05-01 实施
©正版授权
GB∕T 34504-2017 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法_第1页
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文档简介

ICS77040 H 17 . 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T345042017 蓝宝石抛光衬底片表面 残留金属元素测量方法 Measurementmethodforsurfacemetalcontaminationonsapphire polishedsubstratewafer2017-10-14发布 2018-05-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 GB/T345042017 前 言 本标准按照 给出的规则起草 GB/T1.12009 。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 与全国半导体设备和材料标准 (SAC/TC203)化技术委员会材料分技术委员会 共同提出并归口 (SAC/TC203/SC2) 。 本标准起草单位 天通控股股份有限公司 : 。 本标准主要起草人 康森 宋岩岩 邵峰 沈瞿欢 於震杰 : 、 、 、 、 。 GB/T345042017 蓝宝石抛光衬底片表面 残留金属元素测量方法1 范围 本标准规定了蓝宝石抛光衬底片表面深度为 以内的残留金属元素的全反射 光荧光光谱测 5nm X 试方法 。 本标准适用于蓝宝石抛光衬底片表面残留的 在元素周期表中 号 除去铝和氧 、 11(Na)92(U) ( ), 且面密度在 9 2 15 2 范围内元素的定量测量 其他用途蓝宝石抛光片表面残 10 atoms/cm 10 atoms/cm 。 留金属元素的测量可参照本标准执行 。2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 。 , ( ) 。 纯氮 高纯氮和超纯氮 GB/T89792008 、 半导体材料术语 GB/T14264 洁净厂房设计规范 GB500732013 3 术语 定义和缩略语 、 界定的以及下列术语 定义和缩略语适用于本文件 GB/T14264 、 。31 术语和定义 . 311 . 掠射角 glancingangle 全反射 光荧光光谱 测试方法中 射线的入射角度 X (TXRF) X 。312 . 角扫描 anglescan 作为掠射角函数 对发射的荧光信号的测量 , 。313 . 临界角 criticalangle 能产生全反射的最大角度 当掠射角小于这一角度时 被测表面发生对入射 射线的全反射 , , X 。32 缩略语 . 全反射 光荧光光谱 TXRF X (totalreflectionX-rayfluorescence)4 方法原理 41 的激发是以入射角小于 的原级 射线掠射激发样品台上的样品 入射的 射线通过 . TXRF 0.1 X 。 X 样品表面发生全反射 由此激发出来的 射线荧光通过 探测器进行探测 再通过光谱仪进行定 , X
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