标准解读

《GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》是一项国家标准，专门针对氮化镓（GaN）单晶材料的晶体质量进行评估。该标准定义了一种通过X射线衍射技术来测量氮化镓单晶衬底片中特定方向上的双晶摇摆曲线，并基于此计算出其半高全宽（FWHM, Full Width at Half Maximum）的方法。这种方法能够有效反映样品内部缺陷密度、位错分布情况以及整体结晶度等重要信息。

根据标准内容，首先需要准备符合要求的氮化镓单晶衬底样品；接着使用适合的X射线衍射仪，在设定好的条件下对样品进行测试，获取对应于(002)或(102)面族的X射线衍射图谱；然后从获得的数据中提取出指定峰位处的双晶摇摆曲线；最后通过对这些曲线进行分析处理，得到相应的半高宽值。整个过程中需要注意控制实验条件的一致性，以保证测试结果的准确性和可比性。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2015-12-10 颁布
  • 2016-11-01 实施
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ICS77040H 21 .中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T321882015 氮化镓单晶衬底片 X 射线双晶摇摆曲线 半高宽测试方法 TestmethodforfullwidthathalfmaximumofdoublecrystalX-rayrocking curveofGaNsinglecrystalsubstrate2015-12-10发布 2016-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 GB/T321882015 前 言 本标准按照 给出的规则起草 GB/T1.12009 。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 与全国半导体设备和材料标准 (SAC/TC203)化技术委员会材料分会 共同提出并归口 (SAC/TC203/SC2) 。 本标准起草单位 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 苏州纳维科技有限公司 中国科学 : 、 、院物理研究所 北京天科合达蓝光半导体有限公司 丹东新东方晶体仪器有限公司 、 、 。 本标准主要起 草 人 邱 永 鑫 任 国 强 刘 争 晖 曾 雄 辉 王 建 峰 陈 小 龙 王 文 军 郑 红 军 徐 科 : 、 、 、 、 、 、 、 、 、赵松彬 。 GB/T321882015 氮化镓单晶衬底片 X 射线双晶摇摆曲线 半高宽测试方法1 范围 本标准规定了利用双晶 射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片摇摆曲线半高宽的方法 X 。 本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的氮化镓单晶衬底片 。2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 ,件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 。 , ( ) 。 半导体材料术语 GB/T14264 3 术语和定义 界定的以及下列术语和定义适用于本文件 GB/T14264 。31 . 衍射平面 thediffractionplane 射线入射束 衍射束构成的平面 X 、 。32 . 半高宽 fullwidthathalfmaximum FWHM ; 摇摆曲线最大强度一半处曲线的宽度 。33 . 轴 axis 倾斜样品的轴 由样品台表面和衍射平面相交而成 , 。34 . 角 angle 样品某晶面与样品表面的夹角 。35 . 角 angle 样品台绕样品表面法线旋转的角度 。36 . 扫描 sca
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