360吨每天产半导体生产废水处理设计方案书

廢水規劃書 第 頁 1 360 吨每天产半导体生产废水处理设计方案书 一 . 业 主： 公司 二 . 工程地址： 三 . 联络电话： 二 . 概说 于半导体生产过程中产生的电镀废水，以及 F 运行 日排放废水总量为 360M3/ 本规划设计书系针对废水之来源，性质及流量拟定可行性之处理，本最最经济有效之原则以彻底解决公害问题。并确保达排放标准。 三 . 设计基础 一 . 处理方式：本案采 连续式 处理法 二 . 放流标准：符合排放标准（业主要求） 三 . 设计 水量： 360M3/24、废水性质： 考虑酸碱性 设计值：考虑酸碱性 300 设计值： 450 500 设计值： 680 200 设计值： 250 20 设计值： 25 廢水規劃書 第 頁 2 四、 废水处理原理及原则 就废水污染物质之浓度确定其去除率，其次再就 该同一去除率之各种可达放流水标准之处理方法中视处理量、建设费、用地之大小及操作管理等问题加以检讨，以选择经济最佳之有效处理方案。 用 pH 制酸或碱之注入量。 此废水经物理处理，化学处理方法即可达到水排放一级标准。 其排水量甚为平均，为骤时尖峰排水系其特性，致废水水量及水质变化不均，故需设置调节水槽，以调节水量及水质使其均匀化，并有预先曝气之功效。 五、 废水处理流程 示意图 (如附图 :废水流程示意图及废水平面示意图 ) 六、 系统特点说明 一 . 经处理后排放水质 符合国家一级 排放标准 ： 6： 20 以 下 ： 100 以 下 ： 70 以 下 ： 0.5 以 下 廢水規劃書 第 頁 3 二 从监控部份做彻底之设计及制作。叙述如下 : 1. 药液之管理采用液位探测方式 , 辅以警报系统及必要之自动关机作业 , 以避免人为疏失而造成药剂浪费或排放水质不稳定 . 2. 为避免整套系统运转 , 因部份机械设备出现误差而使整套系统停机 , 进而影响处理水质 , 在控制方面备有安全回路监控及警报系统 . 在设备之安装工程上 , 主要设备均配有备品做并联式之安装。不仅方便操作 , 亦可确保系统运转无误。 七、 处理方法说明 水槽池内设曝气设备，藉搅拌作用使固体物悬浮不致沉淀，并能使水质及水量均匀化。 输送管内添加集剂使胶体物形成更大胶状物，并于沉淀槽内沉淀促使溶解性离子及悬浮物形成沉降 物于沉淀池中去除，并利用 PH 制自动添加药品。 H 制酸自动添加使废水酸碱质均衡稳定进入放流槽最终排放。 饼 )，依现行法规进行最终处置。 八、 设备内容及规格说明 一 量：一座 型 式：立式圆桶型 容 量： 1500L 廢水規劃書 第 頁 4 附属设备 数 量：一套 材 质：耐酸碱 二 量：一座 型 式：立式圆桶型 容 量： 1500L 附属设备 数 量：一套 材 质：耐酸碱 三 量：一座 型 式：立式圆桶型 容 量： 1500L 附属设备 数 量：一套 材 质：耐酸碱 四 量：一座 型 式：立式圆桶型 廢水規劃書 第 頁 5 容 量： 1500L 附属设备 数 量：一套 材 质：耐酸碱 五 量：一座 型 式：立 式圆桶型 容 量： 200L 附属设备 数 量：一套 材 质：耐酸碱 六 量：一座 型 式：立式圆桶型 容 量： 200L 附属设备 数 量：一套 材 质：耐酸碱 廢水規劃書 第 頁 6 七 量：一座 型 式：立式圆桶型 容 量： 1000L 附属设备 数 量：一套 材 质：耐酸碱 八 量：一座 型 式：立式圆桶型 容 量： 200L 附 属设备 数 量：一套 材 质：耐酸碱 九 量：一座 型 式：立式圆桶型 容 量： 500L 廢水規劃書 第 頁 7 附属设备 数 量：一套 材 质：耐酸碱 十 房浓酸废液中继水槽 T O 数 量：一座 型 式：立式开放型双层水槽 有效容积： 3留时间： 12 构： +属设备 数 量：二组（一组备用） 型 式：陆上型 规 格： 200L/x 12 MH x 40A x 2P 马 达： x 3 x 380 V x 50 质：耐酸碱 配 备：浮球开关 数 量：一组 规 格： 材 质： 数 量： 4 支 廢水規劃書 第 頁 8 型 式：圆 盘 式 材 质 : 一 a(备用 ) 数 量：一座 型 式：立式开放型双层水槽 有效容积： 6留时间： 12 构： +属设备 数 量：二组（ 一组备用） 型 式：陆上型 规 格： 200L/x 12 MH x 40A x 2P 马 达： x 3 x 380 V x 50 质：耐酸碱 配 备：浮球开关 数 量：一组 规 格： 材 质： 数 量： 4 支 型 式：圆 盘 式 材 质 : 水規劃書 第 頁 9 十二 b(备用 ) 数 量：一座 型 式：立式开放型双层水槽 有效容积： 留时间： 12 构： +属设备 数 量：二组（一组备用） 型 式：陆上型 规 格： 200L/x 12 MH x 40A x 2P 马 达： x 3 x 380 V x 50 质：耐酸碱 配 备：浮球开关 数 量：一组 规 格： 材 质： 数 量： 4 支 型 式：圆 盘 式 材 质 : 三 T c 廢水規劃書 第 頁 10 数 量：一座 型 式：立式开放型双层水槽 有效容积： 3留时间： 12 构： +属设备 数 量：二组（一组备用） 型 式：陆上型 规 格： 200L/x 12 MH x 40A x 2P 马 达： x 3 x 380 V x 50 质：耐酸碱 配 备：浮球开关 数 量：一组 规 格： 材 质： 数 量： 4 支 型 式：圆 盘 式 材 质 : 四 2 数 量：一座 型 式：立式开放型双层水槽 廢水規劃書 第 頁 11 有效容积： 80留时间： 12 构： +属设备 数 量：二组（一组备用） 型 式：陆上型 规 格： 300L/x 12 MH x 40A x 2P 马 达： x 3 x 380 V x 50 质：耐酸碱 配 备：浮球开关 数 量：一组 规 格： 材 质： 数 量： 20 支 型 式：圆 盘 式 材 质 : 五 3 数 量：一座 型 式：立式开放型双层水槽 有效容积： 3留时间： 12水規劃書 第 頁 12 结 构： +属设备 数 量：二组（一组备用） 型 式：陆上型 规 格： 200L/x 12 MH x 40A x 2P 马 达： x 3 x 380 V x 50 质：耐酸碱 配 备：浮球开关 数 量：一组 规 格： 材 质： 数 量： 4 支 型 式：圆 盘 式 材 质 : 六 4 数 量：一座 型 式：立式开放型双层水槽 有效容积： 留时间： 12 构： +水規劃書 第 頁 13 附属设备 数 量：二组（一组备用） 型 式：陆上型 规 格： 200L/x 12 MH x 40A x 2P 马 达： x 3 x 380 V x 50 质：耐酸碱 配 备：浮球开关 数 量：一组 规 格： 材 质： 数 量： 4 支 型 式：圆 盘 式 材 质 : 七 5 数 量：一座 型 式：立式开放型水槽 有效容积： 留时间： 12 构： +属设备 药机 廢水規劃書 第 頁 14 数 量 :一台 型 式 :隔膜定量式 规 格 :1000ML/x 6 Kg/ 力 : 40W x 3 x 380 V x 50药机 数 量 :一台 型 式 :隔膜定量式 规 格 :1000ML/x 6 Kg/ 力 : 40W x 3 x 380 V x 50药机 数 量 :一台 型 式 :隔膜定量式 规 格 :1000ML/x 6 Kg/ 力 : 40W x 3 x 380 V x 50药机 数 量 :一台 型 式 :隔膜定量式 规 格 :1000ML/x 6 Kg/ 力 : 40W x 3 x 380 V x 50数 量：一座 型 式：双层浆叶 75 达： W x 3 x 380 V x 50 质 : 廢水規劃書 第 頁 15 数 量： 4 支 型 式：圆 盘 式 材 质 : 数 量：一组 格： x 5000 力： x 3 x 380 V x 50示控制器 数 量：一组 测定范围： 0 4 电 源： 220V/110V x 600 极：玻璃电极 十八 量 : 一座 型 式 : 地上矩型水槽 有效容积 : 留时间 : 构 : +附属设备 1. 药机 数 量 :二组 型 式 :隔膜定量式 廢水規劃書 第 頁 16 规 格 :1000ML/x 6 Kg/ 力 : 40W x 3 x 380 V x 50数 量：一座 型 式：双层浆叶 12 达： W x 3 x 380 V x 50 质 : 3. 曝气盘 数 量： 4 支 型 式：圆 盘 式 材 质 : 九 量 : 一座 型 式 : 地上圆型水槽 有效容积 : 21留时间 : 构 : +械设备 数 量：一座 型 式：双层浆叶 达： W x 3 x 380 V x 50 质 : 廢水規劃書 第 頁 17 溢流堰板 结 构 :数 量 : 材 质 : 数 量 :二组 规 格 :220L/x 21 力 : x 3 x 380 V x 50 质 :十 8 数 量：一座 型 式：立式开放型水槽 有效容积： 留时间： 构： +属设备 药机 数 量 :一台 型 式 :隔膜定量式 规 格 :1000ML/x 6 Kg/ 力 : 40W x 3 x 380 V x 50水規劃書 第 頁 18 药机 数 量 :一台 型 式 :隔膜定量式 规 格 :1000ML/x 6 Kg/ 力 : 40W x 3 x 380 V x 50数 量 :一台 型 式 :隔膜定量式 规 格 :1000ML/x 6 Kg/ 力 : 40W x 3 x 380 V x 50数 量：一座 型 式：双层浆叶 75 达： W x 3 x 380 V x 50 质 : 数 量： 4 支 型 式：圆 盘 式 材 质 : 示控制器 数 量：一组 测定范围： 0 4 电 源： 220V/110V x 600水規劃書 第 頁 19 数 量：一组 型 式：陆上型（ L） 规 格： x 滤 量： 材 质： 胶 配 备： 阀 数 量：叁组（一组备用） 型 式：陆上型（ L） 规 格： 30T/H x 32 MH x 65A x 2P 马 达： x 3 x 380 V x 50 质 ：耐酸碱 配 备：液位开关 二十一 量 : 一座 型 式 : 地上矩型水槽 有效容积 : 留时间 : 构 : +属设备 线控制器 数 量：一组 测定范围： 0 1000 电 源： 220V/110V x 600水規劃書 第 頁 20 输出信号： 4示控制器 数 量：一组 测定范围： 0 14 电 源： 220V/110V x 600 极：玻璃电极 数 量 : 2 支 材 质 : 尺 寸 : 十二 10 数 量 : 一座 型 式 : 地上矩型水槽 有效容积 : 留时间 : 24 构 : +属设备 数 量：一套 材 质：耐酸碱 2. 曝气盘 数 量： 6 支 型 式：圆 盘 式 廢水規劃書 第 頁 21 材 质 : 十三 数 量：一套 型 式：板框式 污泥脱水机（ 00 尺 寸： x x 格： 800mm x 800mm 40 力： x 3 x 380 V x 50属设备 1. 气动隔膜泵 50A 数 量： 2 座 材 质：耐酸碱 . 2. 空压机 数 量： 1 座 马 力： 10二十四 动控制系统 . 槽水位控制系统 . 屋外型（使用 制） 运转 , 停止指示灯 廢水規劃書 第 頁 22 自动手动切换开关 c. 电压仪、检流仪 , 指示仪表 电力配线 现场本工程范围内之电力配线 . 数量 : 一式 . 二十五 . 统连结配管 废水处理场本工程范围内之系统连结配管及凡而 . 管 B” 管（镀锌管与 ） 管 压软管 二十 六 处理场所有照明设备 , 安全措施及一次测电源 . (供应至现场 ). 电 , 药品 , 供应 . (业主须配至现场 ). 3 x 380V 5642 水源 : 40 A 廢水規劃書 第 頁 23 九、 工程范围 一 二 项 目 1. 工程范围内之设备及配管 2. 机械制作 /运送 /组立 /安装 三 目 1. 操作控制盘 2. 一次侧电源引入工程 42 3. 二次侧电源衔接工程 4. 设备照明工程 四 试车 目 1. 教育训练 2. 化学分析 (试车期间 ) 3. 现场指导 试运转 4. 试车用电 /水 /药品 五 目 1. 水质 /水量调查 2. 功能设计 目 1. 土木工程 (整地 ) 2. 反应槽体 3. 管线移设及障碍清除之配合 4. 生产线废水管路废水处理场 廢水規劃書 第 頁 24 3. 机械设备设计 十、 废水处理设备保养及运转管理 一、保养管理之重要性 所谓管理，一般来说可包括： 讨及评估作业经过或作业之记录及成果 ,以重复反映在合理性作业的标准化。 为了担当废水处理设备之运转管理，须制定标准化作业，其项目包括： 管 期及故障对策 告 进行这些标准化项目 ,重要的是一定要确实遵守有关规定。特别是运转操作人及管理人等人数众多时 ,由于个人熟练的操作及方法变更，很容易引起设备故障及意外事故的发生。实施保养管理可达到以下成果： 二、保养管理的状况 本废水处理装置由化学处理 （中和）及物理处理（沉降分离、过滤、脱水等）机器设备组合而成。这些机械设备必须在设定之能力范运作，始能保证处理排放水质之合格。 廢水規劃書 第 頁 25 废水处理与一般生产过程不同，其负有绝对不能产生不良品的使命，废水浓度常在数倍上下变化，但其处理水质（处理标准）却须保持某数值以下，故其运转管理较其它生产过程要求更为严谨。 日常检查：对装置的运转状态可以比较简单地查出之检查作业项目如：设备的加油、药品之补充、电极的清洗等。 定期检查：一年内应检查数次者，以比较须要花费时检查，及无须常作检查 为对象，可利用连休日，等工厂放假日作精细检查之项目。例如：管路之清洗、槽体渗漏检查、防蚀衬里之修补等。 也许因废水处理装置与生产作业无关而常被忽视，但废水处理是否确实运作，从装置的保养、清扫等即可立刻看出，于此就可了解保养，清扫也是重要维护管理作业。 由装置故障检查结果，根据确认装置异常原因所采取适当的修补作业，可初步看出废水处理设施之机能，且能防止装置故障于未然，也能确保其使用寿命。 三、水处理操作日常检查表 检 查 对 象 检 查 项 目 检 查 方 法 搅拌机、泵、鼓风机 振动、发热 整体装置以五感及目视 处理水质 析仪器 沉 淀 槽 沉淀状态、浮渣有无、污泥 上浮、透视度、池内 否悬浮物溢流 目视或 反 应 槽 搅拌、混合状态、短流、异物 附着 目视 、色相 调整速度、中和剂过量投 入 . 凝聚状态、凝聚剂添加量、 目视、量筒等 廢水規劃書 第 頁 26 、目视 污损、破损 目视 操 作 盘 之指示值、操作状况 电流、电压计的确认 确认设定值及槽内之值过大 电流等 原水贮存槽 水质 有否异常 送 泵 扬水 目视 水 位 计 自动操作 有否误操作或操作不良 药 品 槽 药品有否不足、湿度是否正常 目视 药品注入装置 药品有否外溢、注药与连动注 药泵之确认 目视操作间隔是否正常 配 管 有否漏水、漏气 目视 脱 水 机 脱水状态 含水率、手感等 其 他 清扫、擦拭、药品槽、操作其它机器类 注意触电、及旋转部份 四、废水处理操作定期检查表 检 查 对 象 检 查 项 目 检 查 方 法 极 确认有无破损 , 有无沾污物 标准调整 连接部之湿气、沾污、锈蚀 接地线之确认 目视 洗净 ( 洗剂 稀盐酸 每 2 周一次 干布擦拭 腐蚀、破损之确认 配 管 配管阻塞 目视 , 流量测定 反应槽搅拌机 搅拌状态 搅拌翼上异物之去 马达之温度、异音、振动 润滑油澰查 目视，液混合及轴之状态 手感 不足时及补充 移 送 泵 扬水量之确认 扬水量之确认 振动、异常异音 轴、马达温 目视 分解清理之 手感 手感 廢水規劃書 第 頁 27 药品注入泵 注入状况的确认 调节机器的连动 接合部的松脱、漏液 振动、温度、异音 目视计量 目视、 手感 ,目视 目视、五感等 鼓 风 机 旋转状态、异音、振动、湿度 手感 ,目视 三 脚 水 位 计 电极棒之接