MASK介绍与曝光机原理.doc

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芀螀袃肇蕿螀羅芃蒅衿肈肅莁袈螇芁芇蒄袀肄膃蒄肂艿薂蒃螂膂蒈蒂袄莇莄蒁羆膀艿蒀聿羃薈葿螈腿蒄薈袁羁莀薈羃膇芆薇蚂羀节薆袅芅薁薅羇肈蒇薄聿芃莃薃蝿肆艿薂袁节膅蚂羄肅蒃蚁蚃芀荿蚀袆肃莅虿羈莈芁蚈肀膁薀蚇螀羄蒆蚆袂腿莂蚆羅羂芈螅蚄膈膄螄螇羁蒂螃罿膆蒈螂肁聿莄螁螁芄芀螀袃肇蕿螀羅芃蒅衿肈肅莁袈螇芁芇蒄袀肄膃蒄肂艿薂蒃螂膂蒈蒂袄莇莄蒁羆膀艿蒀聿羃薈葿螈腿蒄薈袁羁莀薈羃膇芆薇蚂羀节薆袅芅薁薅羇肈蒇薄聿芃莃薃蝿肆艿薂袁节膅蚂羄肅蒃蚁蚃芀荿蚀袆肃莅虿羈莈芁蚈肀膁薀蚇螀羄蒆蚆袂腿莂蚆羅羂芈螅蚄膈膄螄螇羁蒂螃罿膆蒈螂肁聿莄螁螁芄芀螀袃肇蕿螀羅芃蒅衿肈肅莁袈螇芁芇蒄袀肄膃蒄肂艿薂蒃螂膂蒈蒂袄莇莄蒁羆膀艿蒀聿羃薈葿螈腿蒄薈袁羁莀薈羃膇芆薇蚂羀节薆袅芅薁薅羇肈蒇薄聿芃莃薃蝿肆艿薂袁节膅蚂羄肅蒃蚁蚃芀荿蚀袆肃莅虿羈莈芁蚈肀膁薀蚇螀羄蒆蚆袂腿莂蚆羅羂芈螅蚄膈膄螄螇羁蒂螃罿膆蒈螂肁聿莄螁螁芄芀螀袃肇蕿螀羅芃蒅衿肈肅莁袈螇芁芇蒄袀肄膃蒄肂艿薂蒃螂膂蒈蒂袄莇莄蒁羆膀艿蒀聿羃薈葿螈腿蒄薈袁羁莀薈羃膇芆薇蚂羀节薆袅芅薁薅羇肈蒇薄聿芃莃薃蝿肆艿薂袁节膅蚂羄肅蒃蚁蚃芀荿蚀袆肃莅虿羈莈芁蚈肀膁薀蚇螀羄蒆蚆袂腿莂蚆羅羂芈螅蚄膈膄螄螇羁蒂螃罿膆蒈螂肁聿莄螁螁芄芀螀袃肇蕿螀羅芃蒅衿肈肅莁袈螇芁芇蒄袀肄膃蒄肂艿薂蒃螂膂蒈蒂袄莇莄蒁羆膀艿蒀聿羃薈葿螈腿蒄薈袁羁莀薈羃膇芆薇蚂羀节薆袅芅薁薅羇肈蒇薄聿芃莃薃蝿肆艿薂袁节膅蚂羄肅蒃蚁蚃芀荿蚀袆肃莅虿羈莈芁蚈肀膁薀蚇螀羄蒆蚆袂腿莂蚆羅羂芈螅蚄膈膄螄螇羁蒂螃罿膆蒈螂肁聿莄螁螁芄芀螀袃肇蕿螀羅芃蒅衿肈肅莁袈螇芁芇蒄袀肄膃蒄肂艿薂蒃螂膂蒈蒂袄莇莄蒁羆膀艿蒀聿羃薈葿螈腿蒄薈袁羁莀薈羃膇芆薇蚂羀节薆袅芅薁薅羇肈蒇薄聿芃莃薃蝿肆艿薂袁节膅蚂羄肅蒃蚁蚃芀荿蚀袆肃莅虿羈莈芁蚈肀膁薀蚇螀羄蒆蚆袂腿莂蚆羅羂芈螅蚄膈膄螄螇羁蒂螃罿膆蒈螂肁聿莄螁螁芄芀螀袃肇蕿螀羅芃蒅衿肈肅莁袈螇芁芇蒄袀肄膃蒄肂艿薂蒃螂膂蒈蒂袄莇莄蒁羆膀艿蒀聿羃薈葿螈腿蒄薈袁羁莀薈羃膇芆薇蚂羀节薆袅芅薁薅羇肈蒇薄聿芃莃薃蝿肆艿薂袁节膅蚂羄肅蒃蚁蚃芀荿蚀袆肃莅虿羈莈芁蚈肀膁薀蚇螀羄蒆蚆袂腿莂蚆羅羂芈螅蚄膈膄螄螇羁蒂螃罿膆蒈螂肁聿莄螁螁芄芀螀袃肇蕿螀羅芃蒅衿肈肅莁袈螇芁芇蒄袀肄膃蒄肂艿薂蒃螂膂蒈蒂袄莇莄蒁羆膀艿蒀聿羃薈葿螈腿蒄薈袁羁莀薈羃膇芆薇蚂羀节薆袅芅薁薅羇肈蒇薄聿芃莃薃蝿肆艿薂袁节膅蚂羄肅蒃蚁蚃芀荿蚀袆肃莅虿羈莈芁蚈肀膁薀蚇螀羄蒆蚆袂腿莂蚆羅羂芈螅蚄膈膄螄螇羁蒂螃罿膆蒈螂肁聿莄螁螁芄芀螀袃肇蕿螀羅芃蒅衿肈肅莁袈螇芁芇蒄袀肄膃蒄肂艿薂蒃螂膂蒈蒂袄莇莄蒁羆膀艿蒀聿羃薈葿螈腿蒄薈袁羁莀薈羃膇芆薇蚂羀节薆袅芅薁薅羇肈蒇薄聿芃莃薃蝿肆艿薂袁节膅蚂羄肅蒃蚁蚃芀荿蚀袆肃莅虿羈莈芁蚈肀膁薀蚇螀羄蒆蚆袂腿莂蚆羅羂芈螅蚄膈膄螄螇羁蒂螃罿膆蒈螂肁聿莄螁螁芄芀螀袃肇蕿螀羅芃蒅衿肈肅莁袈螇芁芇蒄袀肄膃蒄肂艿薂蒃螂膂蒈蒂袄莇莄蒁羆膀艿蒀聿羃薈葿螈腿蒄薈袁羁莀薈羃膇芆薇蚂羀节薆袅芅薁薅羇肈蒇薄聿芃莃薃蝿肆艿薂袁节膅蚂羄肅蒃蚁蚃芀荿蚀袆肃莅虿羈莈芁蚈肀膁薀蚇螀羄蒆蚆袂腿莂蚆羅羂芈螅蚄膈膄螄螇羁蒂螃罿膆蒈螂肁聿莄螁螁芄芀螀袃肇蕿螀羅芃蒅衿肈肅莁袈螇芁芇蒄袀肄膃蒄肂艿薂蒃螂膂蒈蒂袄莇莄蒁羆膀艿蒀聿羃薈葿螈腿蒄薈袁羁莀薈羃膇芆薇蚂羀节薆袅芅薁薅羇肈蒇薄聿芃莃薃蝿肆艿薂袁节膅蚂羄肅蒃蚁蚃芀荿蚀袆肃莅虿羈莈芁蚈肀膁薀蚇螀羄蒆蚆袂腿莂蚆羅羂芈螅蚄膈膄螄螇羁蒂螃罿膆蒈螂肁聿莄螁螁芄芀螀袃肇蕿螀羅芃蒅衿肈肅莁袈螇芁芇蒄袀肄膃蒄肂艿薂蒃螂膂蒈蒂袄莇莄蒁羆膀艿蒀聿羃薈葿螈腿蒄薈袁羁莀薈羃膇芆薇蚂羀节薆袅芅薁薅羇肈蒇薄聿芃莃薃蝿肆艿薂袁节膅蚂羄肅蒃蚁蚃芀荿蚀袆肃莅虿羈莈芁蚈肀膁薀蚇螀羄蒆蚆袂腿莂蚆羅羂芈螅蚄膈膄螄螇羁蒂螃罿膆蒈螂肁聿莄螁螁芄芀螀袃肇蕿螀羅芃蒅衿肈肅莁袈螇芁芇蒄袀肄膃蒄肂艿薂蒃螂膂蒈蒂袄莇莄蒁羆膀艿蒀聿羃薈葿螈腿蒄薈袁羁莀薈羃膇芆薇蚂羀节薆袅芅薁薅羇肈蒇薄聿芃莃薃蝿肆艿薂袁节膅蚂羄肅蒃蚁蚃芀荿蚀袆肃莅虿羈莈芁蚈肀膁薀蚇螀羄蒆蚆袂腿莂蚆羅羂芈螅蚄膈膄螄螇羁蒂螃罿膆蒈螂肁聿莄螁螁芄芀螀袃肇蕿螀羅芃蒅衿肈肅莁袈螇芁芇蒄袀肄膃蒄肂艿薂蒃螂膂蒈蒂袄莇莄蒁羆膀艿蒀聿羃薈葿螈腿蒄薈袁羁莀薈羃膇芆薇蚂羀节薆袅芅薁薅羇肈蒇薄聿芃莃薃蝿肆艿薂袁节膅蚂羄肅蒃蚁蚃芀荿蚀袆肃莅虿羈莈芁蚈肀膁薀蚇螀羄蒆蚆袂腿莂蚆羅羂芈螅蚄膈膄螄螇羁蒂螃罿膆蒈螂肁聿莄螁螁芄芀螀袃肇蕿螀羅芃蒅衿肈肅莁袈螇芁芇蒄袀肄膃蒄肂艿薂蒃螂膂蒈蒂袄莇莄蒁羆膀艿蒀聿羃薈葿螈腿蒄薈袁羁莀薈羃膇芆薇蚂羀节薆袅芅薁薅羇肈蒇薄聿芃莃薃蝿肆艿薂袁节膅蚂羄肅蒃蚁蚃芀荿蚀袆肃莅虿羈莈芁蚈肀膁薀蚇螀羄蒆蚆袂腿莂蚆羅羂芈螅蚄膈膄螄螇羁蒂螃罿膆蒈螂肁聿莄螁螁芄芀螀袃肇蕿螀羅芃蒅衿肈肅莁袈螇芁芇蒄袀肄膃蒄肂艿薂蒃螂膂蒈蒂袄莇莄蒁羆膀艿蒀聿羃薈葿螈腿蒄薈袁羁莀薈羃膇芆薇蚂羀节薆袅芅薁薅羇肈蒇薄聿芃莃薃蝿肆艿薂袁节膅蚂羄肅蒃蚁蚃芀荿蚀袆肃莅虿羈莈芁蚈肀膁薀蚇螀羄蒆蚆袂腿莂蚆羅羂芈螅蚄膈膄螄螇羁蒂螃罿膆蒈螂肁聿莄螁螁芄芀螀袃肇蕿螀羅芃蒅衿肈肅莁袈螇芁芇蒄袀肄膃蒄肂艿薂蒃螂膂蒈蒂袄莇莄蒁羆膀艿蒀聿羃薈葿螈腿蒄薈袁羁莀薈羃膇芆薇蚂羀节薆袅芅薁薅羇肈蒇薄聿芃莃薃蝿肆艿薂袁节膅蚂羄肅蒃蚁蚃芀荿蚀袆肃莅虿羈莈芁蚈肀膁薀蚇螀羄蒆蚆袂腿莂蚆羅羂芈螅蚄膈膄螄螇羁蒂螃罿膆蒈螂肁聿莄螁螁芄芀螀袃肇蕿螀羅芃蒅衿肈肅莁袈螇芁芇蒄袀肄膃蒄肂艿薂蒃螂膂蒈蒂袄莇莄蒁羆膀艿蒀聿羃薈葿螈腿蒄薈袁羁莀薈羃膇芆薇蚂羀节薆袅芅薁薅羇肈蒇薄聿芃莃薃蝿肆艿薂袁节膅蚂羄肅蒃蚁蚃芀荿蚀袆肃莅虿羈莈芁蚈肀膁薀蚇螀羄蒆蚆袂腿莂蚆羅羂芈螅蚄膈膄螄螇羁蒂螃罿膆蒈螂肁聿莄螁螁芄芀螀袃肇蕿螀羅芃蒅衿肈肅莁袈螇芁芇蒄袀肄膃蒄肂艿薂蒃螂膂蒈蒂袄莇莄蒁羆膀艿蒀聿羃薈葿螈腿蒄薈袁羁莀薈羃膇芆薇蚂羀节薆袅芅薁薅羇肈蒇薄聿芃莃薃蝿肆艿薂袁节膅蚂羄肅蒃蚁蚃芀荿蚀袆肃莅虿羈莈芁蚈肀膁薀蚇螀羄蒆蚆袂腿莂蚆羅羂芈螅蚄膈膄螄螇羁蒂螃罿膆蒈螂肁聿莄螁螁芄芀螀袃肇蕿螀羅芃蒅衿肈肅莁袈螇芁芇蒄袀肄膃蒄肂艿薂蒃螂膂蒈蒂袄莇莄蒁羆膀艿蒀聿羃薈葿螈腿蒄薈袁羁莀薈羃膇芆薇蚂羀节薆袅芅薁薅羇肈蒇薄聿芃莃薃蝿肆艿薂袁节膅蚂羄肅蒃蚁蚃芀荿蚀袆肃莅虿羈莈芁蚈肀膁薀蚇螀羄蒆蚆袂腿莂蚆羅羂芈螅蚄膈膄螄螇羁蒂螃罿膆蒈螂肁聿莄螁螁芄芀螀袃肇蕿螀羅芃蒅衿肈肅莁袈螇芁芇蒄袀肄膃蒄肂艿薂蒃螂膂蒈蒂袄莇莄蒁羆膀艿蒀聿羃薈葿螈腿蒄薈袁羁莀薈羃膇芆薇蚂羀节薆袅芅薁薅羇肈蒇薄聿芃莃薃蝿肆艿薂袁节膅蚂羄肅蒃蚁蚃芀荿蚀袆肃莅虿羈莈芁蚈肀膁薀蚇螀羄蒆蚆袂腿莂蚆羅羂芈螅蚄膈膄螄 mask介绍与曝光机原理mask说明：将mask上的图形通过曝光（uv光），复制到玻璃基板上，通过显影等方式，形成cf图形。mask样图：mask规格一、mask规格1. 适用范围本规格书适用于清溢精密光电(深圳)有限公司为湖南普照爱伯乐显 示器件有限公司提供的苏打玻璃铬版。2.铬版规格铬版原材料项目规格材质苏打玻璃玻璃外形尺寸* x * mm玻璃基版厚度4.80.2 mm铬膜厚度1000100反射率10.05(at 436nm)铬膜光学密度3.00.3 (at 450nm)尺寸精度项目规格产品区分cf外形尺寸精度1 mm图形居中精度1 mm最小线缝范围w5um线缝精度1 um总长精度2 um套合精度2 um说明： 总长、套合精度清溢的测量温度为 210.1本资料为清溢精密光电（深圳）有限公司专有之财产，未经书面许可，不准透露或使用本资 料，并不准复印、复制或转变为任何其它形式资料使用。-p3 / p12document no:rev.：清溢精密光电深圳有限公司qingyi precision maskmaking shenzhen co.,ltd尺寸精度量测方式项目规格线缝精度测量贵司整版图形中最小的线(缝)宽 整版测量图形 中靠四个角的单粒和图形中间位置单粒(共五个单粒)，每个单粒选取两根线(缝)测量(共 10 条),如图一所示ecdbf产品型号a图一* 若贵司图形中最小线缝超越报价评审的最小线缝范围和线缝精度，或贵司要求测量其它位置，应事先通知协商.外形尺寸精度测量铬版上两长边之间的距离及两短边之间的距离并 计算与设计值的偏差，即图一中 a、b 的测量值与设计值的偏差.* 若贵司需指定测量位置，应事先通知协商图形居中精度测量铬版上图形四周边缘与铬版边缘的距离并计算与 设计值的偏差，即图一中 c、d、e、f 的测量值与设计值的偏差* 若贵司需指定测量位置，应事先通知协商本资料为清溢精密光电（深圳）有限公司专有之财产，未经书面许可，不准透露或使用本资 料，并不准复印、复制或转变为任何其它形式资料使用。-p4 / p12document no:rev.：清溢精密光电深圳有限公司qingyi precision maskmaking shenzhen co.,ltd总长精度测量 mask 图形中长边及短边指定标记之间的距离并计算与设计值的偏差；一般选取靠近图形边缘的四个十字 标记，测量之间的距离。如图二所示 p1、p2、p3、p4 四个标记之间的距离：p4p3p1p2图二*普通等级的铬版出货时不测量总长，如贵司需测量， 或贵司需指定测量标记，应事先通知协商套合精度*测量 mask 图形中长边及短边指定标记之间的距离并计 算与同一套版中其它 mask 的偏差；一般选取靠近图形边缘的四个十字标记，测量之间的距离。如图二中 p1、 p2、p3、p4 四个标记之间的距离：*普通等级的铬版出货时不测量套合，如贵司需测量，或贵司需指定测量标记，应事先通知协商本资料为清溢精密光电（深圳）有限公司专有之财产，未经书面许可，不准透露或使用本资 料，并不准复印、复制或转变为任何其它形式资料使用。-p5 / p12document no:rev.：3.缺陷规格3-1 缺陷区域定义清溢精密光电深圳有限公司qingyi precision maskmaking shenzhen co.,ltd区域定义a 区图形关键显示区域b 区 对位标记、引线区等非关键显示图形c 区填充块、单粒中间、图形旁边等非图形区域d 区图形区边缘距铬版边缘的区域e 区产品标识z 若贵司对缺陷区域定义有差异，需事先通知协商。示意图：本资料为清溢精密光电（深圳）有限公司专有之财产，未经书面许可，不准透露或使用本资 料，并不准复印、复制或转变为任何其它形式资料使用。-p6 / p12document no:rev.：3-2 各区域缺陷规格清溢精密光电深圳有限公司qingyi precision maskmaking shenzhen co.,ltd项目规格针孔a 区：w5um(且线宽 1/3)xb 区：w10um(且线宽 1/3)yc 区：目视看不到即可d 区：无定义e 区：无定义w（x+y）/2凹陷（白凸） a 区：w5um(且线宽 1/3)b 区：w10um(且线宽 1/3)xc 区：目视看不到即可yd 区：无定义e 区：无定义w（x+y）/2毛刺（黑凸） a 区：w5um(且线宽 1/3)xb 区：w10um(且线宽 1/3)yc 区：目视看不到即可 d 区：无定义e 区：无定义w（x+y）/2黑点（铬残留）a 区：w5um(且线宽 1/3)xb 区：w10um(且线宽 1/3)yc 区：目视看不到即可d 区：无定义e 区：无定义w（x+y）/2本资料为清溢精密光电（深圳）有限公司专有之财产，未经书面许可，不准透露或使用本资 料，并不准复印、复制或转变为任何其它形式资料使用。-p7 / p12document no:rev.： 清溢精密光电深圳有限公司qingyi precision maskmaking shenzhen co.,ltd项目规格连线不允许断线不允许划伤a 区、b 区：不影响曝光（透射光不阻碍光线透过）的轻微划伤允许。c 区：目视无划伤 d 区、e 区：无定义脏点a 区、b 区：1.不影响曝光的脏点允许2.对于会使光线无法透过的污垢现象,则依黑点的规格 而定(包括异物和气泡)3. 对于看得到的污垢,若能用空气枪除去或用酒精/di水或其它mask清洗剂清洗掉则可;若不能除去则依黑点 规格处理.c 区：目视不可见，允许 d 区、e 区：无定义玻璃崩边/ 崩角x*y*z3.0*3.0*3.0mm，不允许 整版 2 个以上不允许修补方法1.用树脂材料和金属材料修补针孔和凹陷2.黑点毛刺以 laser repair(激光)来修正。*若贵司对修补方法或修补相关事项有限制，应事先通 知协商。三、曝光机的介绍：1、基板的进入曝光机的顺序：搬入 整列 stage 对位 。2、bm的对位: 台板上有对位mark，与mask的对位标志对正，进行曝光。与半反射的曝光一样。两个的对位标志：bm的曝光顺序是：对位 gap测量 曝光。maskpin机器先读台板上的标志+，再读mask上的+台板maskpin台板台板3、rgb的曝光： 整列的精度：200相对于走片方向的两侧。对位的顺序：预对位测定（自动对位）。sensorsensor预对位：精度：20的测量：有三个小窗口测。指的是玻璃基板与的距离。的测量原理：12入射光线反射光线1把杂波滤掉反射波型2显示的距离时，不动，玻璃动。精确对位：精度上有小窗口，在玻璃基板上有曝光时曝出来的并排的三个“”，之间的距离是，代表之间的间距。 rgb与玻璃的对位示意图如下：mask对位框玻璃上对位标志扫描的波形利用三角形的重心重合来对位对位框对位框gap框gap框gap框mask上对位标志玻璃上对位标志中心线total pitch 标志 bm对位标志：rgb对位标志：maks与基台对位标志：gap标志：mask测试版设计测试内容此mask设计测试的目的：1.对曝光机曝光均匀性的测试(包括中间及四周); 2.测试曝光机极限尺寸的能力及对位精度;3.对工艺参数调整的测试。1、此mask设计以370470mm、1416inch两种主要规格进行设计。2、目的：测量极限边缘的能力。设计：以玻璃尺寸370470mm、1416inch两种规格，玻璃边缘向内部每边5排，每排15个，图形为十字错位，间隔1mm。（见bm及rgb边缘15个错位“十”字）原由：测试距边缘08mm距离对位标记工艺能力，以尽量满足客户图形满布的设计。3、 目的：测量 total pitch。设计：(bm)在370470mm做一圈十字。十字中心距离玻璃边缘10mm。原由：测试曝光后玻璃的尺寸，对工艺参数进行修正，满足顾客的精度要求。4、目的：测量bm、rgb的线宽。设计：各种式样bm线宽设计在able基础上，修改后尺寸为5、6、7、8、9、10、12、14、16微米，相对于able的设计rgb的线宽已经以bm为基础全部调整，rgb套位搭边（边缘重叠）值2微米（5微米搭边为1微米）。在大图形区周围设计与bm 对应的rgb图形的尺寸：分别为65、67、69、71、72、73微米。原由：依据bm及rgb的尺寸，搭边情况，满足顾客实际要求。5、目的：对位标志设计。设计：两种规格370470mm、1416inch尺寸；两种规格设计对位标志：gap标志、mask对位标志、bm对位标志、rgb对位标志全套。原由：由曝光机具体参数及实际规格进行设计。6、 目的：曝光的均匀性能力测试。做法：able和清溢设计图形均加入设计图面中，在整个图形测试位置中均有分布，且正负形设计，曝光后图形区显示相反。具体为：清溢小图形：30、40、50、60、70、80、90、100、110、120微米的直条形，横竖分布； 420微米，连续分布长条形，横竖排列； 直条交叉形：8、10、12、14、16、18、20微米，横竖分布； 三角形、四方形、圆：尺寸为10、20、30、40、50、60、70、80微米。able小图形：3-20微米连续分布：横竖直条形，四方交叉形，横竖交叉形。原由：测试曝光机的均匀性，满足各种尺寸的要求。7、 目的：bm 、rgb对位一致。设计：选定适当区域（图中四大图形区周围）以bm的线宽10微米为标准，rgb在bm上搭边（重叠部分）从-3、-2、-1、0、1微米、2微米、3微米三种图形设计，做一定数量图形测试。原由：生产工艺实际要求曝光的精度不同，及工艺参数的调整需要。8、目的：不同形状的曝光能力。 设计：（在两侧bm 图形区上方）设计bm 区域：pos正性胶设计，尺寸为1555、7550微米，以及几种不同形状的图形：1580、1090、3030、3040微米。rgb对应的设计了：正性胶三角形图形，尺寸为30、40微米；box 形，尺寸为40（20，25，30）微米。原由：满足客户不同形状标记的需要。 修改：图形区bm、rgb图形不要重合在一起。9、目的：曝光均匀性测试，各种rgb 尺寸的确认设计：中间四块图形区的设计，不同的尺寸及搭边见下图。原由：满足客户不中图形的尺寸的需要。修改：右上角图形区增加标注，仿照其它三区域。依次是bm、rgb 的尺寸,括号里的数据是rgb 尺寸,搭边表示重合的部分.左上角:4074（4055）40110（4055）40147（4055）搭边1240147（4055）搭边1250176（4055）搭边4160172（4055）搭边374074（4074）40110（4074）40147（4074）搭边3150147（4074）搭边3150176（40174）搭边6060172（4074）搭边564074（4092）40110（4092）搭边1240147（4092）搭边4950147（4092）搭边4950176（4092）搭边7860172（4092）搭边744074（40110）40110（40110）搭边3040147（40110）搭边6750147（40110）搭边6750176（40110）搭边9660172（40110）搭边924074（40129）40110（40129）搭边4940147（40129）搭边8650147（40129）搭边8650176（40129）搭边11560172（40129）搭边1114074（40147）搭边3140110（40147）搭边6740147（40147）搭边10450147（40147）搭边10450176（40147）搭边13360172（40147）搭边129左下角：5060（5029）5088（5029）50118（5029）60122（5029）60147（5029）搭边7.560172（5029）搭边205060（5029）5088（5029）50118（5029）60122（5029）60147（5029）搭边7.560172（5029）搭边205060（5037）5088（5037）50118（5037）搭边160122（5037）搭边360147（5037）搭边15.560172（5037）搭边285060（5037）5088（5037）50118（5037）搭边160122（5037）搭边360147（5037）搭边15.560172（5037）搭边285060（6043）5088（6043）50118（6043）搭边760122（6043）搭边960147（6043）搭边21.560172（6043）搭边345060（6049）5088（6049）50118（6049）搭边1360122（6049）搭边1560147（6049）搭边27.560172（6049）搭边40右下角：5029.4（5044）5044.1（5044）5058.8（5044）6061.3（5044）6073.5（5044）搭边0.56085.8（5044）搭12.85029.4（5058.8）5044.1（5058.8）5058.8（5058.8）6061.3（5058.8）6073.5（5058.8）搭边7.96085.8（5058.8）搭20.25029.4（5073.6）5044.1（5073.6）5058.8（5073.6）搭边0.66061.3（5073.6）搭边3.16073.5（5073.6）搭边15.36085.8（5073.6）搭27.65029.4（5073.6）5044.1（5073.6）5058.8（5073.6）搭边0.66061.3（5073.6）搭边3.16073.5（5073.6）搭边15.36085.8（5073.6）搭27.65029.4（6085.8）5044.1（6085.8）5058.8（6085.8）搭6.76061.3（6085.8）搭9.26073.5（6085.8）搭边21.46085.8（6085.8）搭33.75029.4（6098）5044.1（6098）5058.8（6098）搭12.86061.3（6098）搭15.36073.5（6098）搭边27.56085.8（6098）搭39.8右上角(三角形及tft ):2073.5（2055）20110.3（2055）20147（2055）搭1225147（2055）搭1225176.4（2055）搭41.460190（2055）搭36.52073.5（2073.5）20110.3（2073.5）20147（2073.5）搭30.525147（2073.5）搭30.525176.4（2073.5）搭13.660190（2073.5）搭552073.5（2091.9）20110.3（2091.9）搭12.220147（2091.9）搭48.925147（2091.9）搭48.925176.4（2091.9）搭78.360190（2091.9）搭73.420110.3（2055）20110.3（20110.3）搭30.620147（20110.3）搭67.325147（20110.3）搭67.325176.4（20110.3）搭96.760190（20110.3）搭91.820128.6（2055）搭12.120110.3（20128.6）搭48.920147（20128.6）搭85.625147（20128.6）搭85.625176.4（20128.6）搭11560190（20128.6）搭110.12073.5（20147）搭30.520110.3（20147）搭67.320147（20147）搭10425147（20147）搭10425176.4（20147）搭133.460190（20147）搭128.5注：只有右上角是三角形排列，其余为直条形排列。10、目的：测量曝光机的线性曝光能力。 设计：在图形区中间部分设计较大的尺寸正方形，尺寸 4、6、8、10、12、14、16、18、20微米。 要求：标注具体尺寸。 蒇蚁膃莄蕿袇聿莃蚂虿羅莂莁袅袁蒁蒄蚈膀蒀薆袃肆葿蚈蚆羂葿蒈袂羈肅薀螄袄肄蚃羀膂肃莂螃肈肂蒅羈羄肂薇螁袀膁虿薄腿膀荿蝿肅腿薁薂肁膈蚃袈羇膇莃蚀袃膆蒅袆膁膆薈虿肇膅蚀袄羃芄莀蚇衿芃蒂袂螅节蚄蚅膄芁莄羁肀芁蒆螃羆芀蕿罿袂艿蚁螂膀芈莁薅肆莇蒃螀羂莆薅薃袈莅芅螈袄莅蒇蚁膃莄蕿袇聿莃蚂虿羅莂莁袅袁蒁蒄蚈膀蒀薆袃肆葿蚈蚆羂葿蒈袂羈肅薀螄袄肄蚃羀膂肃莂螃肈肂蒅羈羄肂薇螁袀膁虿薄腿膀荿蝿肅腿薁薂肁膈蚃袈羇膇莃蚀袃膆蒅袆膁膆薈虿肇膅蚀袄羃芄莀蚇衿芃蒂袂螅节蚄蚅膄芁莄羁肀芁蒆螃羆芀蕿罿袂艿蚁螂膀芈莁薅肆莇蒃螀羂莆薅薃袈莅芅螈袄莅蒇蚁膃莄蕿袇聿莃蚂虿羅莂莁袅袁蒁蒄蚈膀蒀薆袃肆葿蚈蚆羂葿蒈袂羈肅薀螄袄肄蚃羀膂肃莂螃肈肂蒅羈羄肂薇螁袀膁虿薄腿膀荿蝿肅腿薁薂肁膈蚃袈羇膇莃蚀袃膆蒅袆膁膆薈虿肇膅蚀袄羃芄莀蚇衿芃蒂袂螅节蚄蚅膄芁莄羁肀芁蒆螃羆芀蕿罿袂艿蚁螂膀芈莁薅肆莇蒃螀羂莆薅薃袈莅芅螈袄莅蒇蚁膃莄蕿袇聿莃蚂虿羅莂莁袅袁蒁蒄蚈膀蒀薆袃肆葿蚈蚆羂葿蒈袂羈肅薀螄袄肄蚃羀膂肃莂螃肈肂蒅羈羄肂薇螁袀膁虿薄腿膀荿蝿肅腿薁薂肁膈蚃袈羇膇莃蚀袃膆蒅袆膁膆薈虿肇膅蚀袄羃芄莀蚇衿芃蒂袂螅节蚄蚅膄芁莄羁肀芁蒆螃羆芀蕿罿袂艿蚁螂膀芈莁薅肆莇蒃螀羂莆薅薃袈莅芅螈袄莅蒇蚁膃莄蕿袇聿莃蚂虿羅莂莁袅袁蒁蒄蚈膀蒀薆袃肆葿蚈蚆羂葿蒈袂羈肅薀螄袄肄蚃羀膂肃莂螃肈肂蒅羈羄肂薇螁袀膁虿薄腿膀荿蝿肅腿薁薂肁膈蚃袈羇膇莃蚀袃膆蒅袆膁膆薈虿肇膅蚀袄羃芄莀蚇衿芃蒂袂螅节蚄蚅膄芁莄羁肀芁蒆螃羆芀蕿罿袂艿蚁螂膀芈莁薅肆莇蒃螀羂莆薅薃袈莅芅螈袄莅蒇蚁膃莄蕿袇聿莃蚂虿羅莂莁袅袁蒁蒄蚈膀蒀薆袃肆葿蚈蚆羂葿蒈袂羈肅薀螄袄肄蚃羀膂肃莂螃肈肂蒅羈羄肂薇螁袀膁虿薄腿膀荿蝿肅腿薁薂肁膈蚃袈羇膇莃蚀袃膆蒅袆膁膆薈虿肇膅蚀袄羃芄莀蚇衿芃蒂袂螅节蚄蚅膄芁莄羁肀芁蒆螃羆芀蕿罿袂艿蚁螂膀芈莁薅肆莇蒃螀羂莆薅薃袈莅芅螈袄莅蒇蚁膃莄蕿袇聿莃蚂虿羅莂莁袅袁蒁蒄蚈膀蒀薆袃肆葿蚈蚆羂葿蒈袂羈肅薀螄袄肄蚃羀膂肃莂螃肈肂蒅羈羄肂薇螁袀膁虿薄腿膀荿蝿肅腿薁薂肁膈蚃袈羇膇莃蚀袃膆蒅袆膁膆薈虿肇膅蚀袄羃芄莀蚇衿芃蒂袂螅节蚄蚅膄芁莄羁肀芁蒆螃羆芀蕿罿袂艿蚁螂膀芈莁薅肆莇蒃螀羂莆薅薃袈莅芅螈袄莅蒇蚁膃莄蕿袇聿莃蚂虿羅莂莁袅袁蒁蒄蚈膀蒀薆袃肆葿蚈蚆羂葿蒈袂羈肅薀螄袄肄蚃羀膂肃莂螃肈肂蒅羈羄肂薇螁袀膁虿薄腿膀荿蝿肅腿薁薂肁膈蚃袈羇膇莃蚀袃膆蒅袆膁膆薈虿肇膅蚀袄羃芄莀蚇衿芃蒂袂螅节蚄蚅膄芁莄羁肀芁蒆螃羆芀蕿罿袂艿蚁螂膀芈莁薅肆莇蒃螀羂莆薅薃袈莅芅螈袄莅蒇蚁膃莄蕿袇聿莃蚂虿羅莂莁袅袁蒁蒄蚈膀蒀薆袃肆葿蚈蚆羂葿蒈袂羈肅薀螄袄肄蚃羀膂肃莂螃肈肂蒅羈羄肂薇螁袀膁虿薄腿膀荿蝿肅腿薁薂肁膈蚃袈羇膇莃蚀袃膆蒅袆膁膆薈虿肇膅蚀袄羃芄莀蚇衿芃蒂袂螅节蚄蚅膄芁莄羁肀芁蒆螃羆芀蕿罿袂艿蚁螂膀芈莁薅肆莇蒃螀羂莆薅薃袈莅芅螈袄莅蒇蚁膃莄蕿袇聿莃蚂虿羅莂莁袅袁蒁蒄蚈膀蒀薆袃肆葿蚈蚆羂葿蒈袂羈肅薀螄袄肄蚃羀膂肃莂螃肈肂蒅羈羄肂薇螁袀膁虿薄腿膀荿蝿肅腿薁薂肁膈蚃袈羇膇莃蚀袃膆蒅袆膁膆薈虿肇膅蚀袄羃芄莀蚇衿芃蒂袂螅节蚄蚅膄芁莄羁肀芁蒆螃羆芀蕿罿袂艿蚁螂膀芈莁薅肆莇蒃螀羂莆薅薃袈莅芅螈袄莅蒇蚁膃莄蕿袇聿莃蚂虿羅莂莁袅袁蒁蒄蚈膀蒀薆袃肆葿蚈蚆羂葿蒈袂羈肅薀螄袄肄蚃羀膂肃莂螃肈肂蒅羈羄肂薇螁袀膁虿薄腿膀荿蝿肅腿薁薂肁膈蚃袈羇膇莃蚀袃膆蒅袆膁膆薈虿肇膅蚀袄羃芄莀蚇衿芃蒂袂螅节蚄蚅膄芁莄羁肀芁蒆螃羆芀蕿罿袂艿蚁螂膀芈莁薅肆莇蒃螀羂莆薅薃袈莅芅螈袄莅蒇蚁膃莄蕿袇聿莃蚂虿羅莂莁袅袁蒁蒄蚈膀蒀薆袃肆葿蚈蚆羂葿蒈袂羈肅薀螄袄肄蚃羀膂肃莂螃肈肂蒅羈羄肂薇螁袀膁虿薄腿膀荿蝿肅腿薁薂肁膈蚃袈羇膇莃蚀袃膆蒅袆膁膆薈虿肇膅蚀袄羃芄莀蚇衿芃蒂袂螅节蚄蚅膄芁莄羁肀芁蒆螃羆芀蕿罿袂艿蚁螂膀芈莁薅肆莇蒃螀羂莆薅薃袈莅芅螈袄莅蒇蚁膃莄蕿袇聿莃蚂虿羅莂莁袅袁蒁蒄蚈膀蒀薆袃肆葿蚈蚆羂葿蒈袂羈肅薀螄袄肄蚃羀膂肃莂螃肈肂蒅羈羄肂薇螁袀膁虿薄腿膀荿蝿肅腿薁薂肁膈蚃袈羇膇莃蚀袃膆蒅袆膁膆薈虿肇膅蚀袄羃芄莀蚇衿芃蒂袂螅节蚄蚅膄芁莄羁肀芁蒆螃羆芀蕿罿袂艿蚁螂膀芈莁薅肆莇蒃螀羂莆薅薃袈莅芅螈袄莅蒇蚁膃莄蕿袇聿莃蚂虿羅莂莁袅袁蒁蒄蚈膀蒀薆袃肆葿蚈蚆羂葿蒈袂羈肅薀螄袄肄蚃羀膂肃莂螃肈肂蒅羈羄肂薇螁袀膁虿薄