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. . . . 2 3 4 5 6 7 8 9 2 ? ? ? ? ? - 5 , :1 :1 :2010-05-06 16:24 1 A+ 10 A 19 A2 A+ 11 A 20 A3 A+ 12 A 21 A4 A+ 13 A 22 A5 A+ 14 A 23 A6 A+ 15 A 24 A7 A 16 A 25 A8 A 17 A 26 A9 A 18 A 27 A B+ (41 ) B (41 ) 2010-05-06 16:59 CD1993301PLC234 PLC 2 1 110973S863862MEMS12,PDM2000FCS20001949198619882000973863MEMS1)MEMSMEMS2019925MEMSS863MEMSMEMS1998MEMS2 1 110973863MEMS2)1320005,PDM20003)50701980862FCS200019942001150129202MEMSCIPECAD/CAM/CAPP3 199712125()199712125(): () () : : : : : :
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