真空技术及应用系列讲座第七讲_真空检漏04VIP

真 空 V acuum2V acuum Technology andM aterial 第2期 1998年4月 真 空 技 术 及 应 用 系 列 讲 座 东北大学真空工程博士点,博士导师杨乃恒先生主持 第一讲:真空科学的发展及其应用李云奇 95 (2) 第二讲:真空物理基础张世伟 95 (3) 第三讲:机械真空泵(一) (二) (三) (四) (五) (六)张以忱95(4)、(5)、(6)、96(1)、(2)、(3) 第四讲:蒸汽流真空泵姚民生 96 (4) 第五讲:气体捕集式真空泵徐成海 96 (5) 第六讲:真空测量刘玉岱 96(6)、97(1)、(2)、(3)、(4) 第七讲:真空检漏关奎之 97(5)、(6)、98(1) 第七讲:真空检漏 关奎之 (东北大学) 21 氦质谱检漏仪法(接1998年第1期第50页) 利用氦质谱检漏仪进行检漏的方法有:喷吹法、 氦罩法、 检漏盒法、 吸枪法、 充压法、 背压 法、 累积法、 选择性抽气法、 检漏台法、 逆流检漏法和标准漏孔比较法。 各种方法的设备、 步骤及 漏率见表11。 在检漏过程中,应注意调节仪器工作压力和氦峰,注意经常校准仪器灵敏度,注意降低仪 器本底和本底噪声,以便保证氦质谱检漏仪检漏法的灵敏度。 表11 氦质谱仪检漏法 方法示 意 图 符号 步 骤 漏 率 喷 吹 法 1检漏仪 2辅助阀 3辅助泵 4被检件 5喷枪 6氦气 1预抽 2调仪器 3喷He 4测漏I qL= I-I0 2In qL,m in I0本底 In噪声 qL,m in灵敏度 氦 罩 法 1检漏仪 2辅助阀 3辅助泵 4被检件 5氦罩 6氦气 7密封件 8检漏盒 3充He 4测漏I 5测标漏I0,a 6比较I?I0,a qL= I-I0 I0,a qL, 0 qL, 0标漏漏率 检 漏 盒 法 1检漏仪 2辅助阀 3辅助泵 4被检件 5喷枪 6氦气 7密封件 8检漏盒 1预抽检漏盒 2调仪器 3喷He 4测漏I qL= I-I0 2In qL,m in 64 方法示 意 图 符号 步 骤 漏 率 吸 枪 法 1检漏仪 2吸枪 3被检件 4氦气 1充He 2调仪器 3吸枪搜索 4测漏I qL= I-I0 2In qL,m in qL,m in吸枪法的灵敏度 充 压 法 1检漏仪 2辅助阀 3辅助泵 4被检件 5真空室 6氦气 1预抽5 2调仪器 3充He进4, 压力pH e 4测漏I qL= I-I0 2In qL,m in 1. 01105 pH e pH e充He压力Pa qL,m in灵敏度 背 压 法 1加氦压 2净化 3检漏 1背压He进试件 2净化试件外表面 3检漏 累 积 法 1抽速阀 2质谱室 3被检件 4氦罩 5快速阀 6吸枪 7检漏盒 8检漏仪 a He升压累积法: 关阀1升He压 b氦罩峰值法: t时间后快速 开阀5 c吸枪峰值法: t时间后开吸 枪6 选 择 性 抽 气 法 1检漏仪 2辅助阀 3吸附泵 4被检件 5标准漏孔 6配气系统 1预抽 2调仪器 3开泵3抽气 4用标漏5校灵 敏度 5用He测漏 qL= I-I0 2In qL,m in qL,m in步骤4灵敏度或 qL= I IL, 0qL , 0 qL, 0标漏漏率 检 漏 台 法 1检漏仪 2检漏台 3密封圈 4被检件 5辅助系统 1辅助系统5预抽 2调仪器 3关5开1抽2 4用He测漏 qL= I-I0 2In qL,m in 逆 流 检 漏 法 1逆流检漏 仪 2辅助阀 3辅助泵 4被检件 1预抽 2调仪器 3测漏 qL= I-I0 2In qL,m in qL,m in逆流法的灵敏度 标 漏 比 较 法 1检漏仪 2辅助阀 3辅助泵 4被检件 5标准漏孔 1预抽 2调仪器 3标漏5讯号Io,a 4试件4讯号1 5比较I?Io,a qL= I Io,aqL ,o qL,o标漏漏率 74第2期 关奎之:真空检漏 31 检漏方法的选择及对检漏人员的要求 (1)检漏方法的选择 比较理想的检漏方法应满足下列要求: 合适的检漏灵敏度 在具体的检漏条件下,所选择方法的检漏灵敏度,通常高于最大容许漏率12个数量级。 反应时间和清除时间短 不仅能找出漏孔的位置,而且还能测定漏率 找出漏孔位置的方法有喷吹法和吸枪法。喷吹法适用于可抽空的被检件。高频火花检漏 器法、 真空计法、 固定式卤素仪法和氦质谱仪法归于喷吹法。 吸枪法适用于不允许抽空、 放气量大、 复杂管道等被检件。气泡法、 荧光法,氨检漏法及吸 枪式检漏仪法可归于吸枪法。 测定漏率的方法是测量示漏物质的漏率变化或浓度变化量。 根据条件可采用适当的方法。 品质优良的示漏物质 示漏物质具有在空气中含量少,灵敏度高,不腐蚀、 不污染被检件、 抽气系统及检漏仪表, 无毒、 阻燃和防爆。 稳定性好、 检漏范围宽 结构简单、 操作维修方便,成本低 由于上述要求有些是相互矛盾的,若想采用一种方法都能满足是不合实际的。 所以只要根 据具体情况能够满足其主要要求的检漏方法就是较为适宜的。实践证明,检漏人员的素质、 工 作经验也是选择检漏方法的重要依据之一。 (2)对检漏人员的要求 对检漏人员的要求如下: 具有高度的责任心和认真的工作态度; 具有丰富的检漏实践经验; 具有一定的机械结构、 物理、 化学、 材料及焊接等方面的知识; 了解被检件结构及其运行工艺,熟悉所用检漏方法或仪器的原理及性能; 掌握所用示漏物质的检漏特性。 例如,氦气轻,采用喷吹法检漏时,应遵守从上至下和从近至远的原则(即先从被检件上部 顺序至下部和从靠近检漏仪顺序至远离的部位 ); 采用吸枪法检漏时,应遵守从下至上和从近 至远的原则。但是,卤素气体重,除遵守从近至远的原则外,在喷吹法和吸枪法中,应分别遵守 从下至上和从上至下的原则。 检漏人员满足上述要求,就能解释和解决检漏工作中出现的形形色色的现象,较好地完成 判别漏气、 找出漏孔及测定漏率的检