标准解读

《GB/T 36653-2018 电子级三甲基铝》是中国国家标准之一，针对电子工业中使用的高纯度三甲基铝（TMA）制定了详细的技术要求和测试方法。该标准适用于半导体制造过程中作为化学气相沉积(CVD)或原子层沉积(ALD)的前驱体材料。根据此标准，三甲基铝产品需满足特定纯度要求，并对可能存在的杂质种类及其最大允许含量进行了明确规定。

标准内包含了一系列质量控制指标，如主成分含量、水分、金属离子浓度等关键参数的具体数值限制，确保了产品的稳定性和可靠性。此外，《GB/T 36653-2018》还提供了详细的采样规则及分析检测手段，包括但不限于气相色谱法、电感耦合等离子体质谱法等先进科学技术，以准确测定样品中各组分的含量。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2018-09-17 颁布
  • 2019-01-01 实施
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ICS7110020G 86 . .中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T366532018 电 子 级 三 甲 基 铝 Electronicgradetrimethylaluminium2018-09-17发布 2019-01-01实施 国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发 布 中国国家标准化管理委员会 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 电 子 级 三 甲 基 铝 GB/T366532018 * 中 国 标 准 出 版 社 出 版 发 行北京市朝阳区和平里西街甲 号 2 (100029) 北京市西城区三里河北街 号 16 (100045) 网址 : 服务热线 :400-168-0010 年 月第一版 2018 9 * 书号 :1550661-61410 版权专有 侵权必究 GB/T366532018 前 言 本标准按照 给出的规则起草 GB/T1.12009 。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 提出并归口 (SAC/TC203) 。本标准起草单位 江苏南大光电材料股份有限公司 中国电子技术标准化研究院 : 、 。本标准主要起草人 陈化冰 孙明璐 王香 曹可慰 : 、 、 、 。 GB/T366532018 电 子 级 三 甲 基 铝1 范围 本标准规定了三甲基铝的技术要求 试验方法 检验规则 包装 标志 运输 储存和安全 、 、 、 、 、 、 。 本标准适用于烷基交换法 钠还原法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基铝 该产品主要 、 。 用于生长化合物半导体薄膜材料等 。 分子式 :C3H9Al 相对分子质量 按 年国际相对原子质量计算 :72.09( 2013 )2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 。 , ( ) 。 危险货物包装标志 GB190 工业用化学产品采样安全通则 GB/T3723 液体化工产品采样通则 GB/T6680 电子级水 GB/T11446.1 危险货物运输包装通用技术条件 GB12463 化学品安全标签编写规定 GB15258 常用化学危险品贮存通则 GB15603 洁净厂房设计规范 GB50073 3 技术要求 三甲基铝的技术指标应符合表 要求 1 。 表 1 技术指标 项 目 指 标 三甲基铝 纯度 质量分数 -2 (C3H9Al) ( )/10 99.99995 银 含量 (Ag) /(g/g) 0.2 硼 含量 (B) /(g/g) 0.5 钡 含量 (Ba) /(g/g) 0.1 金属元素 铍 含量 及其他元 (Be) /(g/g) 0.03 钙 含量 素含量 (Ca) /(g/g) 0.03 镉
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