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文档简介

.,1,集成电路的发展历程,半导体集成电路的出现与发展 半导体集成电路的出现和发展经历了以下过程: 19471948年,晶体管的发明 1946年1月,bell实验室正式成立半导体研究小组:w.schokley,j. bardeen、w. h. brattain bardeen提出了表面态理论, schokley给出了实现放大器的基本设想,brattain设计了实验; 1947年12月23日,第一次观测到了具有放大作用的晶体管;,.,2,1947年12月23日 第一个点接触式npn ge晶体管 发明者: w. schokley j. bardeen w. brattain,.,3,晶体管的三位发明人:巴丁、肖克莱、布拉顿,.,4,集成电路的发展历程,半导体集成电路的出现与发展 半导体集成电路的出现和发展经历了以下过程: 1) 19471948年,晶体管的发明 2)1958年,集成电路的发明 1952年5月,英国科学家g. w. a. dummer第一次提出了集成电路的设想。 1958年以德克萨斯仪器公司(ti)的科学家基尔比(clair kilby)为首的研究小组研制出了世界上第一块集成电路,并于1959年公布了该结果。,.,5,集成电路的发明,1958年世界上第一块集成电路:锗衬底上形成台面双极晶体管和电阻,总共12个器件,用超声焊接引线将器件连起来。,获得2000年nobel物理奖,.,6,集成电路的发展历程,半导体集成电路的出现与发展 半导体集成电路的出现和发展经历了以下过程: 1) 19471948年,晶体管的发明 2) 1958年,集成电路的发明 3) 1959年,平面工艺的发明,1959年7月, 美国fairchild 公司的noyce发明第一块单片集成电路,利用二氧化硅膜制成平面晶体管,并用淀积在二氧化硅膜上的、和二氧化硅膜密接在一起的导电膜作为元器件间的电连接(布线)。这是单片集成电路的雏形,是与现在的硅集成电路直接有关的发明。由此,将平面技术、照相腐蚀和布线技术组合起来,获得大量生产集成电路的可能性。,.,集成电路的发展历程,半导体集成电路的出现与发展 半导体集成电路的出现和发展经历了以下过程: 1) 19471948年,晶体管的发明 2) 1958年,集成电路的发明 3) 1959年,平面工艺的发明 4) 1960年,成功制造了第一块mos集成电路。,.,8,集成电路发展的特点,九十年代以来,集成电路工艺发展非常迅速,已从亚微米(0.5到1微米)进入到深亚微米(小于0.5微米),进而进入到超深亚微米(小于0.25微米,目前已经到了0.09微米)。,工艺与半导体光刻技术所能达到的器件线宽水平有关。 2. 在2002年底,在旧金山召开的国际电子器件会议上,东芝公司和索尼公司宣布,他们已开发出了65纳米线宽的集成有dram的cmos型单芯片系统,可用于宽带大容量通信。 3. 2004年3月,德州仪器宣布了65纳米半导体制造工艺技术的详细信息,并且称与90纳米技术相比,采用此技术可将晶体管的体积缩小二分之一,性能提高4成,ti的65纳米工艺技术是针对200毫米与300毫米的生产系统而进行开发的。 4.这些表明集成电路制造技术在进一步向深亚微米乃至纳米方向发展,而且制造工艺新产生的技术之间的换代周期仍然保持为2年。,.,9,后人对摩尔定律加以扩展,即集成电路的发展: 工艺每三年升级一代(代的定义为4倍能力,2年/代至3年/代); 集成度每三年翻二番; 特征线宽约缩小30左右; 逻辑电路(以cpu为代表)的工作频率提高约30,集成电路发展的特点,不断提高产品的性能价格比是微电子技术发展的动力,摩尔定律:,- min. transistor feature size decreases by 0.7x every three years - true for at least 30 years! (intel公司前董事长gordon moore首次于1965提出),.,10,第二章 半导体二极管和三极管,2-1 基础知识. 2-2 pn结. 2-3 半导体二极管. 2-4 二极管的应用 2-5 其他二极管 2-6. 半导体三极管.,.,11,第二章 半导体二极管和三极管 21.基础知识.,一.本征半导体 半导体的导电率为10-9109 s. 制造半导体器最先要用si,ge的单晶体. si,ge的单晶体称为本征半导体.本征半导体中无可自由移动的带电粒子载流子. 室温(t=300k)时, si: ni=pi=1.4*1010/cm3 ge: ni=pi=2.5*1013/cm3 其浓度差异由于禁带宽度造成的,.,12,一.本征半导体,原子结构: ge: 2 8 18 4 *si,ge均为四价元素 *共价键 si: 2 8 4 半导体受光热时会产生本征激发. 本征激发的特征是自由电子和空穴两种载流子总是成对产生的.,+32,+14,.,13,二.杂质半导体,在本征半导体中加入杂质,可改变渠道电能力. 1.p型半导体(空穴半导体): 本征半导体中加入三价元素(硼,铝,铟等),则会产生空穴.(所谓多数载流子) 空穴的移动通过电子的填充来实现. 空穴若被电子补充,则形成不会移动的负离子.,.,14,二.杂质半导体,结构图: 电子移动后 成为负离子 电子走后, 形成空穴, 同时 成为正离子,+4,+4,+4,+4,+3,+3,.,.,.,.,.,.,.,.,.,.,.,.,.,.,.,空穴,.,15,二.杂质半导体,2.n型半导体: 本征+ 五价元素(砷,磷,锑等),电子为多子,空 穴为少子. 电子移动后,剩下不会移动的正离子. : 1) 掺杂后,载流子数目增多. 2) p型半导体: 多子是空穴,少子是电子. 3) n型半导体: 多子是空穴,少子是电子.,小结,.,16,.,17,.,18,第二章 半导体二极管和三极管 22. pn结,一.pn结的形成: p,n接触,多子扩散,产生扩散电流;留下正负离子形成内建电场;内建电场促使少子漂移产生漂移电流. 当扩散电流=漂移电流时, pn结形成,.,19,.,20,二、 结的单向导电特性,1. 结外加正向电压 若将电源的正极接区, 负极接区, 则称此为正向接法或正向偏置。此时外加电压在阻挡层内形成的电场与自建场方向相反, 削弱了自建场, 使阻挡层变窄, 如图1 ()所示。 显然, 扩散作用大于漂移作用, 在电源作用下, 多数载流子向对方区域扩散形成正向电流, 其方向由电源正极通过区、区到达电源负极。 ,.,21,此时, 结处于导通状态, 它所呈现出的电阻为正向电阻, 其阻值很小。 正向电压愈大, 正向电流愈大。其关系是指数关系:,式中, 为流过结的电流;u为结两端电压; , 称为温度电压当量, 其中k为玻耳兹曼常数, 为绝对温度,q为电子的电量,在室温下即时,;为反向饱和电流。电路中的电阻是为了限制正向电流的大小而接入的限流电阻。,.,22,图1 pn结单向导电特性,.,23,2. 结外加反向电压 若将电源的正极接区, 负极接区, 则称此为反向接法或反向偏置。此时外加电压在阻挡层内形成的电场与自建场方向相同, 增强了自建场, 使阻挡层变宽, 如图 1()所示。 此时漂移作用大于扩散作用, 少数载流子在电场作用下作漂移运动, 由于其电流方向与正向电压时相反, 故称为反向电流。 由于反向电流是由少数载流子所形成的, 故反向电流很小, 而且当外加反向电压超过零点几伏时, 少数载流子基本全被电场拉过去形成漂移电流, 此时反向电压再增加, 载流子数也不会增加, 因此反向电流也不会增加, 故称为反向饱和电流, 即 。 ,.,24,此时, 结处于截止状态, 呈现的电阻称为反向电阻, 其阻值很大, 高达几百千欧以上。 综上所述:结加正向电压, 处于导通状态;加反向电压, 处于截止状态, 即结具有单向导电特性。 将上述电流与电压的关系写成如下通式: 此方程称为伏安特性方程, 如图2所示, 该曲线称为伏安特性曲线。,.,25,图 2 pn结伏安特性,.,26,三.pn结的反向击穿,pn结处于反向偏置时, 在一定电压范围内, 流过结的电流是很小的反向饱和电流。但是当反向电压超过某一数值()后, 反向电流急剧增加, 这种现象称为反向击穿, 如图2所示。称为击穿电压。 结的击穿分为雪崩击穿和齐纳击穿。 ,.,27,发生击穿并不一定意味着结被损坏。当pn结反向击穿时, 只要注意控制反向电流的数值(一般通过串接电阻实现), 不使其过大, 以免因过热而烧坏结, 当反向电压(绝对值)降低时, 结的性能就可以恢复正常。稳压二极管正是利用了结的反向击穿特性来实现稳压的, 当流过结的电流变化时, 结电压保持基本不变。 ,.,28,四、 结的电容效应 按电容的定义,即电压变化将引起电荷变化, 从而反映出电容效应。而结两端加上电压, 结内就有电荷的变化, 说明结具有电容效应。结具有两种电容: 势垒电容和扩散电容。,.,29,1.势垒电容ct 势垒电容是由阻挡层内空间电荷引起的。空间电荷区是由不能移动的正负杂质离子所形成的,均具有一定的电荷量, 所以在结储存了一定的电荷, 当外加电压使阻挡层变宽时, 电荷量增加, 如图3所示;反之, 外加电压使阻挡层变窄时, 电荷量减少。即阻挡层中的电荷量随外加电压变化而改变, 形成了电容效应, 称为势垒电容,用表示。理论推导,.,30,图 3 阻挡层内电荷量随外加电压变化,.,31,图 4 势垒电容和外加电压的关系,.,32,2扩散电容cd,图 5 p区中电子浓度的分布曲线 及电荷的积累,.,33,2扩散电容cd 扩散电容是结在正向电压时, 多数载流子在扩散过程中引起电荷积累而产生的。当结加正向电压时,区的电子扩散到区, 同时区的空穴也向区扩散。 显然, 在区交界处(x), 载流子的浓度最高。由于扩散运动, 离交界处愈远, 载流子浓度愈低, 这些扩散的载流子, 在扩散区积累了电荷, 总的电荷量相当于图 5中曲线以下的部分(图5表示了区电子p的分布)。若结正向电压加大, 则多数载流子扩散加强, 电荷积累由曲线变为曲线, 电荷增加量为;反之, 若正向电压减少, 则积累的电荷将减少, 这就是扩散电容效应cd, 扩散电容正比于正向电流, 即di。所以结的结电容包括两部分, 即cj。一般说来, 结正偏时, 扩散电容起主要作用, ;当结反偏时, 势垒电容起主要作用, 即。,.,34,2.3 半导体二极管,1 半导体二极管的结构,2 二极管的伏安特性,3 二极管的参数,.,35,1 半导体二极管的结构,在pn结上加上引线和封装,就成为一个二极管。二极管按结构分有点接触型、面接触型和平面型三大类。,(1) 点接触型二极管,pn结面积小,结电容小,用于检波和变频等高频电路。,.,36,(3) 平面型二极管,往往用于集成电路制造工艺中。pn 结面积可大可小,用于高频整流和开关电路中。,(2) 面接触型二极管,pn结面积大,用于工频大电流整流电路。,(b)面接触型,(4) 二极管的代表符号,.,37,2 二极管的伏安特性,二极管的伏安特性曲线可用下式表示,正向特性,反向特性,反向击穿特性,.,38,3 二极管的参数,end,.,39,二极管的运用基础, 就是二极管的单向导电特性, 因此, 在应用电路中, 关键是判断二极管的导通或截止。二极管导通时一般用电压源.v(硅管, 如是锗管用.v)代替, 或近似用短路线代替。截止时, 一般将二极管断开, 即认为二极管反向电阻为无穷大。 ,2.4 二极管的应用,.,40,二极管v- i 特性的建模,1. 理想模型,3. 折线模型,2. 恒压降模型,.,41,1. 限幅电路 当输入信号电压在一定范围内变化时, 输出电压随输入电压相应变化; 而当输入电压超出该范围时, 输出电压保持不变, 这就是限幅电路。通常将输出电压uo开始不变的电压值称为限幅电平, 当输入电压高于限幅电平时, 输出电压保持不变的限幅称为上限幅;当输入电压低于限幅电平时, 输出电压保持不变的限幅称为下限幅。 ,.,42,图 并联二极管上限幅电路,限幅电路如图所示。改变值就可改变限幅电平。,.,43,v, 限幅电平为v。u时二极管导通, uov; uiv, 二极管截止, uou。波形如图(a)所示。 um, 则限幅电平为。u, 二极管截止, uou;u, 二极管导通, uo。波形图如图 ()所示。 m, 则限幅电平为-e, 波形图如图 ()所示。 ,.,44,图 并联下限幅电路,.,45,图 串联限幅电路,.,46,图 双向限幅电路,.,47,2二极管门电路,图 二极管“与”门电路,.,48,2.5 其它二极管 ,图 发光二极管符号,1. 发光二极管,.,49,2. 光电二极管,图 光电二极管符号,.,50,2-6 半导体三极管,图 6 几种半导体三极管的外形,.,51,2.6.1 三极管的结构及类型,图 7 三极管的结构示意图和符号,.,52,无论是npn型或是pnp型的三极管,它们均包含三个区: 发射区、基区和集电区, 并相应地引出三个电极:发射极(e)、基极(b)和集电极(c)。同时,在三个区的两两交界处, 形成两个pn结, 分别称为发射结和集电结。常用的半导体材料有硅和锗, 因此共有四种三极管类型。它们对应的型号分别为:3a(锗pnp)、3b(锗npn)、3c(硅pnp)、3d(硅npn)四种系列。,.,53,2.6.2 三极管的三种连接方式,图 8 三极管的三种连接方式,.,54,2.6.3 三极管的放大作用,1. 载流子的传输过程 发射。 (2) 扩散和复合。 (3) 收集。,图 9 三极管中载流子的传输过程,.,55,2. 电流分配,图 10 三极管电流分配,.,56,集电极电流由两部分组成:和, 前者是由发射区发射的电子被集电极收集后形成的, 后者是由集电区和基区的少数载流子漂移运动形成的,称为反向饱和电流。 于是有 ,.,57,发射极电流也由两部分组成:和。为发射区发射的电子所形成的电流, 是由基区向发射区扩散的空穴所形成的电流。因为发射区是重掺杂, 所以忽略不计, 即。又分成两部分, 主要部分是, 极少部分是。是电子在基区与空穴复合时所形成的电流, 基区空穴是由电源提供的,故它是基极电流的一部分。 ,基极电流是与之差:,.,58,发射区注入的电子绝大多数能够到达集电极, 形成集电极电流, 即要求。 通常用共基极直流电流放大系数衡量上述关系, 用来表示, 其定义为,一般三极管的值为0.970.99。,.,59,通常cbo, 可将忽略, 由上式可得出,三极管的三个极的电流满足节点电流定律, 即,得,.,60,经过整理后得,令,称为共发射极直流电流放大系数。当icicbo时, 又可写成,.,61,则,其中iceo称为穿透电流, 即,.,62,表1 三极管电流关系的一组典型数据,.,63,相应地, 将集电极电流与发射极电流的变化量之比, 定义为共基极交流电流放大系数, 即,故,.,64,显然与, 与其意义是不同的, 但是在多数情况 下, 。 例如, 从表 - 知, 在ma附近, 设由ma变为ma, 可求得,.,65,2.6.4 三极管的特性曲线,图 9 三极管共发射极特性曲线测试电路,.,66,1.输入特性,当不变时, 输入回路中的电流与电压之间的关系曲线称为输入特性, 即,图 10 三极管的输入特性,.,67,2.输出特性 当不变时, 输出回路中的电流与电压之间的关系曲线称为输出特性, 即,图 11 三极管的输出特性,.,68,(1) 截止区。 一般将的区域称为截止区, 在图中为的一条曲线的以下部分。此时也近似为零。由于各极电流都基本上等于零, 因而此时三极管没有放大作用。 其实时, 并不等于零, 而是等于穿透电流iceo。 一般硅三极管的穿透电流小于a, 在特性曲线上无法表示出来。锗三极管的穿透电流约几十至几百微安。 当发射结反向偏置时, 发射区不再向基区注入电子, 则三极管处于截止状态。所以, 在截止区, 三极管的两个结均处于反向偏置状态。对三极管, , bc。,.,69,(2) 放大区。 此时发射结正向运用, 集电结反向运用。 在曲线上是比较平坦的部分, 表示当一定时, 的值基本上不随ce而变化。在这个区域内,当基极电流发生微小的变化量时, 相应的集电极电流将产生较大的变化量, 此时二者的关系为 该式体现了三极管的电流放大作用。 对于三极管, 工作在放大区时.v, 而。 ,.,70,(3) 饱和区。 曲线靠近纵轴附近, 各条输出特性曲线的上升部分属于饱和区。 在这个区域, 不同值的各条特性曲线几乎重叠在一起, 即当较小时, 管子的集电极电流基本上不随基极电流而变化, 这种现象称为饱和。此时三极管失去了放大作用, 或关系不成立。 一般认为cene, 即cb时, 三极管处于临界饱和状态, 当cebe时称为过饱和。三极管饱和时的管压降用ces表示。在深度饱和时, 小功率管管压降通常小于.v。 三极管工作在饱

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