标准解读
《GB/T 37007-2018 电子级三甲基镓》是中国国家标准之一,旨在为半导体工业中使用的高纯度三甲基镓提供质量控制和技术要求。该标准详细规定了电子级三甲基镓的技术指标、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和贮存等方面的要求。
在技术指标方面,标准明确了产品应达到的纯度级别和其他关键物理化学性质的具体数值范围或限值,包括但不限于金属杂质含量、非金属杂质含量等,以确保其适用于高质量半导体材料的制造过程。此外,还对不同级别的三甲基镓(如6N、7N等级别)进行了区分,并给出了各自对应的规格参数。
对于试验方法,本标准列举了一系列科学准确的方法来检测三甲基镓的各项性能指标,比如使用电感耦合等离子体质谱法测定金属元素含量、气相色谱法分析有机物组成等。这些方法的选择基于它们能够有效且可靠地反映样品真实情况的原则。
关于检验规则,《GB/T 37007-2018》定义了批次的概念,并指出了如何从一个生产批中抽取代表性样本进行测试。同时,也规定了当检验结果不符合规定时应采取的措施,如重新取样复检或者直接判定不合格等。
最后,在包装、标志、运输及贮存环节,《GB/T 37008-2018》提供了具体指导,强调了安全性和环境保护的重要性。例如,要求使用适合长途运输且能防止泄漏的专业容器;所有包装上都必须清晰标注产品名称、制造商信息、危险警告标识等内容;运输过程中要避免剧烈震动和高温环境;储存时则需置于干燥通风处远离火源。通过遵循这些建议,可以最大限度地保证电子级三甲基镓在整个供应链中的品质稳定与安全。
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- 现行
- 正在执行有效
- 2018-12-28 颁布
- 2019-04-01 实施
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