I设备PM相关介绍.ppt_第1页
I设备PM相关介绍.ppt_第2页
I设备PM相关介绍.ppt_第3页
I设备PM相关介绍.ppt_第4页
I设备PM相关介绍.ppt_第5页
已阅读5页，还剩5页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

,2012年1月4日,PI设备PM相关介绍,一、镜头的ZOOM马达注油,二、换灯,三、设备的开关机,目录,四、设备整体清洁,一、给镜头上的ZOOM马达导轨注油,1、先将Stage移到左边，露出Stage下方的导轨和线性马达。,7个扫描镜头,线性马达（具有磁性），其对面是光栅,防止stage异常滑出导轨装置,2、拆下盖子。,3、用油抢将油注入导轨上。,注油位置,4、左右旋转几下，使润滑油均匀分布到导轨上。,5、通过调节小轮底座与ZOOM马达之间的距离，可调节皮带的松紧。 一般情况下，每次给ZOOM马达注油时都需检查皮带的松紧，皮带不可过松，也不能过紧，要保持适当的张紧度。,左右旋转几下,1,2,1,6、合上盖子，完成注油。,几点注意事项： 1、stage上的位置sensor，镜头上的sensor等各种sensor最好都别触碰，以免使sensor失灵； 2、stage上的线性马达具有强磁性，各种小螺丝要小心存放，避免被线性马达吸入其中而使线性马达损坏（如果有小的金属被吸入，一定要想办法取出来）； 3、人在设备内部时，最好将设备显示器关闭，防止他人操作，而发生人身伤害。,二、换灯,1、先将如左图上的POWER开关关闭，再将如右图的POWER开关关闭。 2、等2分钟左右，待内部风扇停止，拆下右图中两个光源发出装置上部的盖子。 3、等30分钟待灯泡冷却下来后，进行灯泡更换。,注意事项： 1、刚开始灯泡温度较高，注意有烫伤危险； 2、换完灯泡后要将灯泡的Life清零（关闭主控制器的Power,再按白色的MODE按键切换到LAMP LIFE TIME,最后同时按下UP与DOWN即可清零）； 3、换完后要将镜头处射下的光调为白色（通过多次开关主控制器的Power ），否则设备不能正常测试。,先关闭,后关闭,灯泡在盖子下面,三、设备的开关机,有时需对设备断电停机，要按一定的顺序关闭电源： 1、先关闭设备的电脑主机； 2、再关闭设备各个控制模块的电源； 3、最后关闭设备的总电源。 开机过程与上述顺序相反。,控制模块开关,设备总开关,四、设备整体清洁,1、设备的Stage上面一般不用无尘布清洁，容易将pin碰偏；用气枪由中间向边缘吹即可。,2、 Stage下面的导轨基座可用无尘布沾酒精擦拭，而基座上的导轨以及各种导轨要用干的无尘布擦拭。,3、设备PM时，能擦得到的地方尽量都擦拭一下，以减少设备内部PT。,注意事项：,1、在擦拭时要注意设备内部的各个sensor，
人人文库> 全部分类> 教育资料 > 课件下载

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论