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文档简介
MKS Confidential 1,现代电容式薄膜绝对压力传感器原理,压力测量 电容式薄膜压力传感器,在超高真空下的参考面,通过真空泵维持在高真空参考压力下,MKS Confidential 2,一个完整的传感器 压力传感器 + 信号控制电路,压力测量 电容式薄膜压力传感器(Manometer),电子部件,满度调节,线形调节,零点调节,振荡器,参考,缓存 放大,电桥,输出,MKS Confidential 3,压力测量 电容式薄膜压力传感器,现代电容式薄膜差压式压力传感器原理,至电子部件,隔膜,电子组件,测量面,参考面,MKS Confidential 4,温度控制的薄膜压力传感器 范围及输出,压力测量 电容式薄膜压力传感器,零点压力,读数范围,可控范围,压力分辨率,举例：1Torr 满量程压力传感器,MKS Confidential 5,压力测量 电容式薄膜压力传感器,温度控制的薄膜压力传感器系列,MKS Confidential 6,零点、满量程及线性,压力测量 电容式薄膜压力传感器,显示压力,输出,零点,零点 失调,满量程 失调,线性 失调,调整的比例,真实压力,满量程,MKS Confidential 7,误差,满量程,显示压力,读数值的%误差带,满量程的%误差带,满量程,真实压力,压力测量 电容式薄膜压力传感器,解决方法 降低温度依赖,非线性 滞后 非重复性 满量程温度系数,MKS Confidential 8,零点调整,压力测量 电容式薄膜压力传感器,输出信号,用螺丝刀进行零点调整,或在显示/控制仪上实施零点修正,真空条件下,MKS Confidential 9,600系列Baratron 电容式薄膜压力传感器 满量程范围: 20mT 25kT 精度: 读数值的 0.12% 分辨率: 满量程的 0.001% 温度控制: 环境温度, 45or 100 温度系数 零点: 0.002% 满量程./C 增益: 0.02% 读数值 /C 两个继电器控制点可选 电源电压: 15VDC 输出信号: 0 10V,MKS电容式薄膜压力传感器系列,MKS Confidential 10,631B 高温 Baratron,700 系列 Baratron 电容式薄膜压力传感器 中等性能 价格便宜 紧凑型尺寸 满量程范围: 1T 1000T 精度: 读数值的 0.5% 温度控制: 环境温度, 45or 100 电源电压: 15VDC 或 +24VDC 输出信号: 0 10V 或 05V,890/892 压力传感器 满量程范围: 20 3000PSI 精度: 读数值的 1% 电源电压: +13VDC +32VDC 输出信号: 0 10V 0 5V 4 20mA,MKS电容式薄膜压力传感器系列,基于以太网通讯的e-Baratron,MKS Confiden
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