设备部日常点检表.xls

记录编号：I/JADH-CX-019-R08 版本号：A/0 机号：DS 年月无异常异常X未使用 / 123456789 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 气压12 电阻13 点 检 人 设备部确认: 点检部位 点 检 结 果 进水压力是否正常（50-65psi) 进回水压差是否正常（37psi）冷却水 水流量 GT 铸 锭 炉 日 常 点 检 表 晶海洋半导体材料(东海)有限公司 F6水流量（24) F7水流量（17.5) F8水流量（4) 压缩空气的压力（50psi） 加热器于炉壁的电阻（2K ） 实 施 日点检内容 进水温度是否正常（241） F1水流量（7) F2水流量（7) F3水流量（7) F4水流量（7) F5水流量（7) 记录编号：I/JADH-CX-019-R08 版本号：A/0 机号：DS 年月无异常异常X未使用 / 123456789 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 气压15 电阻16 点 检 人 设备部确认: F6水流量（8) F7水流量（8) F11水流量（25) JYT 铸 锭 炉 日 常 点 检 表 点检部位点检内容 点 检 结 果 实 施 日 压缩空气的压力（50psi） 加热器于炉壁的电阻（2K ） 晶海洋半导体材料(东海)有限公司 冷却水 进水压力是否正常（50-65psi) 进回水压差是否正常（37psi） 进水温度是否正常（241） 水流量 F1水流量（3) F2水流量（8) F3水流量（8) F4水流量（8) F5水流量（8) F12水流量（25) F13水流量（25) F14水流量（25) 记录编号：I/JADH-CX-019-R08 版本号:A/0 机 号：KF 年月无异常异常 X未使用 / 1 2 3 4 5 6 7 8 9 # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # 1 进水压力、 张力是否正常 2 砂浆密度是否正常 3 各急停按钮是否正常 4 各门锁、门是否正常 5 砂浆液位是否正常 6 切割室沉积砂浆是否清理 7 过滤网、砂浆帘是否清洗 8 各管道、空调是否有异常 9 切割室沉积砂浆是否清理 10 进气压力是否正常、是否有漏气 11 各指示灯、工艺参数是否正常 12 设备运行是否有异音、异味 13 工装夹具是否有松动、磨损 14 上料工作台是否正常（日进） 15 机台是否清洗 点 检 人 设 备 部 确 认: 晶海洋半导体材料(东海)有限公司 开 方 机 日 常 点 检 表 点 检 部 位点 检 内 容 点 检 结 果 实 施 日 开机准备 机身 记录编号：I/JADH-CX-019-R08 版本号:A/0 机 号:JC 年月 无异常异常 X未使用 / 1 2 3 4 5 6 7 8 9 # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # 1 水阀、气阀是否打开 2 配电柜是否关好 3 机台运行参数是否正常 4 电磁阀、硅锭夹是否正常 5 机器是否清洁，有无螺丝松动现象 6 锯条张力是否变化、是否要更换 7 硅锭切割表面是否光滑 水管道 8 有无漏水情况发生 9 设备运转是否正常,有无异味 10 机台移动时是否正常 11 周围是否经常保持清洁 12 工作台是否摆放整齐 13 硅锭摆放是否区分 点 检 人 设 备 部 确 认: 锯条 机身 晶海洋半导体材料(东海)有限公司 工作台 开机前准备 点 检 内 容 带 锯 机 日 常 点 检 表 点 检 部 位 点 检 结 果 实 施 日 记录编号：I/JADH-CX-019-R08 版本号:A/0 机 号:DJ 年月无异常异常 X未使用 / 1 2 3 4 5 6 7 8 9 # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # 1 水阀是否打开 2 电源开关是否正常,有无异味 3 工作台移动是否异常 4 调速器位置是否正常 5 砂轮是否损坏 电控柜 6 电压指示灯是否正常,有无异味 水管道 7 有无漏水情况发生 8 电源指示灯是否正常 9 设备运行是否有异音、异味 10 工装夹具是否有松动、磨损 11 机身是否干净整洁 环境 12 周围是否经常保持清洁 其他 13 设备运行是否有异音、异味 点 检 人 设 备 部 确 认: 机身 实 施 日 晶海洋半导体材料(东海)有限公司 开机准备 倒 角 机 日 常 点 检 表 点 检 部 位点 检 内 容 点 检 结 果 记录编号：I/JADH-CX-019-R08 版本号:A/0 机 号:MC 年月无异常异常 X未使用 / 1 2 3 4 5 6 7 8 9 # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # 上料台 1传送带是否正常,有无异常声音 2砂轮是否有损坏 3运行时是否有异响 4气压、水压是否正常 5 各管路是否有漏气、漏水现象 6触摸屏显示是否正常,有无异味 7空调是否正常 8配电柜是否关闭 9 各原点位置是否正常 10 电源指示灯是否正常 11 工艺参数显示是否正常 12 工装夹具是否有松动、磨损 环境 13 周围是否经常保持清洁 点 检 人 设 备 部 确 认: 砂轮 气压 晶海洋半导体材料(东海)有限公司 电控柜 机身 点 检 部 位点 检 内 容 点 检 结 果 实 施 日 研 磨 机 日 常 点 检 表 记录编号：I/JADH-CX-019-R08 版本号:A/0 机 号: 年月无异常异常 X未使用 / 1 2 3 4 5 6 7 8 9 # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # # 1 研磨刷是否脱落 2 切入量是否为规定值 3 涂层是否脱落 4 减压阀设定压力（0.4MPa) 5 压力开关设定压力（0.3MPa) 6 有无异常发热 7 有无异响 8 水压是否正常 9 管路是否有漏水现象 10 电源指示灯是否正常 11 工艺参数显示是否正常 12 工装夹具是否有松动、磨损 环境 13 周围是否经常保持清洁 点 检 人 设 备 部 确 认: 毛 刷 机 日 常 点 检 表 点 检 部 位点 检 内 容 点 检 结 果 实 施 日 晶海洋半导体材料(东海)有限公司 轴头部 空气管 马达 水管道 机身 记录编号：I/JADH-CX-019-R08 版本号:A/0 机 号:MC 年月无异常异常 X未使用 / 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 上料台 1传送带是否正常,有无异常声音 2砂轮是否有损坏 3运行时是否有异响 4气压、水压是否正常 5 各管路是否有漏气、漏水现象 6触摸屏显示是否正常,有无异味 7空调是否正常 8配电柜是否关闭 9 各原点位置是否正常 10 电源指示灯是否正常 11 工艺参数显示是否正常 12 工装夹具是否有松动、磨损 环境 13 周围是否经常保持清洁 点 检 者 设 备 部 确 认: 点 检 部 位点 检 内 容 点 检 结 果 实 施 日 晶海洋半导体材料(东海)有限公司 砂轮 气压 电控柜 机身 自动倒角机日常点检表 记录编号：I/JADH-CX-019-R08 版本号:A/0 设备编号：MB年月无异常异常X未使用 / 12345678910 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 切割室 15 16 17 18 19 砂浆管连接处有无漏砂浆现象 照明 20 设备部确认： 压缩空气 进气压力是否为4-6bar 机器是否有漏气现象 线 切 机 日 常 点 检 表 点检部位点检内容 点 检 结 果 实 施 日 冷却系统 进水压力是否在3.5-4.5bar 回水压力是否在1.5-2.5bar 进水温度是否在12-17 水管是否有漏水现象 切割室内有无异响 各电机温度是否在47-53 各轴承温度是否在20-26 控制柜温度是否在19-30 砂浆温度是否符合设定值 控制系统 操作屏显示是否正常 操作屏上是否有非常规报警 状态指示灯是否正常 控制柜内有无异味 收放线室 收放线排线跟随度是否正常 张力臂摆动是否正常 砂浆系统 砂浆搅拌泵和供应泵有无异响 各处照明灯具是否正常 点 检 人 晶海洋半导体材料（东海）有限公司 记录编号：I/JADH-CX-019-R08 版本号:A/0 机 号：FX年月无异常异常X未使用 / 123456789 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 机械臂1 2 3 4 5 6 7 8 9 电控柜10 11 12 13 设备部确认： 环境 机台内外是否有碎硅片 检测系统观察门是否关闭 传送机构 传送带是否完好，有无破损 系统 厚度检测数据是否正常 风扇是否正常、有无异味 分 选 机 日 常 点 检 表 点检部位点检内容 点 检 结 果 实 施 日 机械臂各项动作是否正常 传送带硅片位置是否有偏移现象 传送过程是否有异响 卡片情况是否严重 马达是否有异常振动和异味 各检测模组图象是否正常 检测系统下部相机是否有异物 周围是否保持清洁 点 检 人 晶海洋半导体材料（东海）有限公司 记录编号：I/JADH-CX-019-R08 版本号:A/0 机 号：SC年月无异常异常X未使用 / 123456789 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 上料台1 2 3 4 5 6 7 温度8 排风系统9 10 11 12 13 烘干14 下料台15 提拉电机16 环境17 清 洗 机 日 常 点 检 表 清洗槽 超声波是否工作正常电流是否正常 各槽水位是否正常，有无漏水现象 抛动电机是否有异常声音 各槽温度是否正常 排风是否正常，机器内有无水汽 点检部位点检内容 点 检 结 果 实 施 日 传送带是否正常，有无异常声音 机械臂 机械臂各项动作是否正常 机械臂走动时有无异常 导轨是否有药液等异物 烘干是否正常有无水迹 传送带是否正常，有无异常声音 提拉动作是否正常 周围是否保持清洁 点 检 人 管道 有无漏气情况 补水和排水是否通畅 电控柜 电压指示灯是否正常,有无异味 排风扇是否正常工作 设备部确认: 晶海洋半导体材料（东海）有限公司 记录编号：I/JADH-CX-019-R08 版本号:A/0 机 号：HP年月 无异常异常X未使用 / 123456789 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 电控柜12 环境13 设备部确认： 包 装 机 日 常 点 检 表 点检部位点检内容 点 检 结 果 实 施 日 烘箱 链条速度是否过快或过慢 收缩炉温度是否正常 指示灯是否正常，柜内有无异味 周围是否保持清洁 点 检 人 封口刀 封口刀机械臂各项动作是否正常 封口刀温度是否正常 封口刀切膜是否正常 传送台 传送带是否完好，有无破损 传动时有无阻滞现象 薄膜重叠部位是否有破裂现象 传送带是否有跑偏现象 传送带是否有异常振动和噪声 塑料薄膜是否正确安装 晶海洋半导体材料（东海）有限公司 记录编号：I/JADH-CX-019-R08 版本号:A/0 机 号：KP年月无异常异常X未使用 / 123456789 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 1 2 3 4 5 6水泵出口压力是否正常（1Kg） 7 8 9 10 11 柜内有无异味 12 13 14 槽体15 环境16 脱 胶 机 日 常 点 检 表 点检部位点检内容 点 检 结 果 实 施 日 电源指示灯是否正常 排风扇是否正常工作 是否有异常振动和噪声 电控柜 电机、水泵 机械臂 机械臂各项动作是否正常 机械臂动作时有无异响 气管是否有漏气情况 水泵是否有滴漏水现象 喷淋喷嘴出水是否有堵塞 水泵是否有异常振动和噪声 补水和排水是否通畅 阀门、管路有无漏水情况 管路与槽体 是否有奇异气味 各槽盖开合动作是否顺畅正常 周围是否保持清洁 点 检 人 设备部确认： 晶海洋半导体材料（东海）有限公司 记录编号：I/JADH-CX-019-R08 版本号:A/0 机 号：CP年月无异常异常X未使用 / 12345678910 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 环境13 设备部确认： 升降臂 滑台水槽 水管道 电控柜 插 片 机 日 常 点 检 表 点检部位点检内容 点 检 结 果 实 施 日 补水和排水是否通畅 开关按钮是否有损坏 蜂鸣器是否正常工作 电源指示灯是否正常，柜内有无异味 周围是否保持清洁 升降臂走动时有无异常 升降臂动作是否到位 滑台出水是否正常，有无堵塞 插片是否顺畅正常 水槽水位是否正常 出水量是否明显减少 过滤袋是否干净 有无漏水情况 点 检 人 晶海洋半导体材料（东海）有限公司 记录编号：I/JADH-CX-019-R08 版本号:A/0 机 号：CP年月无异常异常X未使用 / 12345678910 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 气路、砂路1 2 3 5 6 7 8 9 10 11 12 设备部确认： 晶海洋半导体材料（东海）有限公司 整 锭 喷 砂 机 日 常 点 检 表 点检部位点检内容 点 检 结 果 实 施 日 检查管路有无破损或渗漏现象 点 检 人 整机 检查各密封部位，特别是舱门密封是否 完好 检查整机是否经常保持清洁 电控柜 检查触摸屏显示是否正常 电源指示灯是否正常，柜内有无异味 喷枪 检查喷枪压力是否正常 检查喷枪胶管接头是否损坏 检查喷枪胶管是否损坏、脱落 喷枪摆臂摆动是否有异响，轴承是否缺 油 进料台 检查转盘旋转是否正常，平稳 检查限位开关是否工作正常 记录编号：I/JADH-CX-019-R08 版本号:A/0 机 号：SC年月无异常异常X未使用 / 12345678910 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 下料台15 环境16 设备部确认: 晶海洋半导体材料（东海）有限公司 传送带是否正常，有无异常声音 周围是否保持清洁 点 检 人 电控柜 电源指示灯是否正常,柜内有无异味 排风扇是否正常工作,端子排有无异常 酸路系统 检查一槽酸位传感器是否显示正常 检查酸路管道是否泄露 清洗槽 检查清洗篮是否完好 六槽水温是否正常，超声波工作是否正 常 各槽槽盖打开关闭是否正常 各槽水位是否正常，有无漏水现象 水路系统 有无漏水情况 补水和排水是否通畅 上料台 传送带是否正常，有无异常声音 上料台是否有碎硅片，是否保持清洁 机械臂 机械臂各项动作是否正常 机械臂走动时有无异常，动作时是否有 异响 自 动 硅 料 酸 洗 机 日 常 点 检 表 点检部位点检内容 点 检 结 果 实 施 日 记录编号：I/JADH-CX-019-R08 版本号:A/0 机 号：CP年月无异常异常X未使用 / 1234