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23 线纹尺的检定,本节主要内容,一、线纹尺概述: 1、特点;2、主要用途;3、种类 二线纹尺的检定 需定期检定,方法有两种。 1、相对测量法: 常用的仪器;测量原理;适用范围;测量方式 2、绝对测量法: 光电光波比长仪的工作原理、检定精度。,任务:线纹尺的检定,测量对象和被测量 问题1:线纹尺是什么? (外形、特点、分类、用途) 问题2:测线纹尺的什么量?,测量单位和标准量 长度单位-米 高等级线纹尺 光波波长,测量方法(依规程) 相对测量 原理: (二等以下) 仪器:光学式比长仪 光电式比长仪 绝对测量 原理 光电光波比长仪 接触形式、定位、环境条件,测量不确定度 1等:=(0.1+0.4L)um(金属) 2等:=(0.2+0.8L)um (金属) 3等:=(5+10L)um(金属) 标准钢卷尺 : = (40+10L) um,一、概述,线纹尺是一种具有等分刻度的多值量具,它是以任意两 条刻线间的垂直距离确定其长度的一种高精度基准器和标准 器。通过它可以把精密仪器及各种精密零件的尺寸与“米”定 义基准器所复现的长度联系起来,从而达到量值统一的目的。 【主要用途】 量传与精密测长标准。 【种 类】 可从不同角度分类 按计量学功能及材料分有: 基准线纹尺(工作基准尺); 标准线纹尺 ; 金属线纹尺; 玻璃线纹尺; 标准钢卷尺。,二、线纹尺的检定(非接触、大尺寸),1、相对测量法 原理:用精度等级比被检线纹尺高一等的标准线纹尺与被检线纹尺的同名刻线间距相比较,借助于光学或光电显微镜读出两支线纹尺刻线间距的偏差值。 适用范围:主要用于二等以下线纹尺的检定。 常用仪器:有光学式比长仪和光电式比长仪。,问:用线纹比长仪进行相对测量时测量的方式有哪些?,并联纵动式 (表2-3) 并联横动式 串联纵动式,问:如何消除比长仪的系统误差?,2、绝对测量法 用绝对测量法检定线纹尺是在光电光波比长仪上进行的。该方法适用于高精度标准线纹尺的检定。 光电光波比长仪的工作原理见图2-6。,问:元件10,13的作用是什么?,问:光电光波比长仪如何鉴相?,相移板和三面直角棱镜的工作原理见图2-7和图2-8 。,由于移相板的作用可以获得1、3象限同相,2、4象限同相的两部分光,而且它们的相位差90 。,双管差动式光电显微镜 12 (图2-9)能对运动状态的刻线作精确的瞄准,精确可达0.010.02m。 当被检线纹尺随可动角锥棱镜7移动了一个被测距离(间隔)L时,光程差的改变为 2L(k)0 / n 式中: k 干涉条纹变化的整数级和小数级 0 激光在真空的波长,问:双管差动式光电显微镜如何实现高精度瞄准?,线纹尺干涉比长仪结构图,思考题: 、为什么在测长机上用相对法能检等量块,用绝对测量法只能检等量块? 、 1m长的线纹尺测量其示值误差时,应如何选择支撑点? 、m对棒允许
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