标准解读

《GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件》这一标准文件规定了离子束蚀刻机应满足的基本技术要求、测试方法以及检验规则，旨在确保设备的性能稳定性和加工质量的一致性。以下是该标准主要内容的概述：

  1. 范围：明确了本标准适用的离子束蚀刻机类型，通常用于半导体、微电子、光学元件等领域中的材料精密加工，通过离子束轰击实现材料表面的精确蚀刻。

  2. 引用标准：列出了实施本标准时需要参考的其他相关国家标准或行业规范，这些标准涉及电气安全、机械安全、环境条件等方面的要求。

  3. 术语和定义：对离子束蚀刻机相关的专业术语进行了明确界定，便于读者理解和执行标准内容。

  4. 分类与型号：根据离子束能量、加工面积、设备结构等特点，对离子束蚀刻机进行分类，并规定了型号命名规则，以便用户根据需求选择合适的机型。

  5. 技术要求：

    • 性能指标：包括离子束的能量范围、束流稳定性、加工精度、均匀性等关键参数的具体要求。
    • 安全性：确保设备在操作、维护过程中的电气安全、机械安全及防护措施达到国家相关安全标准。
    • 环境适应性：设备需能在规定的温度、湿度、洁净度等环境下正常工作，且对周围环境的影响控制在允许范围内。
    • 可靠性：规定了设备连续工作时间、故障率等指标，确保长期稳定运行。

  6. 试验方法：详细说明了如何对离子束蚀刻机的各项技术指标进行测试和验证，包括测试环境、测试设备、测试步骤和判定准则。

  7. 检验规则：包括出厂检验、型式检验的项目、抽样方案及合格判定标准，确保每台出厂设备均符合技术要求。

  8. 标志、包装、运输和贮存：对设备的标识信息、包装方式、运输条件及贮存环境提出了具体要求，以保护设备在流通和存放期间不受损害。


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  • 被代替
  • 已被新标准代替，建议下载现行标准GB/T 15861-2012
  • 1995-12-22 颁布
  • 1996-08-01 实施
©正版授权
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