ELA基础介绍.ppt_第1页
ELA基础介绍.ppt_第2页
ELA基础介绍.ppt_第3页
ELA基础介绍.ppt_第4页
ELA基础介绍.ppt_第5页
已阅读5页，还剩37页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

ELA基础知识介绍,Array-MFG 2015/09/10,Locfe南城,Outline,1. ELA与LTPS制程,2. 准分子激光退火系统,3. ELA工艺技术,4. ELA工艺测试,ELA简介,准分子就是一种处于激发态的复合粒子，在标准状态下，即在基态时，它处于分离状态，而在激发态处于分子状态。 常见的准分子有：XeF*、KrF*、ArF*、XeCl*、XeBr*,ELA简介,为什么选用准分子激光？,准分子激光对应的紫外波段，a-Si薄膜对紫外光有大的吸收系数 紫外光的注入深度较小，可以减小激光对玻璃基板的作用,ELA与LTPS制程,ELA与LTPS制程,ELA与LTPS制程,2. 准分子激光退火系统,(2) 准分子激光原理、结构及参数,(1) 准分子激光退火系统的结构,(3),光学系统构成简介,(4)退火腔结构简介,ELA系统基本组成,准分子激光退火系统,TCZ & JSW ELA System overview,准分子激光退火系统-ELA System overview,准分子激光原理、结构及参数-激光器原理,准分子激光原理、结构及参数-激光器原理,准分子激光原理、结构及参数-Laser tube design,准分子激光原理、结构及参数-Laser tube design,准分子激光原理、结构及参数,准分子激光原理、结构及参数-Laser architecture,准分子激光原理、结构及参数-Gas lifetime,准分子激光原理、结构及参数-参数,准分子激光原理、结构及参数-参数,Peak to Peak Energy Fluctuation,准分子激光原理、结构及参数-参数,Pulse duration,Pulse duration,准分子光学系统简介,光学系统示意图,准分子光学系统简介,Monitor system示意图,准分子光学系统简介,Beam Short Axis & Long Axis,Short Axis Slope,准分子光学系统简介,退火腔结构简介,退火腔室结构,退火腔结构简介,Scan Process,3. ELA工艺技术,(1)晶化机制,(2)主要参数,多晶硅晶化过程,ELA工艺技术-晶化机制,ELA工艺技术-主要参数,Energy Density Vs Melt regime,ELA工艺技术-主要参数,Overlap Vs Pitch,Overlap Vs. Grain Size,ELA工艺技术-主要参数,ELA工艺技术-主要参数,CVD Thin Film Concern,ELA工艺技术-主要参数,Dehydrogen,4. ELA工艺测试,(2) SEM测试,(3) AFM测试,(1) 宏观检查,(4) -PCD测试,ELA工艺技术-宏观检查,宏观检查-Mura,ELA工艺技术-SEM测试,ELA工艺技术-AFM测试,
人人文库> 全部分类> 教育资料 > 课件下载

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论