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PVD镀金基础知识,2012.08.08,内容大纲,一、物体表面镀膜方法分类二、同湿式镀膜相比，干式镀膜的特点三、真空镀膜与PVD四、PVD镀金工艺流程五、PVD镀金产品外观检验标准,一、物体表面镀膜方法分类,1、电镀法原理：通电，使电解液电解，被电解的离子膜镀到作为电解液另一个电极的基体表面上。缺点：基体必须是电的良导体、膜层厚度难以控制，且生产过程会产生大量废液造成环境污染。,2、化学镀膜法原理：采用化学还原法，必须把膜材配制成溶液并能迅速的参加还原反应。缺点：这种镀膜方法不但膜的牢固性差，而且膜厚既不均匀又不易控制，同时还产出大量化学废液造成了严重的环境污染。,3、真空镀膜方法原理：在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发（或溅射），使其在被涂覆的物体（称为基板、基块或基体）上凝固、沉积的方法就叫真空镀膜。缺点：同电镀法及化学镀膜法相比，真空镀膜暂无发现缺点。,因其镀膜原理的特性不一样，人们也会把电镀及化学镀膜法称为湿式镀膜技术；而真空镀膜被人们称为干式镀膜技术。那么相比湿式镀膜，干式镀膜有哪些特点呢？,二、同湿式镀膜相比干式镀膜的特点,1、基体和膜材选材广泛，膜厚可进行控制以制备有各种不同功能性的薄膜。2、真空条件下制备的薄膜环境清洁，镀膜不易受到污染，因此可获得致密性好、纯度高、膜层均匀的膜。,3、真空条件下的镀膜与基体附着力（结合力）好、强度高，所以镀出来的膜层比湿式镀膜牢固性好。4、干式镀膜不会产生废液，所以也不会造成环境污染。,也就是说干式镀膜是以真空为基础，利用物理或化学的方法，并且吸收了电子束、分子束、离子束、等离子束、射频、磁控等一系列新的技术，为科研及生产提供镀层涂覆的新工艺、新技术。说了半天，那么真空镀膜跟我们通常所说的PVD镀金有什么关系呢？,三、真空镀膜与PVD,真空镀膜技术，也称气相沉积技术。包括物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）两大类。1、PVD：是指在真空条件下，采用低电压、高电流的电弧放电技术，利用气体放电使镀料（靶材）发生电离，再使镀材气化成原子、分子直接沉积到基体表面的方法。,2、PVD主要包括真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜。我们通常说所的PVD镀金，就是采用离子镀膜技术。大致分流的话，用副“架构图”会比较直接的看清楚。,3、离子镀原理:当真空室抽到10Pa左右的真空度以后，通过充气系统向室内通入氩气使其室内压强达到110Pa,这时当基体相对蒸发源加上负高压之后，基体与蒸发源之间形成一个等离子区，处于高压的基体被等离子包围，不断地受到等离子体中的离子冲击，与此同时靶材蒸气粒子受到等离子体中正离子的碰撞，其中一部分被电离成正离子，正离子在负高压的作用下，被吸附到基体上成膜。,-4,-1,多弧靶靶材离子镀膜设备,4、CVD：化学气相沉积，（此处省略400字，因为我们的产品主要是PVD处理，所以CVD就不多讲了，有兴趣的童鞋们，可以自己去找相关资料学习。）,小资料典型镀膜方法比较,四、PVD镀金工艺流程,PVD作业指导书QC工程表注：科勒产品,凯