IC行业特种气体简介.ppt

IC行业特种气体简介,主讲部门：华特销售部主讲部门负责人：张均华主讲人：李渊,IC的定义,IC即集成电路，是采用半导体制作工艺，在一块较小的单晶硅片上制作上许多晶体管及电阻器、电容器等元器件，并按照多层布线或遂道布线的方法将元器件组合成完整的电子电路。IC行业通常包括设计、制造及封装三大块。与我们气体相关主要是其制造模块，另外封装模块也涉及很少的一部分。,2019/12/5,特气在IC行业里面的应用,电子特气广泛应用于IC行业的如下工艺：薄膜沉积；刻蚀；掺杂；钝化；清洗；或用作载气、保护气氛等等。,2019/12/5,2019/12/5,特气在IC体制造中的应用-工艺,MaterialPreparation:EpitaxialGrowth(Optional),LPCVDMetalCVDPECVDSACVDAPCVDEPI,DryEtch,特气使用,2019/12/5,特气在IC制造中的应用-原理,CVDDeposition:SiH4+N2(Carriergas)+NH3plasma&heatSixNy+H2+N2+othervolatilesCVDChambercleanNF3+SixNyplasmaSiF4+N2+othervolatile掺杂:(如Implant/DOPOS)PH3+H2混气等刻蚀:SiO2+CF4*SiF4+CO+CO2,固态,刻蚀气体,气态,可被排出硅片及腔体,主要应用：反应载气腔体清洁掺杂刻蚀,2019/12/5,特气在IC制造中的应用-分类,大宗气体N2O2Ar离子注入BF3SF6Xe（红磷、黄磷、金属砒霜）PR（印刷）F2HeKrNe扩散H2POCl3DRYHeCF4C4F8C5F8CHF3CH2F2Cl2HBrBCl3SF6COCVDTEOSTEBTEPOPH3ClF3SiH2Cl2NF3SiH4NH3HeN2OWF6C2F6TiCl4CH4,2019/12/5,特气在IC制造中的应用-用量,一个八寸的芯片厂每年气体的使用金额约为5千万元人民币。,感官认识：,国内6寸以上芯片客户不完全统计,2019/12/5,芯片厂商对客户要求,合法安全可靠的质量管理体系有效的质量监控手段稳定有效的管理团对强大的技术研发实力物流能力专用危险品仓储场所,2019/12/5,芯片厂商对特气评价流程,供应厂商的资质气体规格的确认/比较控片/实验片上基础数据的确认小量产品的实验评价中量产品的实验评价大量产品的实验评价品质管理体系的审核量产审查通过成为合格供应商,2019/12/5,IC行业有竞争力的气体公司和产品,氟碳化合物（C2F6、CF4、SF6等C1-C4产品）日本企业（昭和、住友以及大阳日酸）绿菱气体（CF4、C2F6、CHF3等）黎明化工院（SF6、C2F6等）N02:林德气体NF3和WF6:718所硅烷：AP,2019/12/5,华特气体在芯片行业的竞争力,国内本土厂商:承担国家02专项项目（C2F6、CHF3）。产品种类齐全：C2F6、CF4、SF6、CHF3、C3F8、C4F8、NO（3N）、NH3、C02、CO（4N）、SiH4等。良好的品牌效应（已经供应的客户）性价比高，确实降低客户的成本快捷的物流配送（交货期短、应急反映迅速）,2019/12/5,中芯国际（8寸、12寸）,如何开发芯片行业客户,个人经验，与大家探讨。要有信心，相信自己的产品；心态很重要熟悉自己的产品（规格、用户、市场行情）如何开拓客户信息收集（统计相关区域内的所有IC厂商）信息处理（筛选具有价值的客户）找到相关联系人（关键人：每个公司的情况不一样）与客户沟通（了解客户的使其用情况；成本、性价比、交货期等；邮