二次铜蚀刻讲义.ppt

二次铜/蚀刻制程专业,品保部：刘海明050410,一.二次铜,1.作业流程：上板清洁剂水洗水洗微蚀水洗水洗酸洗镀二次铜水洗水洗镀锡預浸镀锡水洗水洗下板插架硝化挂架水洗水洗1.1上板:把待镀二次铜的板上在挂具上.1.2清洁剂:进行板面清洁.1.3微蚀:清洁及增加铜面粗糙度.1.4酸洗:清洗板面残留的铜盐.1.5镀二次铜:在铜槽中镀上所需的二次铜.1.6镀锡預浸:防污染镀锡槽,在锡槽前加一预浸.1.7镀锡:在铜表面镀上一层抗蚀保护膜1.8硝化挂架:对挂具上的铜用硝酸去除.,3.二次铜镀铜/锡要求和条件:3.1镀铜厚度550-750u”,锡厚180u”.3.2镀铜电流密度/时间:15ASF/48.3.3铜槽槽液控制标准:Cu2SO45H2O:755g/l硫酸:20010g/l氯离子浓度:30-60ppm温度:225,4.槽液维护与保养:4.1电解处理：a.电解时机：大/小过滤后或加铜块后.b.电解步骤：先弱电解电流50A/块(5ASF),时间2-8H,需关打气、开过滤、摇摆（浪板面积10SF）弱电解后强电解.强电解电流100A/块(15ASF)，时间0.5-1H，需开打气、过滤、摇摆.电解前须将浪板硝化干净.,4.2添加铜/锡:每10天添加一次铜/锡.4.3过滤:每A.铜槽:八个月做大过滤一次,每月活性炭滤芯过滤8-12H,过滤机滤芯每月更换.每八个月盘槽大过滤时清理破损之阳极袋.B.锡槽:每年大过滤一次,同时检查清理破损之阳极袋及锆篮.每月活性碳滤芯小过滤一次（8-12H）4.4铜槽停线后重新开线,光泽剂补加量:停线间隔时间每个铜槽添加量2H-4H1.0L4H-12H1.5L12H以上2.0L4.5导电测试:每月一次.,4.6振动马达监控方式：A.生产过程中每班点检一次，并记录于设备点检表上，有异常即开单维修.B.电镀各线振动马达在每月15-20日由维护主导量测，并将测试数据提供给生产、研发、品管.C.量测时槽中须有板，且每个振动马达均需量测，Fly-bar则分左、中、右进行量测，D.振动标准：振动频率40Hz；振幅0.1mm,二.蚀刻,1.作业流程:放板去膜加压水洗循环水洗市水洗吸干吹干中检段蚀铜氨水洗循环水洗市水洗吸干吹干中检段剥锡铅A循环水洗剥锡铅B循环水洗市水洗吸干吹干烘干收板1.1去膜:利用NaOH的强碱性对干膜或油墨的碳链进行攻击,致其断裂脱落,使不需要之铜箔裸露.1.2蚀铜:利用锡铅、干膜或油墨作业作为抗蚀刻保护层,蚀去裸铜部分,保留所需图形.1.3剥锡铅A:利用剥锡铅A液剥去板面及孔内的锡铅层，使光亮的铜锡合金界面呈现出来.1.4剥锡铅B:利用剥锡铅B液剥去铜锡合金界面，使光亮的铜面裸露出来.1.5烘干:利用955的高温将板面及孔内的水分烘干.,2.剥膜/蚀刻/剥锡的条件:2.1.剥膜:A.温度:设定在范围50+2B.浓度:NaOH0.9-1.1N2.2.蚀刻:A.温度:设定在范围50+2B.浓度:CL-170-210g/lCu2+130-170g/lPH7.8-8.42.3.剥锡:A.温度:设定在范围35B.剥A:H+3-7N剥B:H+1.5-3N,3.保养:3.1剥膜:A.剥膜段后滚轮需每班在换槽后用干净之碎布清洗,以除去滚轮上之残膜,预防后续蚀刻不净.B按正常规定每班换槽并清洗槽底.C.每班用毛刷刷洗滤网一次.D.检查液位状况