（微电子学与固体电子学专业论文）微晶硅薄膜太阳能电池探索研究.pdf

南开大学硕士毕业论文 摘要 摘要 微晶硅薄膜太阳能电池没有非晶硅电池的s w 效应。与非晶硅电池构成叠成，不但可 以拓展电池的光谱响应范围，还可以提高电池的稳定性。基于这个目的，我们采用r f 和 v h f p e c v d 技术沉积微晶硅材料和电池。本论文主要进行了如下几方面的工作： 在p i n 型微晶硅薄膜太阳能电池中，p 层作为电池的窗口层，对电池性能有重要影响。 p 型n c - s i ：h 硅材料具有高的电导率，宽的光学带隙，是微晶硅薄膜太阳能电池理想的窗口 层材料。实验表明增大氢稀释率可使薄膜材料从非晶态向微晶态转变；在高氢稀释情况下， 可获得纳米硅薄膜材料。研究了衬底温度，沉积功率和压强对材料晶化、光暗电导率、电 导激活能、生长速率等性能参数的影响。在此基础上通过硼掺杂浓度的优化，获得电导率 为0 7 s c m ，e a = 0 0 2 6 e v ，e o p t 2 0 e v ，晶粒尺寸为8 8 n m 的p 型n c s i ：h 窗口材料。 p 型n c - - s i ：h 薄膜是采用高氢稀释率，高沉积功率制备的。传统的s n 0 2 薄膜在这种 条件下很快就被h 还原变黑。z n o 薄膜能耐h 轰击，但是用直流磁控溅射方法制各的z n o 薄膜是平匿的，而且方块电阻很大。我们采用在s n 0 2 上沉积层薄z n o 薄膜( 2 0 3 0 n m ) ， 构成z n o s n 0 2 复合薄膜，既保持了s n 0 2 原有的高绒度、低电阻率和高透过率；又因为耐 h 轰击，而适用于作为p i n 型微晶硅薄膜电池的前电极。 在上面研究的基础上，我们初步研究了微晶硅薄膜电池的沉积工艺。研究了非晶电池 ( p a - s i c ： i ，i a s i ：h n 1 1c s i ：h ) 和微晶电池f p a - s i c ：h i pc s i ：h n pc s i ：h ) 的不同i 用 不同的p 层材料( p a s i c ：h 和p n c - s i ：h ) 比较研究了不同p 层材料对微晶硅电池性能的 影响；以及p i 界面h 处理对微晶硅电池性能的影响。采用p n c - s i ：剧i 一斗c - s i ：h n 一弘c s i ：h 结构，对p ，i 界箍h 处理2 0 s ，我们首次获得效率为4 1 2 的微晶硅太阳能电池( v o c = 0 3 9 9 v ， j s c = 2 0 5 6 m a c m 2 ，f f = 5 1 6 ) 。 关键词：r f - p e c v d 、v h f p e c v d 、直流磁控溅射、z n o 、p n c s i ：h 3 堕茎查堂堡望些堡塞 些! ! ! ! 生 a b s t r a c t t h em i c r o c r y s t a l l i n es i l i c o nt h i nf i l ms o l a rc e l lh a sn os we f f e c t ，w h i c ht h ea m o r p h o u s s o l a rc e l lh a s t h em i c r o m o r p ht a n d e mc e l lt h a ti sc o m b i n e db ym i c r o c r y s t a l l i n es i l i c o ns o l a r c e l l sa n da m o r p h o u ss i l i c o ns o l a rc e u s c a nn o to n l yw i d e nt h er e s p o n s eo fs p e c t r u m ，b u ta l s o i n c r e a s et h e s t a b i l i t y f o rt h a t ，w e u s e dr f - a n dv h f - p e c v dt e c h n o l o g yf o r d e p o s i t i n g m i c r o c r y s t a l l i n es i l i c o nm a t e r i a l sa n ds o l a rc e l l s t h i sp a p e rm a i n l y d e s c r i b e da b o u ts o m ew o r k a sf o l l o w s ： i r ip i n m i c r o c r y s t a i l i n es i l i c o nt h i nf i l ms o l a rc e l l s pl a y e ri su s e da sw i n d o w m a t e r i a l s a n d i ti s v e r y c r i t i c a lf o rt h es o l a rc e l l p e r f o r m a n c e p n c - s i ：hm a t e r i a l ，w h i c h h a s h i g h e r c o n d u c t i v i t y , w i d e re o p t i sv e r yi d e a l l yu s e d 觞w i n d o wm a t e r i a l si ns o l a rc e l l s t h et r a n s i t i o n f r o ma m o r p h o u ss i l i c o nt om i c r o c r y s t a l l i n es i l i c o no c c u r r e db yi n c r e a s i n gd i l u t i o no ft h es i t h u n d e r h i g hd i l u t i o no f t h es i h 4 ，w ec o u l d g a i nn a n o s i l i c o nf i l mm a t e r i a l s w e s t u d i e dt h ee f f e c t o fs u b s t r u c t u r et e m p e r a t u r e ，p l a s m ap o w e ra n dd e p o s i t i n gp r e s s u r eo nt h ec r y s t a l l i n i t yo ft h e f i l m ，d a r kc o n d u c t i v i t y , p h o t o c o n d u c t i v i t y , a c t i v ee n e r g y 但a ) a n dd e p o s i t i o nr a t e b yo p t i m i z i n g d o p i n go fb 2 h 6 ，w eg a i n e dt h el l a n o s i l i c o nf i l m ，w h i c hh a dh i g hc o n d u c t i v i t y ( o 7 s e r a ) t h e s i z eo f g r a i ni s8 8 n m a n dt h ee o p ti sw i d e r t h a n2 0 e v w eg a i n e dt h e p - n c s i ：hb yh i g h d i l u t i o no fs i h 4 ，h i g h p l a s m ap o w e r u n d e rt h a t c o n d u c t i o n s ，t h es n 0 2w a sr e v e r t e db yh ，a n db e c a m eb l a c k s ot h ec o n v e n t i o n a ls n o zf i l m c o u l dn o tb eu s e da st h ef r o n te l e c t r o d eo fm i c r o e r y s t a l l i n es o l a rc e l l s z n of i l mc a nw i t h s t a n d t h eb o m bo fh ，b u tt h ez n o ，w h i c hi sd e p o s i t e db yd c m a g n e t i s ms p u t t e r i n g ，i sf l a t ，a n dh a s h i 曲s h e e tr e s i s t a n c e o ns n 0 2 ，w cd e p o s i t e dat h i n ( 2 0 - 3 0n r l l ) z n of i l m t h i sz n o s n 0 2 m u l t i p l ef i l mn o to n l yc o u l dk e e pt h et e x t u r e do fs n 0 2f i l m ，b u ta l s oh a d l o wr e s i s t a n c ea n d h i g h t r a n s p a r e n c e t h i sm u l t i p l ef i l mc o u l db eu s e da st h ef r o n te l e c t r o d eo fp i nm i c r o c r y s t a l l i n e s i l i c o ns o l a rc e l l sf o ri tc a nr e s i s tt h ehb o m b a r d m e n t a f t e ra b o v ei n v e s t i g a t e s ，w es t u d i e dt h ed e p o s i t i o nt e c h n o l o g yo fm i c r o c r y s t a l l i n es i l i c o n s o l a rc e l l s w ec o m p a r a t i v e l ys t u d i e dt h ed i f f e r e n c eb e t w e e nt h ea m o r p h o u ss i l i c o ns o l a rc e l l s ( p a - s i c ：h n a s i ：h n l ac - s i ：均a n dm i c r o c r y s t a l l i n e s i l i c o ns o l a r c e l l s ( p - a s i c ：i - t i u c - s i ：h n 1 tc - s i ：h ) w eu s e dd i f f e r e n tp l a y e r s ( p a s i c ：ha n dp n a s i ：h ) i ns o l a rc e l l s ，a n d 4 堕茎查堂堡主生、业笙塞型里璺生一 c o m p a r e d t h ed i f f e r e n te f f e c to nm i c r o c r y s t a l l i n es i u c o ns o l a r c e i l s w ea l s os t u d i e dt h ee f f e c to f p ii n t e r f a c e t r e a t e db yi - 1 w eu s e dp - n c - s i ：h a 一“c s i ：h n 一弘c s i ：hc o n f i g u r a t i o n ，a n dl e tt h ep ii n t e r f a c e t r e a t e db y hf o r2 0s e c o n d t h e4 2 e f f i c i e n c yo fm i c r o c r y s t a l l i n es i l i c o ns o l a rc e l lw a sa c c o m p l i s h e d t ( v o c - = 0 3 9 9 v ，j s c - - - - 2 0 5 6 m a c m 2 ，f f = 5 1 6 ) k e y w o r d s ：r f p e c v d ，f p e c v d ，d cm a g n e t i s ms p u t t e r , z n o ，p - n c s i ：h 5 南开大学硕士毕业论文 第一章绪论 第一章绪论 1 1 课题来源、目的以及课题的意义 一、课题来源 本课题来自于国家重点基础研究发展规划( 9 7 3 ) 项目低价、长寿命新型光伏电池 的基础研究的0 3 课题器件质量级低温晶化硅薄膜材料及稳定非晶硅低温晶化硅叠层 电池的研究中的一部分低温微晶硅薄膜电池的探索研究。 二、本课题的目的和意义 人们的日常生活需要能源的支持。随着社会的发展，人们对能源的需求量也越来越大。 现代社会使用的常规能源是煤、石油和天然气，但是由于常规能源存在着存储量有限、在 自然界分布不均以及产生环境污染等问题，所以人们正积极开发包括风能、核能、太阳能 等的新能源。在这些新能源中，风能、核能都具有各自的局限性，而太阳能则是一种取之 不尽、用之不竭的无污染的新能源。 在太阳能的有效利用中，太阳能光电利用是近些年来发展最快，最具有活力的研究领 域，其中最受瞩目的是新型低成本高效太阳能电池的研制和开发。制作太阳能电池主要以 半导体材料为基础，按化学组成和产生电力的方式，太阳电池可分为无机太阳电池、有机 太阳电池和光化学电池三大类【1 i 。 不论以何种材料来制作电池，对太阳能电池材料一般的要求有【2 】： 要有较高的光电转换效率； 材料储量丰富，本身对环境不造成污染； 材料便于工业化生产且材料性能稳定。 基于以上几个方面考虑，硅的原料来源丰富，加工工艺简单，做成电池有较高的转换 效率，对环境不会造成污染。这也是目前太阳能电池以硅材料为主的主要原因。 硅系列太阳能电池中，以单晶硅太阳能电池转换效率最高，技术也最为成熟。在大规 模应用和工业生产中，单晶硅太阳能电池仍占主导地位，但是由于受到单晶硅材料价格以 及相应高温而繁琐的电池工艺影响，使单晶硅成本价格居高不下，影响了其大规模的广泛 应用。 非晶硅( a s i ) 薄膜太阳电池由于成本低，便于大规模生产，普遍受到人们的重视并 得到迅速发展【3 l o 尽管非晶硅是一种很好的太阳能电池材料，但是由于其光学带隙为1 7 e v 6 南开人学硕士毕业论文 第一章绪论 左右，使得材料本身对太阳辐射光谱的长波区域不敏感，也限制了非晶硅太阳能电池的转 换效率。此外，由于其光致衰退( s - w 效应) 【4 】，光电转换效率会随着光照时间的延长而 衰减，使得电池性能不稳定。 微晶硅( “c s i ) 是由微晶粒、晶粒边界、空洞和非晶硅共存的混合相无序材料，有着 与单晶硅材料和非晶硅材料不同的光电特性。微晶硅薄膜电池由于可以在廉价衬底材料上 制各，所使用的硅材料远较单晶硅少；没有效率衰退问题；具有可与a s i 兼容的低温成膜 技术，有利制成叠层电池；工艺过程简单，便于大面积生产，使其具有大幅降低成本的潜 力，因而受到普遍重视，并被视为硅基薄膜太阳能电池的下一代技术【5 1 。c s i 的光学带隙 为1 2 e v 左右，用a s i ：h c s i ：h 叠层电池结构可将电池光谱响应长波限从目前非晶硅太阳 能电池的0 靴m 扩展到1 1 m ，并且这种电池结构的稳定性更好。由于微晶硅薄膜材料在硅 薄膜太阳能电池以及传感器、薄膜晶体管等领域的巨大应用前景，氢化微晶硅( 一s i ：h ) 薄膜材料及其器件的制备与特性研究得到了越来越广泛的关注【6 】口 1 2 国内外研究现状 微晶硅在几十年以前已经出现，但是当时由于设备条件以及认知的原因，认为这种材 料不适用于太阳能电池。最近十几年，由于对微晶硅材料认知的深入和新设备的出现，以 及微晶硅可以和非晶硅组成相对稳定的太阳能叠层电池，对于微晶硅材料的研究获得了长 足的进展。 目前，国际上主要有日本、美国和欧洲的瑞士、德国、荷兰等国家从事微晶硅薄膜太 阳能电池的研究工作。表1 1 列出了几个主要国家的研究小组获得的比较好的微晶硅薄膜太 阳能电池的性能【7 ，8 1 。 表1 1 部分国外研究组获得的微晶硅薄膜太阳能电池性能 正 电池类i 层厚度电池面积nv o c j s c ( m a f f 份 型 沉积方法 c m z )( ) ( i t m )( e r a 2 ) ( )( m v ) v h f - p e c v d 瑞士 n i p ( 单室，7 0 一2 7 84 6 22 47 0 2 0 0 1 a s h a h 1 3 0 m h z ) p mv h 卜p b c v d2 7 |8 5 5 3 12 2 96 8 南开大学硕士毕业论文 第一章绪 论 i b y 2 0 0 2 p i n，9 4 6 0 02 67 5 h w - c v d p i n9 1 5 8 92 2 27 0 德国 i b y 1 4 0 6 7 2 0 0 1 h 、 l c v d j u e l i c h n i p7 5 5 4 21 9 96 9 r p e c v d 2 0 0 1n i p10 6 78 15 2 32 256 9 ( 多室，9 5 m h z ) i b yp e c v d ( 4 0 m ) i z ) n i p2 50 、2 0 48 65 3 52 36 9 8 p 、nb yr f 2 0 0 2 p e c v d r f p e c v d 日本p i n9 45 1 0 6 1 ( 多室) r f 午e c v d 2 0 0 1p 矾 (多室， 0 2 58 95 1 02 57 0 1 3 5 6 m h z ) l b y 2 0 0 2p i n0 4 30 0 8 66 5 54 5 92 1 86 5 4 p h o t o - c v d 美国m vi b y 2 0 0 1p 斟， 44 0 02 06 0 s y s t e m sh 、 l c v d 目前国际上主要采用r f p e c v d 、v h f - p e c v d 、h w c v d 丰l l p h o t o c v d 等技术路线制 备微晶硅薄膜材料与太阳能电池。下面分别作简单介绍。 l 、r f p e c v d 方法沉积微晶硅薄膜材料与太阳能电池 r f - p e c v d 是沉积薄膜材料和电池的常用方法。该技术用于沉积非晶硅电池已经比较 成熟。人们希望将这种技术应用于微晶硅薄膜材料与电池的研究中来。研究发现可以通过 改变衬底温度、硅烷浓度等，使硅薄膜从非晶相转变为微晶相，如图1 1 、1 - 2 、1 - 3 和1 4 所示【9 j 。图1 - 1 示出的是硅薄膜材料暗电导率和光敏性随衬底温度变化的情况。这组薄膜沉 积时硅烷浓度( s c = s i h 4 ( s i i - 1 4 + h z ) ) 为1 0 。由图可以看到在低温区r r s 4 0 0 ) 赔电 导率( od 柚在1 0 - 1 0 _ 1 0 9 s c m 2 _ n ，随温度升高单调上升；当温度t s ， 4 0 0 4 c 后，od a r k 急剧变 8 南开大学硕士毕业论文 第一章绪论 大，t s = 5 5 0 。c od a r k 。1 0 s c m 。薄膜的光敏性正好相反，温度越低光敏性越大，从t s = 2 5 0 c 时的4 1 0 5 减小到t s = 5 5 0 。c 时的几乎没有光敏性。图1 2 是其中几个薄膜的拉曼谱。 可以看到温度t s 4 0 0 9 c 后，代表晶化的5 2 0 c m l 蜂开始出现，且随衬底温度的升高而增强。 暑。 暑 基 刍 兰 耋 暮 蕃 茹 舞 鞠l h 锺r j k l 孤断1 m 瞄一k l 图1 - 1 光暗电导率随衬底温度变化情况 最 夏 暑 = 、圣 显 童 生 t 二；i 0 0e j ， _ _ 一 j i ： l 0c 一一 - 。 h t ，一 一。 k 、 f ： ld o ， 、 一一 1 $ ； ：044 # 4 4 0 0l j4s ie raman s hi f t ( e mf j 图1 2 不同衬底温度薄膜的喇曼谱 i 蜥t t ；潍也叼x i ( q 询 图1 - 3 暗电导率和光敏性随硅烷浓度变化 曲 墨 皇 篓 鏊 ； 羔 墨 图1 3 是固定t s = 2 5 0 。c ，薄膜的暗电导率和光敏性随硅烷浓度( s c ) n 变化趋势。1 5 s c 4 后薄 膜暗电导率迅速减小，此时薄膜从微晶区逐渐向过渡区变化，s c = 4 5 是薄膜的过渡 区；在s c 5 后，薄膜的暗电导率减小速度变缓，这时薄膜已经是非晶相了。薄膜的光敏 性随s c 的变化跟薄膜的暗电导率淹s c 的变化正好反。在s c = i 5 4 时，薄膜处于微晶区， 光敏性小( l o o w ) t 使s i l l 4 完全分解，沉积速 率达到了1 5 n m s 1 “。 本征微晶硅比非晶硅材料有较高的暗电导率( 1 0 - 3 1 酽s ，c m ) ；费米能级一般偏向导带， 呈现弱n 型，这是由微晶硅薄膜晶界中大量的缺陷态以及与氧有关的杂质沾污所引起的【1 3 】。 用气体纯化器可除去反应气体中的氧等杂质，是减小沉积薄膜中各种杂质的一种有效的方 法。另一种方法是低温( 1 0 0 一2 5 0 ) 沉积微晶硅薄膜 1 4 】。这种方法不是除去薄膜中与氧有 关的杂质，而是使薄膜中与氧有关的杂质失去活性。在非晶硅中氧原子获得一个电子，成 为一个带负电的离子，与周围其它基团成键形成杂质态。假设处在微晶硅薄膜晶界中的非 晶也存在这种杂质态，那么可以认为：使与氧有关杂质失去活性可能是由于h 插入n s i 一0 键中，形成s i h 复合体的作用，比如； o s 3 s i + h h s i + s t o s l 其中的s i o s i 没有电子态活性。 但是衬底温度太低时( c 1 0 0 ) ，薄膜晶粒尺寸变小，薄膜缺陷态增加。原因在于晶界缺 陷和非晶部分的影响变大。衬底温度1 4 0 c 是一个较佳的沉积温度。在这个温度下，h 的钝 化作用抑制了i 层中与氧有关的杂质的活性，同时晶粒尺寸足够大，缺陷又少，从而有助于 改善开路电压( r o e ) ，而短路电流( j s c ) 和填充因子口f ) 都没有下降。应用“高压耗尽”技术 沉积i 层，i 层沉积温度为1 4 0 时，电池性能达至u 最佳，分别为v o c = 0 5 1 v , j s c - - 2 5 m a c r a 一， f f = 7 0 ，n ：8 9 【1 5 】。 2 、v l i f p e c v d 方法沉积微晶硅薄膜太阳能电池 由于甚高频( 玎) 的激发频率在等离子体中产生大量的低温电子，使沉积速率大为 提高，而生成更少对薄膜性能有不利影响的高硅烷聚合物，所以这种p e c v d 技术受到人们 的瞩目。这有助于缩短微晶硅薄膜电池中l 层的沉积时间。s s u z u k i 等人用加了网状电极 ( m e s he l e c t r o d e ) 的v h f p e c v d 技术以5 0 a s 的生长速率沉积光敏性为1 0 2 的微晶硅材料 t 6 1o 2 0 0 0 年，德 n j u e l i c h 实验室的a d 笛g u p t a 等人以b ( c h 3 ) 3 作掺杂气体，在v h f p e c v d 中用9 5 m h z 的频率电源沉积p 层微晶硅薄膜，在另外一个反应室中用同样频率的 v h f - p e c v d 沉积i 层微晶硅薄膜，在第三个反应室中用i t f p e c v d 沉积非晶的n 层。固定i 层和n 层的条件不变，只改变p 层的沉积温度o r s ) 、掺杂气体浓度( y ) 、以及p 层厚度( d ) 得到 一系列的p 斟型电池f 】7 1 。 比较这些微晶硅电池后发现： 1 1 南开大学硕士毕业论文 第一章绪论 _ 沉积温度( t s ) 对电池的转换效率和短路电流有大的影响，而对其它两个参 数影响不大。 * t s 2 2 0 。c 时，转换效率和短路电流基本不变，在2 0 m a c m 2 左右： + t s 2 2 0 。c 后，转换效率和短路电流都下降。 p 层的厚度影响： * 对电池转换效率、开路电压和短路电流的影响都是随厚度先上升( 1 5 n m 3 0 n m ) ，之后下降( 大于3 0 n m ) ， + 电池的填充因子随厚度适当增大而增大( 1 5 n m 4 0 n l n ) 。 对于掺杂浓度( y ) 的影响： + 在y o 5 时，电池的转换效率、开路电压和填充因子随浓度的增加迅速增大， 而短路电流增大的比较缓慢： + o 5 2 2 3 梁宗存，沈辉，李戬洪“太阳能电池研究进展”，能源工程2 0 0 0 年第四期 同上 4 j s t a e b i e r d l ，w r o s k i c r ， e t a 1 “r e v e r s i b l e c o n d u c t i v i t yc h a n g e s i n d i s c h a r g e p r o d u c e da m o r p h o u ss i l i c o n ”a p p l yp h y sl e t t e r ，1 9 9 7 ，3 1 ，p 2 9 2 5 1 3 r e c h ，h w a g n e r “p o t e n t i a lo fa m o r p h o u ss i l i c o nf o rs o l a re e l l s ”a p p l p h y s a 6 9 ( 1 9 9 9 ) p 1 5 5 - 1 6 7 6 r b b e r g m s n n ，j h w e r n e r “t h ef u t u r eo fc r y s t a l l i n es i l i c o f tf i l m so f tf o r e i g n s u b s t r a t e s ”t h i ns o l i df i i m s4 0 3 4 0 4 ( 2 0 0 2 ) p 1 6 2 - 1 6 9 7 】b e m ds c h r o e d e r , “s t a t u sr e p o r t ：s o l a rc e l lr e l a t e dr e s e a r c ha n dd e v e l o p m e n tu s i n ga m o r p h o u s a n dm i c r o c r y s t a l l i n es i l i c o nd e p o s i t e db yh w ( c a t ) c v d ”，2 “oi n t e r n a t i o n a lc o n f e r e n c eo n c a t - c v d ( h o t w i r ec v d ) p r o c e s s ，2 0 0 2 ，9 p 1 9 2 4 8 js c o t tm o r r i s o na n dk f u nm a d a n “d e p o s i t i o no f a m o r p h o u s a n dm i c r o c r y s t a l l i n es i l i c o n u s i n g a g r a p h i t ef i l a m e n ti nt h eh o t w i r ec v d t e c h n i q u e ”j v a c s c i t e c h n 0 1 a 1 9 ( 6 ) ， n o v d e c2 0 0 1 ，p 2 8 1 7 9 】s w a t ir a y , c h a n d a nd a s ，s a h a ，e t a 1 “s b u s t r a t et e m p e r a t u r ea n dh y d r o g e nd i l u t i o n ： p a r a m e t e r sf o ra m o r p h o u st om i c r o c r y s t a l l i n ep h a s et r a s i t i o ni ns i l i c o nt h i nf i l m s ”t e c h n i c a l d i g e s to f t h ei n t e r n a t i o n a lp v s e c - 1 2 ，j e j u ，k o r e a ，2 0 0 1p 2 4 9 - - 2 5 0 1 0 jc r w r o n s k i ，r w , c o l l i n s ，l j i a o ，e t a 1 “s t a b l ea s i ：hb a s e dm u l t i j u n c t i o ns o l a rc e l l sw i t h g u i d a n c ef r o mr e a lt i m e o p t i c s 一a n n u a lr e p o r t ，p h a s e11 7j u l y1 9 9 8 1 6o c t o b e r 1 9 9 9 ”2 0 0 0 年8 月p 6 1 7 2 1 1 】j i a n g - h u a iz h o u ，k a z u y u k ii k u t a ，t e t s u j iy a s u d a ，e t a 1 “c o n t r o l o f c r y s t a l l i n i t y o f m i c r o c r y s t a l l i n e s i l i c o nf i l m g r o w n o n i n s u l a t i n g g l a s s s u b s t r a t e s ”j o u r n a lo f n o n c r y s t a l l i n es o l i d s2 2 7 2 3 0 ( 1 9 9 8 ) p 8 7 5 8 6 0 1 2 】m i c h i ok o n d o ，m a k o t of u k a w a ，a k i h i s am a t s u d a e t a 1 “h i g h r a t e g r o w t h o f m i c r o c r y s t a l l i n es i l i c o n a tl o wt e m p e r a t u r e s ”j o u r n a lo fn o n c r y s t a l l i n es o l i d s2 6 6 2 6 9 ( 2 0 0 0 ) p 8 4 8 9 【1 3 】e t o r r e s ，j , m e i e r , r f l u c k i g e r , e t a 1 “d e v i c eg r a d em i c r o c r y s t a l l i n es i l i c o no w i n gt o 1 5 南开大学硕士毕业论文第一章绪论 r e d u c e d o x y g e nc o n t a m i n a t i o n ”a p p l p h y s l e t t 6 9 ( 1 0 ) ，2 ( 1 9 9 6 ) p 1 3 7 3 1 3 7 5 1 4 】y n a s u n o ，m k o n d o ，a m a t s u d a “p a s s i v m i o no fo x y g e n r e l a t e dd o n o r si nm i c r o c r y s t a l l i n e s i l i c o n b yl o wt e m p e r a t u r ed e p o s i t i o n ”a p p l i e dp h y s i c sl e t t e r s ，v o 】7 8 ，n o 1 6 ( 2 0 0 1 ) p 2 3 3 0 2 3 3 2 【1 5 m i c h i ok o n d o ，y a s u y u k in a s u n o ，h i r o s h im a s e ，e t a 1 “l o w t e m p e r a t u r ef a b r i c a t i o no f m i c r o c r y s t a l l i n es i l i c o na n d