（电磁场与微波技术专业论文）高速芯片与组件互连结构参数提取.pdf

上海交通大挈硕士学位论文 高速芯片与组件互连结构参数提取 摘要 r 随着集成电路规模和时钟频率的提高，由互连线所造成的时延和 、 串扰已经取代了门电路单元开关速度而成为限制集成电路工作速度 进一步提高的主要因素，所以互连和封装导体结构的电性能对当前高 速电路系统的总体性能具有至关重要的影响。互连线的参数提取已经 成为分析上述时延和串扰的关键步骤。多层介质结构中的多导体互连 线是集成电路和多芯片组件中基本的连接单元，它们的特性可以在准 静态条件下用分布电容，电感，电阻，电导参数来描述。焊接引线是 一种在芯片制造和封装中广泛使用的互连技术。虽然它的物理尺寸很 小，但是当频率到了微波和毫米波的阶段，由焊接引线所带来的不连 续性将严重影响整个电路的性能。7 - ) ，一 本文工作针对互连与封装结构电磁特性研究的现状和特点，在原 有的分析方法上加以改进，用于计算新的结构，提高计算效率。主要 工作如下： 第一章介绍了本文的研究背景及意义，互连和封装的电磁分析方 法和本文的主要研究工作。 第二章针对目前使用较为广泛的多层介质多导体互连线结构，提 取它的分布参数。苗于实际的物理模型层数较多而不利于计算，所以 0 上海交通大学硕士学位论文 对其进行合理的简化，将它看作是四层介质结构以便于分析和计算。 为了分析多层介质多导体互连线的电特性，首先用镜像格林函数法计 算了求取了位于三层介质结构中的格林函数级数表达式，在此基础上 推导了四层介质结构中格林函数的三重级数的表达式。然后用层次法 的思想对导体表面进行划分，按照镜像电荷的距离的多少和电量的大 小来对导体表面采用不同的网格划分数目以加快计算速度。本文用以 上方法提取了二维和三维结构的多层介质多导体互连线的频变电容 和电导参数。卜刁厂 第三章用部分元等效的方法对焊接引线进行建模来分析它的电特 性。部分元等效的方法将整个焊接引线分为若干分块，再将电磁积分 l 方程离散化得到电路模型，每一个分块为一个电路单元，整个等效电 路由各单元作为部分元件组合而成。本文分析了焊接引线的电特性， 计算了散射参数。匆7 7 对于上述各种分析方法，作者都编写了相应的程序，分析了一些 具体实例，并将计算结果和文献以及其他软件的结果进行了比较。 关键词：多层介质多导体互连，镜像电荷法，介质格林函数，层次 ，。- _ _ - - _ _ - 。_ _ _ 一，_ 一r 一一一 法，焊接引线，部分元等效 上海交通大学硕士学位论文 p a r a m e t e re x t r a c t i o nf o rt h e i n t e r c o n n e c t i o ns t r u c t u r eo ft h eh i g h s p e e dc h i pa n dm o d u l e a b s t r a c t w i t ht h ei n c r e a s i n gi n t e g r a t i o ns c a l ea n dc l o c kf r e q u e n c y ，t h em a j o r l i m i t i n gf a c t o r sf o rf u r t h e ri n c r e a s i n gt h eo p e r a t i n gs p e e do fi n t e g r a t e d c i r c u i t sa r ei n t e r c o n n e c t i o nd e l a ya n dc r o s s t a l k ，r a t h e rt h a nt h ed e v i c e s w i t c h i n gs p e e d s o t h ee l e c t r i c a l p r o p e r t y o fi n t e r c o n n e c t sa n d p a c k a g i n g c o n d u c t o rs t r u c t u r e si sv e r y i m p o r t a n t f o rt h eo v e r a l l p e r f o r m a n c eo fi n t e g r a t e dc i r c u i t s p a r a m e t e re x t r a c t i o nf o ri n t e r c o n n e c t s i sak e ys t e pi nt h ea n a l y s i so fs u c hd e l a ya n dc r o s s t a l kb e c a u s e i t s e f f i c i e n c ya n dg e n e r a l i t yd o m i n a t et h o s eo ft h em u l t i l a y e r e dd i e l e c t r i c m e d i aa r et h eb a s i ci n t e r c o n n e c t i o nu n i t si ni co rm c m ，a n dh a v eb e e n c h a r a c t e r i z e dw i t ht h ed i s t r i b u t e dp a r a m e t e r s c l r 】 g 】u n d e r q u a s i t e m c o n d i t i o n s t h e b o n d i n g w i r ei sa v e r yp o p u l a r i n t e r c o n n e c t i o nt e c h n o l o g ya d o p t e di nt h ef a b r i c a t i o no f b o t hm i c r o w a v e i n t e g r a t e dc i r c u i t sa n dm o n o l i t h i cm i c r o w a v ei n t e g r a t e dc i r c u i t s i ns p i t e o fi t ss m a l l p h y s i c a ll e n g t h ，w h e n m i l l i m e t e r - w a v e o p e r a t i o n s a r e 上海交通大学硕士学位论文 r e q u i r e d ，t h ed i s c o n t i n u i t y i n t r o d u c e d b y t h e b o n d i n g w i r ec a n s i g n i f i c a n t l ya f f e c tt h ep e r f o r m a n c eo ft h ew h o l ec i r c u i t t h i sd i s s e r t a t i o nf o c u so nt h ec h a r a c t e r i s t i c so ft h ee l e c t r o m a g n e t i c c h a r a c t e r i z a t i o nf o rt h ei n t e r c o n n e c t sa n dp a c k a g i n gs t r u c t u r e s o m e m o d i f i e da p p r o a c h e sa r ep r e s e n t e dt or e s o l v et h en e ws t r u c t u r ea n d i m p r o v et h ec o m p u t a t i o n a le f f i c i e n c y t h ec o n t e n t s a r e a r r a n g e da s f o l l o w i n g s i nc h a p t e r1i to u t l i n e st h eb a c k g r o u n d ，m e t h o da n dc o n t e n to ft h i s d i s s e r t a t i o n i nc h a p t e r2 ，ie x t r a c tt h ed i s t r i b u t e dp a r a m e t e r so ft h em u l t i d i e l e c t r i c l a y e r sw i t hm u l t i - c o n d u c t o ri n t e r c o r m e c t i o n sw h i c ha r ew i d e l yu s e dt o d a y b e c a u s et h ep r a c t i c a lp h y s i c a lm o d e lh a sm a n yl a y e r sw h i c hm a k ei t d i f f i c u l tt or e s o l v e ，io p t i m i z et h em o d e la sf o u rl a y e r s i no r d e rt o a n a l y z et h ee l e c t r i c a lc h a r a c t e r i s t i c so ft h em u l t i d i e l e c t r i cl a y e r sw i t h m u l t i c o n d u c t o r ，f i r s tt h ed i e l e c t r i ci m a g eg r e e n sf u n c t i o na p p r o a c hi s u s e dt or e p r e s e n tt h eg r e e n sf u n c t i o na sat h r e em u l t i p l yi n f i n i t es e r i e si n t h ef o u rl a y e r ss t r u c t u r e t h e nt h eh i e r a r c h i c a la l g o r i t h mi sa l s ou s e dt o i m p r o v et h ec o m p u t a t i o nt i m e iu s e dt h i sm e t h o dt oe x t r a c tt h ef r e q u e n c y d e p e n d e n td i s t r i b u t e dc a p a c i t a n c ea n dc o n d u c t a n c ei nt w oa n d t h r e e 上海交通大学硕士学位论文 d i m e n s i o n ss t r u c t u r eo ft h ec o p l a n a rt r a n s m i s s i o nl i n e so nl o s s ys i s e m i c o n d u c t i n gs u b s t r a t e t h eb o n d i n gw i r ei n t e r c o n n e c t i o nh a sb e e ns t u d i e df r o mt h ep o i n t so f v i e wo fi t sm o d e l i n ga n de l e c t r i c a lc h a r a c t e r i z a t i o ni nc h a p t e r3 t h e m o d e lw eu s e di sp a r t i a le l e m e n te q u i v a l e n tc i r c u i t ( p e e c ) t h i sm e t h o d u s e sas u i t a b l e d i s c r e t i z a t i o nt e c h n i q u ea n dg e t st h esp a r a m e t e ro ft h e b o n d i n gw i r e p r o g r a m sa r ew r i t t e nf o rt h ea b o v ea p p r o a c h e s n u m e r i c a le x a m p l e sa r e g i v e nf o rt h ev a r i o u si n t e r c o n n e c t sa n dc o m p a r i s o n sa r em a d ew i t ht h a ti n t h el i t e r a t u r ea n do t h e rs o f t w a r e k eyw o r d s ：m u l t i d i e l e c t r i c l a y e r s w i t hm u l t i c o n d u c t o l i m a g e r a e t h o d ，d i e l e c t r i cg r e e n sf u n c t i o n ，h i e r a r c h i c a la l g o r i t h m ，b o n d i n g w i r e ，p a r t i a le l e m e n te q u i v a l e n tc i r c u i t v 附件五 上海交通大学 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定， 同意学校保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版， 允许论文被查阅和借阅。本人授权上海交通大学可以将本学位论文的 全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫 描等复制手段保存和汇编本学位论文。 保密口，在一年解密后适用本授权书。 本学位论文属于 不保密团。 ( 请在以上方框内打“”) 学位论文作者签名：互饧l 指导教师签名： 日期：动$ 年3 月夕日日期： 年月日 附件四 上海交通大学 学位论文原创性声明 本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独 ：进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论 i 、 ：不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文 研究做出重要贡献的个人和集体，均己在文中以明确方式标明。本 完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名：至k 日期：嬲年弓月肜日 第一章引言 1 1 研究背景及意义 第一章引言 当今时代是信息技术迅猛发展的时期。自从第一代集成电路诞生以来，集 成电路就按照摩尔( m o o r e ) 法则不断向前发展着，即新一代的集成电 路在集成度方面比前一代大致提高一倍，而两代的间隔时间大约是1 8 个月。这样在经历了小规模集成( s s i ) 、中规模集成( m s i ) 、大规模集成( l s i ) 的几个不同的发展阶段后，目前已进入超大规模集成( v l s i ) 和巨大规模集成 ( g s i ) 阶段l l - 4 1o 当前实现大规模系统的方式大致可分为三种：专用芯片( a s i c ) ， 多芯片组件( m c m ) 和印刷板( p c b ) 。其中多芯片组件是近几年来新发展起来的一种 新型电路组件，其内部布线结构如图1 - 1 所示，实物如图1 - 2 所示。它是由多 块裸芯片通过布线层连接而成，具有体积较p c b 紧凑、互连和封装寄生影响较小 以及散热特性好等特点，这使得它成为有吸引力的系统封装方式。 图l 一1m c m 中的薄膜布线结构【5 f i g 1 - 1t h i n f i l mw i r i n gi nm c m 眦 嘴 l l 第一章引言 图1 2 多芯片组件的实物图 f i g 1 2 m c mv i e w 随着超大规模集成电路制造工艺向亚微米深亚微米的水平发展，高速度、 高集成度、低功耗和大芯片面积成为当今集成电路发展的主要特点。而芯片集 成规模的扩大和时钟频率的提高使得集成电路的最小特征尺寸( f e a t u r e s i z e ) 在不断的减少：从1 9 8 5 年的2 “棚减少到2 0 0 2 年的0 1 8 0 1 3u m 。据预 测在2 0 1 1 年最小特征尺寸会减少到0 0 7 - - - 0 0 5 , u m 【6j 。伴随着特征尺寸的减少， 单芯片的系统集成度从1 9 9 6 年的单芯片集成一千万门晶体管，到如今的一亿个 晶体管的集成度，而且预测到2 0 1 1 年单芯片集成度将达到1 5 亿的惊人数字。 同时，随着集成电路工作速率的提高，互连线所传输的脉冲信号具有从直流 至微波、毫米波频段极为宽阔的频谱。在直流或低频情况下，互连线可以看作简 单的金属导线，仅仅起点与点之间连通的作用，但在频谱高端对应的波长已与互 连结构的尺寸处于同一数量级时，信号脉冲在互连线上呈现明显的波动效应。国 外的学者，如i b m 的w a t s o nr e s e a r c hc e n t e r ，b e l ll a b 就已经开始研究多导体 传输线的电容系数问题【”，用来表征集成电路中互连线的分布参数效应，从而研究 信号互连线之间的耦合和串扰8 1 。此时互连线已不能再简单的认为是一般的连接 线，而应看作为具有分布参数的多导体传输线来处理【9 - 2 91 。而因此所造成的系 统互连效应( i n t e r c o n n e c t i o ne f f e c t s ) 包括以下几个主要方面： 1 ) 延时( d e a y ) ：由于脉冲信号在传输线上的波传输时间而产生的信号延时。i b m 的实验表明，在0 5 m 的c m o s 工艺下，信号的上升时间为1 0 0 - - 2 0 0 p s ：经过传 2 第一章引言 送的信号的上升沿为1 0 0 - - 9 0 0 p s ，而1 厘米的互连线引起产生时延则为1 3 0 - - 3 7 0 p s ，与信号的上升沿相当。此时，脉冲信号的频谱高端频率对应的波长范围 在3 厘米以下，可以与互连线的长度比拟。实验表明，在0 3 5 肌工艺的集成电 路中，互连线对信号的产生延迟就已经占到门电路总时延的5 0 以上。因此，在 微波m c m 设计中，传输线的延时效应已经成为提高电路信号处理的速度和容量的 重要因素。 2 ) 畸变( d i s t o r t i o n ) ：由于传输线的色散、损耗、不连续性、终端负载不 匹配以及传输线之间的互相耦合，使信号脉冲通过时产生了波型变化。轻微情况 下将使脉冲的上升时间和下降时间展宽，严重时将使脉冲波形严重变形乃至产生 极性反转，影响电路的正常工作。 3 ) 回波( r e f l e c t i o n ) ：由于传输线之间的不连续性以及端间负载的不匹配 而使信号脉冲产生多次来回的反射，回波信号的幅度可能与工作信号处于同一量 级，引起错误的触发。 4 ) 串扰( c r o s s t a l k ) ：由于多导体之间存在着分布参数的耦合，使脉冲信号 在各线之间产生感应，即所谓的干扰噪声，其相对强度随线间距离、线的长度与 结构以及端接情况而变化。严重时噪声信号幅度也将与工作信号本身处于同一量 级。 除了互连线外，微波m c m 中其他的互连结构如通孔，拐角等也将对系统特性 产生明显的影响，以上这些都已经成为限制信号完整性( s i g n a li n t e g r i t y ) 和系统整体性能的主要因素。 集成电路的互连和封装主要包括以下几个方面的内容： 1 印刷电路板上的互连：印刷电路板( p c b ) 上集成电路单元之间，集总 元件之间的互连也可视作多层布线系统，导线宽度最窄的可在 l0 0 , t t m 以下，最大长度可达几十c 朋。 2 芯片与芯片之间的互连：这主要是指m c m 中的互连和封装。m c m 的 布线可从几层到几十层，互连线的宽度在2 5 , u m 以下，最大长度可 达loc m 。 3 芯片内部的互连：这类互连线的线宽、间距均小于l , u m ，布线的最 第一章引言 大长度如控制、数据总线等则在1 - 2c m 以下。 4 芯片核心与其封装结构输入输出引脚间的互连：由于v l s i 性能的 不断提高，其输入输出端口( t op i n ) 的数量势必不断增加。据统 计，v l s i 芯片封装的面积己占到整个芯片面积的5 0 以上。 综上所述，互连线( i n t e r e o n n e c t i o nl i n e ) 或封装结构( p a c k a g i n gs t r u c t u r e ) 在 当前的高密度、高速度的集成电路分析与设计中占有相当重要的地位。因此，在 系统设计中必须考虑互连与封装结构对集成电路的影响，将互连系统和 电子器件以及单元电路作为一个整体进行考虑。为了保证电路正常工作， 必须将电路的设计与封装特性综合考虑，换言之就是在进行多层布线的同时要考 虑到多层介质多导体系统的影响。 1 _ 2 互连和封装的电磁分析方法概述 下面试就如何对集成电路互连与封装结构进行分析的方法作一论 述。就其本质来讲，大规模集成电路中的互连线无论规模有多大，速度有多高， 其所有电特性仍属于宏观电磁现象，满足支配宏观电磁规律的m a x w e l l 方程组。 因此，与传统的电磁问题的研究方法相同，对互连问题的分析也可分为电磁场方 法和电路方法两类，前者从m a x w e l l 方程组出发，将互连结构等效为二维或三维 的电磁模型，利用全波( f u l lw a v e ) 方法进行分析；后者根据传统的电路概念，把 互连线等效为具有分布参数或集总参数的器件，进行电路模拟。 一、整体的全波分析方法 全波分析方法采用电磁场的数值计算方法，将整个电路视作普通的三 维电磁结构而对电路所在的整个空间离散近似后进行电磁分析。有 代表性的有时域有限差分法( f i n i t ed i f f e r e n c et i m ed o m a i n ，f d t d 圳) 、谱域 法p i j 和直线法p 列。这类方法完全从麦克斯韦方程组出发，在给定边界 条件后原理上可得出电路完整的电磁行为，基本上是对互连系统进行 三维空间的剖分离散，将m a x w e l l 方程组和边界条件离散为线性代数方程 组，直接求解系统的响应。从理论上说，全波分析方法是最根本的方法，适 用于一切宏观电磁问题，因此对于互连问题具有广泛的适用性。但是，由于 涉及三维问题的求解，这种方法的计算量和所用的内存相当大，耗用计算 机资源过大，效率便低，所以目前仅能对规模很小的电路结构进行 分析。研究人员正在为这类方法设计更好的并行分部算法，使它们 的实用性能有较大的提高。 4 第一章引言 二、基于准静态模型的电路网络分析法 尽管严格地讲互连线上传播的信号并非纯粹的t e m 波，但在信 号速率不太高而互连线横截面尺寸又足够小( 目前的互连线满足这 一要求) ，则可认为互连线满足准静态假设。因此基于电报方程传输 线理论可用于互连线的分析，而此时互连线可由分布参数矩阵 r ( 厂) ，c ( ，) ，g ( ，) ，l ( f ) 描述。对于通孔、拐角、非均匀耦合部分和 交叉点等不连续或非均匀部分可按准静态模型提取电磁参数如电 容、电感、电阻等，再将这些集总参数元件以等效电路形式接入传 输线网络。这种方法所能分析的电路在某种程度上还是拓扑的，因 为传输线宏模型之间的耦合被忽略。同时为精确计，作为不连续非 均匀部分单独处理的会越来越多，这样就自然过渡到一种适应面更 广的准静态方法一部分元等效电路( p a r t i a le l e m e n te q u i v a l e n tc i r c u i t ， p e e c ) 法【3 3 ，这种由a e r u e h l i 等提出的方法其基本原理是将所有 导体结构统一划分为若干单元，并提取这些单元的部分参数( 电感、 电容电压系数等) ，再这些集总参数元件按单元间的拓扑关系连接 构成等效电路，然后就可按与普通电路一样的方式交由s p i c e 等通 用电路分析工具分析了。在使用p e e c 法分析电路时若将单元间由 于电波的有限传播速度引起的时延效应也考虑进去，则可精确地处 理直至辐射的高频现象，显然适用范围较通常的准静态方法有了很 大的扩展，而其效率比之全波方法又高许多。不过p e e c 法的单元 划分与波长有关，随着分析频段的提高也必然会出现与全波方法相 似的障碍，但在目前p e e c 法在很多的应用中还是很成功的。基于 准静念假设的电路网络方法可视互连封装结构的具体情况而灵活 运用，它们之间的关系可由下图1 3 说明： 第一章引言 图1 3 用基于准静态模型的电路网络分析方法进行集成电路互连与封装结构的分析 f i g1 3 l f l t e r c o n n e c ta n dp a c k a g i n ga n a l y s i sb yc i r c u i tm e t h o db a s e d0 nq u a s i s t a t i cm o d e 1 3 本文的主要研究工作 通常，信号完整性问题指信号线的互连效应和馈电系统的同步开关噪声。对 于互连效应，在过去研究得较多，但仍然存在一些问题。本文的一部分工作是关 于互连线电特性分析，另一部分工作是关于微波m c m 中的焊接引线( b o n d i n g w i r e ) 的特性分析。具体安排如下： 第二章是关于多层介质多导体互连线的电容和电导参数的提取。具 体方法是用积分方程法( 源区场法) ，首先用镜像电荷法求取了位于三层介 质结构中的格林函数表达式，在此基础上推导了四层介质结构中格林函数的三重 级数的表达式。然后，在数值计算的过程中，当对导体表面进行网格划分时，引 入了层次法的思想，对导体表面的划分网格数目是按照镜像电荷的距离大小和电 量的多少变化的。当距离比较近而且电量比较大时，由于耦合效应比较大所以网 格划分的数目比较多，当距离比较远而且电量比较小时，由于耦合效应比较小， 可以将网格划分的数目减小使得计算的效率在不影响精度的前提下得到提高。本 文用镜像格林函数法结合层次法具体提取了两种多层介质多导体互连线结构的 电容和电导的频变参数。一种是四层介质结构中的二维共面互连线，另一种是四 层介质结构中的三维共面互连线。所得结果和用全电荷格林函数法求得的结果以 及用工具f a s t c a p 所提取的参数结果进行比对。 第三章是对微波m c m 封装结构的电磁场分析。封装是提供芯片与 外部级电路之阳j 信号线和电源线以及接地线的互连。本章基于部分元等 效电路法( p e e c ) ，针对目前广泛使用的互连结构焊接引线，将焊接引线迸 6 第一章引言 网格分割，建立等效电路模型，从而进行电特性分析。 第四章是对未来工作的展望，并且提出了本论文后续工作的方向。 由于水平有限，文中难免有错漏之处，敬请各位老师、同学指正。 参考文献 1 】 微波与高速电路理论李征帆毛军发著上海交通大学出版社 2 】微波与高速电路中的电磁场理论及其数值方法李征帆曹毅著 科学出版社 【3 】p u c k n e l l d a a n de s h r a g h i a n k ，“b a s i cv l s id e s i g ns y s t e m sa n dc i r c u i t s ”， 2 n d e d ，u s a ：p r e n t i c e h a l l ，1 9 8 8 4 林金庭，“集成电路发明4 0 周年”，固体电子学研究与进展 5 】b l o d g e t taja n db a r b o u rdr ，“t h e r m a lc o n d u c t i o nm o d u l e ：ah i g h p e r f o r m a n c ec e r a m i cp a c k a g e ”，i b mj r e s d e v e l o p ，1 9 8 2 ，2 6 ( 1 ) ：3 0 - 3 6 【6 】 s e m i c o n d u c t o ri n d u s t r ya s s o c i a t i o n ，n a t i o n a l t e c h n o l o g yr o a d m a pf o r s e m i c o n d u c t o r s ，19 9 9 f 7 w t w e e k s ， c a l c u l a t i o no fc o e f f i c i e n t so fc a p a c i t a n c eo fm u l t i c o n d u c t o r t r a n s m i s s i o nl i n e si nt h ep r e s e n c eo fad i e l e c t r i ci n t e r f a c e ，”i e e et r a n s ，v 0 1 m t t - 1 8 ，p p 3 5 4 3 ，j a n 1 9 7 0 【8 】李征帆，“大规模集成电路中的互连问题和微波技术，”电子学报，第2 0 卷， 第5 期，p p 6 7 7 3 ，1 9 9 2 【9 】r y a n j g ，g e f f k e n r m ，p o u l i n n r ，e t c ，“t h e e v o l u t i o no f i n t e r c o n n e c t i o nt e c h n o l o g ya ti b m ，”i b mj o u r n a lo fr e s e a r c ha n d d e v e l o p m e n t ，1 9 9 5 ，3 9 ( 4 ) ：3 7 l 3 8 i 1 0 】j a r x i s d b ，“t h e e f f e c t so fi n t e r c o n n e c t i o n so n h i g h s p e e d l o g i c c i r c u i t ，”i e e e t r a n s o n e l e c t r o m a g n e t i cc o m p a t i b i l i t y ， 19 6 3 ， 1 2 ( 1o ) ：4 7 6 - 4 8 3 1 1 c h a n g f y ，“t r a n s i e n ta n a l y s i so fl o s s l e s s c o u p l e dt r a n s m i s s i o n l i n e si n a n o n - h o m o g e n e o u s d i e l e c t r i c m e d i u mi e e et r a n s a c t i o n s o n m i c r o w a v et h e o r ya n dt e c h n i q u e s ，l9 7 0 ，18 ( 9 ) ：6l6 - 6 2 6 7 第一章引言 1 2 】r u e h l i a e ，“s u r v e y o f c o m p u t e r - a i d e d e l e c t r i c a l a n a l y s i s o f i n t e g r a t e dc i r c u i ti n t e r c o n n e c t i o n s ，”i b mj o u r n a lo fr e s e a r c ha n d d e v e l o p m e n t ，19 7 9 ，2 3 ( 6 ) ：6 2 6 - 6 3 9 d3 b a r n a ，v h s i c ( v e r yh i g h - s p e e di n t e g r a t e dc i r c u i t s ) 一t e c h n o l o g i e sa n d t r a d eo f f s ，u s aa n dc a n a d a ：w i l e y ，19 81 1 4 】g r o u d i s a j a n d c h a n g c s ，“c o u p l e dl o s s y t r a n s m i s s i o n l i n e c h a r a c t e r i z a t i o na n ds i m u l a t i o n ，”i b m j o u r n a lo fr e s e a r c ha n d d e v e l o p m e n t ，1 9 8 1 ，2 5 ( 1 ) ：2 5 - 4 1 1 5 1 s e k i s a n d h a s e g a w a h , a n a l y s i so fc r o s s t a l ki nv e r y h i g h s p e e d l s i v l s i u s i n g ac o u p l e dm u l t i c o n d u c t o rm i s m i c r o s t r i p l i n e m o d e l ，i e e et r a n s a c t i o n so nm i c r o w a v e t h e o r y a n d t e c h n i q u e s ，1 9 8 4 ，3 2 ( 1 2 ) ：1 7 1 5 - 1 7 2 0 1 6 】h a s e g a w a h a n d s e k i s , a n a l y s i s o f i n t e r c o n n e c t i o n d e l a y o n v e r y h i g h 。s p e e dl s i v l s ic h i p s u s i n g a nm i s m i c r o s t r i p l i n e m o d e l ，i e e et r a n s a c t i o n so nm i c r o w a v e t h e o r y a n d t e c h n i q u e s ，1 9 8 4 ，3 2 ( 1 2 ) ：1 7 2 l 1 7 2 7 j7 】c a o w ，h a r r i n g t o n r f t ，m a u t z j r ，e t c ，“m u l t i c o n d u c t o r t r a n s m i s s i o n l i n e si n m u l t i l a y e r e d d i e l e c t r i c m e d i a ，”i e e e t r a n s a c t i o n so n m i c r o w a v et h e o r ya n dt e c h n i q u e s ，1 9 8 4 ，3 2 ( 4 ) ：4 3 9 4 5 0 18 1 d j o r d j e v i c a r ，s a r k a r t k a n d h a r r i n g t o n r f ，“a n a l y s i s o f l o s s y t r a n s m i s s i o n l i n e sw i t ha r b i t r a r yn o n l i n e a rt e r m i n a ln e t w o r k s ，i e e e t r a n s a c t i o n so nm i c r o w a v e t h e o r y a n d t e c h n i q u e s ，1 9 8 6 ，3 4 ( 6 ) ： 6 6 0 - 6 6 6 【1 9 】d j o r d j e v i c a r ，s a r k a r t k ，h a r r i n g t o n r f 0 t i m e d o m a i nr e s p o n s eo f m u l t i c o n d u c t o r t r a n s m i s s i o n l i n e s , p r o c e e d i n g o f i e e e ，l9 8 7 ， 7 5 ( 6 ) ：7 4 3 - 7 6 4 【2 0 d j o r d j e v i c a r a n ds a r k a r t k ，“a n a l y s i so f t i m er e s p o n s eo fl o s s y m u l t i c o n d u t o rt r a n s m i s s i o n l i n en e t w o r k ，”i e e et r a n s a c t i o n s o n m i c r o w a v et h e o r ya n dt e c h n i q u e s ，1 9 8 7 ，3 5 ( 1 0 ) ：8 9 8 9 0 7 8 第一章引言 2 l 】t r i p a t h i v k ，a n db u c o l o r j ，“a n a l y s i sa n dm o d e l i n go fm u l t i l e v e l p a r a l l e l a n dc r o s s i n gi n t e r c o n n e c t i o nl i n e s i e e e tt r a n s a c t i o n so n e l e c t r o nd e v i c e s ，19 8 7 ，3 4 ( 3 ) ：6 5 0 6 5 8 2 2 1t r i p a t h i v k a n d h i l l a ，“e q u i v a l e n tc i r c u i tm o d e l i n go fl o s s e sa n d d i s p e r s i o n i n s i n g l e a n d c o u p l e d l i n e sf o r m i c r o w a v ea n d m i l l i m e t e r w a v ei n t e g r a t e d c i r c u i t s ，i e e et r a n s a c t i o n so nm i c r o w a v e t h e o r ya n dt e c h n i q u e s ，1 9 8 8 ，3 6 ( 2 ) ：2 5 6 2 6 2 2 3 】p a l u s i n s k i ，l i a o j c ，p r i n c e j l e t c ，“s i m u l a t i o no ft r a n s i e n t si nv l s i p a c k a g i n gi n t e r c o n n e c t i o n s , i e e e t r a n s a c t i o n so n c o m p o n e n t s ， p a c k a g i n ga n dm a n u f a c t u r i n gt e c h n o l o g y p a r t b ，1 9 9 0 ，1 3 ( 1 ) ：16 0 1 6 6 2 4 1 g r i f f i t h j r a n dn a k h l a m s ，“t i m e - d o m a i na n a l y s i so fl o s s yc o u p l e d t r a n s m i s s i o n l i n e s ，i e e et r a n s a c t i o n so nm i c r o w a v e t h e o r y a n d t e c h n i q u e s ，1 9 9 0 ，3 8 ( 1 0 ) ：9 2 1 9 3 0 1 2 5 1l i a o j c ，p a l u s i n s k i o a a n d p r i n c e j l “c o m p u t a t i o no ft r a n s i e n t s i n l o s s yv l s ip a c k a g i n gi n t e r c o n n e c t i o n s ，i e e et r a n s a c t i o n so n c o m p o n e n t s ，p a c k a g i n g a n d m a n u f a c t u r i n gt e c h n o l o g y p a r t b ，1 9 9 0 ，13 ( 1 2 ) ：8 3 3 - 8 3 8 f 2 6 】d a i w w m ，“g u e s t e d i t o r s i n t r o d u c t i o n ，”i e e et r a n s a c t i o n so n c i r c u