ESD静电防护知识培训课件.ppt

,ESD静电防护培训,1,课程大纲一.ESD定义，原理简介二.如何做好ESD三.公司ESD作业要求,2,ESD是什么意思?,ESD是代表英文：ElectroStaticDischarge。中文：即“静电放电”的意思。,3,一.静电放电现象严寒的冬天，当您脱下暖和的毛衣，您会听到哔哔啪啪声手无意间接触电脑荧幕时被电击一下,是由于电脑电场诱發带了强烈的静电,接触时电脑对人体放电所致干燥的气候里人梳头发时头发顺着梳子移动的方向而飘动云层相互摩擦而带大量的电荷,相互放电形成能量巨大的闪电,对地放电则可能形成雷击,4,主要是摩擦分离、电场感应、直接充电等均会产生静电。由于电子不均匀分怖造成的结果。摩擦起电和人体静电是电子工业中的两大危害。,二.静电的产生,5,静电通常由人产生!身体容易获取静电(电子)皮肤,头发及身体能储存大量的静电你能对零组件放电而产生静电损害,下列情况可增加静电空气干燥走动,跳跃,坐轮椅或转椅等特别是在有蜡纸或毛毯的地方活动的速度(如快走或跑)与接触的材料有关(特别是人工合成材料,塑料及绝缘体),6,物体带电分动电和静电静電是在物体表面固定的(不移动)电荷,其对观察者而言,电荷静止不动或运动非常缓慢.动電则有电荷的快速运动和变化.静电放电的条件是:首先物体表面有静电存在其次要有一定的释放途径静电的特点：高电压，低电量，小电流，作用时间短。可以产生几千伏或上万伏的静电。,三.电的分类,7,静电放电大概可分为:火花放电电晕放电刷状放电大量粉堆放电射状放电等形式放电的强弱与放电的电极、形状、材质、阻抗、数量、湿度、距离、速度均有密切的关系.,四.放电,8,放电与材质阻抗之关系,根据ANSI/ESDS20.20规定，所有材质的阻抗系数定义如下：导电级ConductiveR105SQ防静电级Dissipative(衰减材)106R109SQ抗静电级Anti-Static109R1011SQ绝缘insulation1012R,9,五.静电释放控制,HumanBodyModel人体模式带有静电的操作者在工作过程中与器件的管脚接触,将存贮于人体的静电荷通过器件对地放电致使器件失效,10,MachineModel机器模式带电工具或设备接触组件时,在器件内部将感应出电位差,所感应的电位差可引起器件的击穿,11,ChargedDeviceModel带电组件模式带电的器件(如:DQIC)通过引脚与地接触时,发生对地放电引起器件失效,12,对于工厂,静电会造成:成本增加产品品质降低客户不满意我们的产品尤其产品在关键的时刻不能正常的使用.,No!,13,静电是如何破坏零组件的?,比起从前，现在的零件或产品更小,效率更高但也更脆弱和更敏感!,低于100V的电压就能破坏零组件,而这个电压是我们无法知道和感觉到的!,14,静电破坏的种类,严重损坏：完全失去功能。例如：金属熔化，短路等。局部损坏：部分功能退化。潜在损坏：部分功能退化，使用中继续退化，直到完全失效。暂时失效：数据电路中的功能受到干扰或数据遗失。,15,:,-,-,-,-,16,怎样预防静电的破坏?,假定所有的零件和产品都对静电敏感,如有任何问题,询问主管或组长处理对静电敏感的物体的工作区都要接地,身体是静电的主要来源除非接地储存和搬运所有对静电敏感的物体都需储存在静电箱中以免受到静电破坏,17,防静电器材,包装材料储存和运输材料人体接地材料台垫/地板工衣/手套/手指套工作台/运货推车离子风机,18,如何保护敏感度高的零件?,19,每天检查你的静电设备,每天测试你的手腕带,检查工作台,传送带,静电板必须接地.以防静电积累,下面是员工手册,工具损坏或连接不好会造成静电伤害.,20,每天检查你的静电设备,工具损坏或连接不好会造成静电伤害.,工具损坏或连接不好会造成静电伤害.,只能使用经过批准的静电工具,喷射器,清洁用具和溶剂.如有问题请找拉长或主管.,迅速地向班长或主管回报任何发生的问题,21,储存和运输,确保全部对静电敏感的物件都放在防静电的包装箱(袋)里.只能使用经批准的包装材料.,确保所有的集装箱里面没有其它的物件,如塑料制品.重新使用集装箱前必须进行检查.,22,2019/12/15,23,可编辑,2019/12/15,24,可编辑,表示容易受到ESD损害的电子电气设备或组件.,EPA(ESDProtectionArea)=没有任何材料或活动造成ESDS件有静电损坏风险的工作区.,防静电的标签,25,你能帮助预防静电破坏!,26,静电放电(ESD),谁应该负责任?,我们每个人!,27,六.标准静电压定义,人体可感受的ESD电压都在3,000volts以上,电子界定义当EPA区内静电电压超出100volts时必须做有效的防护措施,28,七.如何控制好ESD,设计上加强组件的免疫力在器件的输入/输出口上多加了一些防静电保护电路,使器件的防静电能力大大提高消除或减少静电的产生尽可能使用防静电材料作为加工的辅助材料安全的释放与中和静电控制各制程段不同材料在使用中保持零电位加强人员ESD防护意识,29,八.静电消除的方法,传导Conduction(导电桌垫静电鞋)遮蔽shelter(静电袋)接地Grounding(设备工具)中和Airionizer(离子风扇)增加环境湿度,30,静电环结构伸缩导线(内含1Mega10%电阻可确保操作者在意外情况下触及线电压时不致发生人身伤害事故)腕带及接头所构成。配带静电环注意事项：(a)静电环腕带之金属片必须与手腕皮肤紧密接触,不可松脱或套于衣袖上(b)为确保1M电阻之有效性,严禁用力拉扯静电环的伸缩导线(c)接头必须固定与ESD接地线裸铜部分且与静电环插座阻抗需低于2,否则不得碰触材料(d)静电环在作业当中严禁擅自借给他人,31,静电环的种类,32,静电环检测仪,33,静电手环接地报警器,34,导电鞋规格:900K35M原理：配合靜电地板将人体通过鞋底与大地构成回路,以使人体产生的静电能向大地泄漏掉;同时还使鞋垫成为静电泄漏的电气回路,35,导电地板规格:2.5*1041.0*106功用:依导电鞋将人体所带之静电有效疏导给地,36,静电衣/帽功能:防止服装的静电积累,宣泄人体与衣服摩擦时所产生的静电,37,导电桌垫规格:上表面绿色摩擦层(106109)下表面黑色导电层(104106)功用:可有效疏导工作台上残留的静电电压可预防电流电压的回流效应注意:使用时严禁将其反面铺设静电桌垫下严禁铺设一切导体材料,38,抗静电材料(袋、托盘、垫等),39,静电周转箱,40,静电接地示意图,41,静电消除器主要参数:距风扇口25mm处离子平衡度低于35V离子风含盖区的静电电压低于200V功用：依借风扇吹出的正负离子来中和自然界的电离子;解决非导体所产生的静电破坏问题.,42,九.防静电标示ESD组件敏感标识:适用于ESD敏感组件之包装袋上ESD防护标识:适用于ESD安全工作站或ESD防护区域(如:静电工作台静电料盒等)ESD公共测试点标识:适用于ESD尾端测试点标记(通常ESD主线尾端接地电阻需小于10)*防静电标示可见度为1米,43,所有工作人员在生产区域必须配戴有线静电环并确实接地后方可接触半导体材料.2.所有生产过程中使用的仪器,设备,加工治具,工作桌等均必须接地以防止漏电伤人,或损坏晶体材料.3.半导体材料在储存,运输等过程中必须使用防静电材料进行包装,所有与ESD相关材料必须贴有任何人均可明了之标签.4.所有静电区域必须用绿色线标示,并要求在30CM的范围其静电电压低于100V.5.所有ESD相关的项目必须点检并保留记录,如静电环的点检为每天二次.6.所有从事ESD相关工作之人员,皆必须接受ESD训练,并经检定考试认证合格者方可从事该项工作,认证有效期为一年,违反ESD两次为认证失效.7.EPA内凡涉及到操作SSD的所有桌面都必须是防静电的桌面,仪表设备/焊接工具/人体等都必须实现接地(并处于等电位);防静电桌面上不得