清洗机原理及设备结构介绍.ppt

清洗机原理及设备结构介绍,清洗目的及环境要求,目的：基板经过切割裂片后，在玻璃表面容易残留玻璃碎屑，清洗的主要目的是在短时间内将玻璃碎屑冲掉，避免玻璃屑重新附着在基板上，造成玻璃异物，不容易去除。环境要求：环境温度：22+2，相对湿度：45%+10%；洁净等级：5000级，与相邻加工区保持微正压，与相邻检查区保持5Pa微负压。,清洗工艺流程,WDT：预湿机CLE1：输入传送带CLE2：盘刷清洗CLE3：超声波清洗CLE4：二流体清洗1CLE5：滚刷清洗CLE6：二流体清洗2CLE7：最终喷淋CLE8：风刀干燥CLE9：输出传送带,WDT预湿机,预湿机的作用：对玻璃进行预湿；对研磨后的玻璃进行抽检；投入玻璃进行二次清洗。预湿机的结构：机架、传送滚轮、喷淋装置、护罩、水槽、升降机构。水平传送滚轮（小滚轮）：直径60mm。抽检传送滚轮（大滚轮）：直径150mm。小滚轮材质：UPE。大滚轮材质：POM。升降机构是由气缸带动机架升降，旁边有4个导向轴，上面是大滚轮。喷淋管上面7排，下面2排水管，由1#水箱供水。共有4个传感器：入口、出口、中间两侧。,超高分子链聚乙烯,聚甲醛,DWT抽检,（1）水平传送部分：通过电机减速机带动大滚轮转动，水平传送与预湿机连接处设有小滚轮过渡。（2）翻转部分：通过左右端2个汽缸带动齿条直线运动来带动齿轮转动，从而带动机架翻转73，（翻转架子上装有2个光电传感器检测玻璃），架子下部设有2个缓冲器。,预湿机及DWT抽检示意图,进入传感器,抽检传感器,二次投入传感器,大滚轮,输出传感器,过渡小滚轮,翻转架,对射光电传感器,玻璃输入,玻璃输出,抽检玻璃输出投入,预湿机抽检传送流程,预湿机抽检传送动作流程：玻璃通过预湿机需要抽检时，经过入口磁性传感器传送带开始减速，当玻璃经过中间一侧的磁性传感器时，传送滚轮停止，同时气缸带动机架上升20mm停止，垂直传送滚轮开始运行，此传感器检测到玻璃离开后，机架开始下降，回到原位，水平传送带又开始水平输送玻璃。,输入传送带（CLE1）,（1）传送带设有定位装置，两侧各1个汽缸定位玻璃。（2）滚轮的材质是尼龙，挡边轮材质是UPE。（3）设有2组滚刷，上下各2排，滚刷转动方向与玻璃前进方向相反。（4）传送带出口处设有1组海绵滚筒，抹干玻璃上的水份。（5）喷淋用的是6#水箱的水，水经10m过滤器进行过滤。工作原理：玻璃进入输送传送带，上下各7排喷淋系统对玻璃进行初始清洗，三菱的变频电机驱动轴上的斜齿轮组来带动传送带，当磁性传感器检查到玻璃通过时，两侧的汽缸驱动定位块对玻璃定位，来矫正玻璃的位置。,输入传送带结构示意图,其结构示意图如下：,磁性传感器,盘刷清洗（CLE2）,设备结构：盘刷区共有4组盘刷，盘刷的间距和转速都可以调节。盘刷区还有喷淋装置，喷淋装置上的喷嘴方向可以调节，上有压力表和调节阀门，还有观测流量计。盘刷清洗水需加入清洗剂，由2，3#水箱（一用一备）提供，由于加入了清洗剂废水不能被其他区域利用，只能自身循环利用，且水需要加热到4045。清洗剂：PK-LCG211，水的PH值为1214。,盘刷清洗,刷毛：=0.1mm，尼龙材质。上下盘刷：交叉12mm。升降调节方式：锥齿轮+螺旋升降+前后同步。驱动方式：交流变频电机（滚轮驱动），盘刷轴驱动为直流电机。盘刷：直径85mm。转速：200300r/min（可调）。,盘刷传送带示意图,盘刷,盘刷,盘刷清洗水箱示意图（CLE3）,高液位传感器,低液位传感器,浓度测量仪,温度传感器,加热管,取样管,超声波清洗（CLE4）,超声波介绍：（1）有7个振板，每个振板共有16个振子,每个振子功率50W。（2）超声波发生的频率为40-90KHZ。频率、功率可调。（3）水箱有两个一用一备（4#、5#水箱）。（4）水箱有加热装置、浓度、温度传感器。（5）水箱中有4个浮球式传感器检测液位。（6）强碱性清洗剂，PH值12-14。（7）1个清洗剂箱。注：玻璃是浸泡在水中进行传送和清洗的。,超声波传送带示意图,由超声波发生器发出的高频振荡信号，通过换能器转换成高频机械振荡而传播到介质清洗溶剂中，超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射，使液体流动而产生数以万计的直径为50m-500m的微小气泡，这些气泡在超声波纵向传播的负压区形成、生长，而在正压区迅速闭合，在这种被称之为空穴作用的过程中，气泡闭合可形成几百度的高温和超过1000个气压的瞬间高压，连续不断产生瞬间高压就像一连串小“爆炸”不断地冲击物体表面，使物体的表面及缝隙中的污垢迅速剥落，从而达到物件表面净化的目的。,超声波水槽,注：水槽内有两个液位器，以保证水的液面超过玻璃的表面，玻璃浸泡在水中清洗B面。,二流体一清洗（CLE5）,二流体清洗介绍：（1）二流体组成:洁净压缩空气（CDA）和纯水（DIWater）的混合体。（2）CDA过滤器0.01um、DIWater过滤器1.2um。（3）上下各1个二流体喷淋体，长度830mm，二流体喷体上进入处有5个孔，分别通入CDA和DIWater，喷口处为0.1mm液刀口。（4）玻璃通过二流体清洗后，有喷淋管对玻璃进行清洗，上面有4排喷水管，下面有3排喷水管，每排6个喷嘴。（5）二流体1清洗用水利用的滚刷使用后的废水，7号水箱供水；二流体2利用的是最终喷淋使用后的废水，9号水箱供水。,通气,通水,170mm,二流体一喷淋体结构示意图,倾斜约10，倾斜角度可调。,滚刷清洗（CLE6）,滚刷段介绍：一共设有3组滚刷，上下有各7排喷淋嘴。滚刷上、下间距可调。设有一个水箱，供水管安装有0.45m过滤器，装有4个光电液位传感器。清洗水是利用二流体2使用后的废水，8号水箱供水。滚刷转速：400500r/min。,19,二流体二清洗（CLE6）,二流体二清洗介绍：二流体清洗大于2m的污染物二流体组成:洁净压缩空气（CDA）和纯水（DIWater）的混合体，上下二流体喷嘴间距80mm左右。二流体二上面4排下面3排喷淋管。上下各1个二流体喷淋体，二流体喷体上进入处有5个孔，分别通入CDA和DIWater，喷口处为0.1mm液刀口。二流体二利用的是最终喷淋使用后的水，9号水箱供水。,二流体喷体,CDA,DIWater,最终喷淋（CLE7）,最终喷淋介绍：（1）液刀的作用是把玻璃表面上多余的水切出，液刀在喷淋的末端。（2）喷淋装置上面6排喷嘴，下面有5排喷嘴。（3）10#水箱供水，供水管道安装有0.2m过滤器，水箱安装有加热装置，有温度传感器，装有4个光电液位传感器。（4）清洗是18M超纯水，温度要求40-45。（5）用过的超纯水经过滤后供二流体2使用。,风刀干燥（CLE8）,风刀干燥介绍：（1）有两组风刀，风刀结构类似于液刀，上下各有一把风刀，刀风口0.1mm；（2）风刀角可调，每片上都有四个进风口，风刀与水平面的夹角20。（3）为了避免风刀吹出的高速气流在该区产生涡流，在区域上安装了EFU高效空气过滤器，向下面吹过滤空气，防止该区产生涡流。,EFU结构,EFU结构示意图：,风刀,风扇,HEPA过滤器,风刀干燥结构示意图,由于两组风刀对滚轮轴有一定的阻隔，所以滚轮传输需要两根驱动轴,回风管,输出传送带（CLE9）,该区和输入传送带一样设有气缸定位装置，另一个功能是设有离子风棒去除玻璃表面的静电，离子风泵采用的是放电针放电，正负两种电荷交替使用在玻璃表面中和静电离子，达到去静电的目的。离子风泵采用洁净压缩空气供气。,清洗机供水及抽雾示意图,循环水系统,纯水循环利用：10#水箱供给最终喷淋最终喷淋回水9#水箱9#水箱供给二流体二二流体二回水8#水箱8#水箱供给滚刷滚刷回水回水7#水箱7#水箱供给二流体一二流体一回水6#水箱6#水箱供给输入传送带输入传送带回水1#水箱1#水箱供给预湿机4#5#水箱供给超声波2#3#水箱供给水箱供给盘刷超声波盘刷各有一个清洗剂补给箱水箱