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1 XG C06HR芯片表面工艺质量改进 新光精进QC小组发布人 于坤鹏课题类型 改进型 2 公司概况 天津中环新光科技有限公司是天津中环电子信息集团有限公司的全资子公司 公司坐落于天津市西青微电子工业区 公司由中环集团承接天津市科学技术委员会的二十项重大项目之一而成立 于2008年3月底注册 一期工程中环集团投资3000万元人民币 市财政支持1000万人民币 二期工程中环集团投资7000万人民币 公司拥有雄厚的技术实力 技术团队由多名从事LED材料外延的中科院物理研究所外延专家领衔 带领多名博士 硕士进行外延以及芯片技术的研发和生产 公司采用国际先进的美国进口外延炉 MOCVD设备 生产LED外延片 现主要生产红 橙 黄以及黄绿光等各种规格的AlGaInP四元系 2英寸 4英寸 LED外延片和芯片 3 主要产品及生产设备 4 一 团队概况 表1 5 表2 6 二 XG C06HR表面工艺改进课题介绍 XG C06HR芯片特征图片 XG C06HR芯片表面工艺问题的发现 芯片宏观和微观图片 XG C06HR芯片是中环新光生产的一款特种红光LED芯片 业内这种芯片的特点是产出率高 打线粘合度强和功率均衡等 而支撑这些独有特点的关键之一就是 表面 表面有划伤或缺失等不良导致产出率低 表面不饱满不圆润会导致客户使用时打线粘合度弱 表面形状不规则就会导致电流扩散不均匀 从而影响输出光功率的均衡性 由于工艺上的原因 XG C06HR这款产品制作过程中 表面 的种种缺陷直接降低了该产品的产品质量和产出数量 由此产生了本次QC课题 7 表3 为了使活动顺利进行 团队制定了周密的活动计划 8 三 课题的选定过程要改 3 1选题及选定理由 团队能力分析 急迫性分析 效果性分析 重要性分析 分析方法是 10个成员投票选出四个要素中三种问题的关键性 9 综合以上四种要素 无论从哪个评价项目来看 改善 表面不良 都是首当其冲的 表4 10 四 现状调查 2013年2月到3月2000片工件产出芯片表面不良统计概况 1K等于1000颗芯片 表5 要改 11 2013年2月到3月100片工件产出芯片电极不良统计概况 要改 12 五 设定课题改善目标 图1 改善目标值 图表数值以1k为单位 1k等于一千颗 13 六 要因解析 6 1工艺流程简介 匀胶 显影 贴膜 合金 刻蚀 曝光 去胶 切割 镜检 图2 14 6 2原因分析 电极不良 人 机 环 法 料 净服穿戴不整齐 贴膜机划伤电极 镜检造成划伤 取放片方法有问题 匀胶台转速异常导致胶膜不均 吹干方法不合理 入职培训没做好 工件运输方式错误导致电极划伤 试剂溶液有质量问题导致过刻蚀 光刻胶质量问题导致掩胶脱落 气压轴偏离导致粘胶 掩模板损伤导致电极损伤 温湿度不均衡导致电极脱落 治具不干净导致电极污染 压紧面板过硬导致曝光不均 图3 未按照标准作业指导作业 15 6 3要因确认 16 17 18 要因确认 一 净服穿戴不整齐 调用进厂摄像扫描记录 检查净服 防尘鞋 人体裸露面积 口罩 手套是否达到进厂区标准 不符合标准的是否有ALARM 如果有ALARM是否及时制止并处理为OK 图表显示监控严密全部净服穿戴整洁 19 要因确认 二 入职培训没做好 基本素质筛选 进厂教育 方向性岗位培训 岗位分配 颁发上岗资质 上岗工作 一级筛选通过 二级筛选通过 考试合格 简历符合 1 安全教育2 员工守则3 质量观念4 岗位认知5 职业健康 1 匀胶站标准作业2 曝光站标准作业3 贴膜站标准作业4 镜检站标准作业 全体员工具备上岗资格 20 要因确认 三 未按照标准作业指导作业 调查各工艺站工作过程与 标准作业指导书 做对照 按照工艺流程逐个签字确认 与作业指导书要求契合度99 8 除员工操作手法有细微差别外 其他部分全部按照标准作业指导书来操作 21 要因确认 四 贴膜机划伤电极 回查贴膜后检查记录 检查贴膜机表面是否有破损污染等情况 大部分工件都有较严重划伤 贴膜机表面镀层较严重磨损 缺贴膜机图片 要因 22 要因确认 五 匀胶台转速异常导致胶膜不均 三个阶段的参数均处于正常波动状态 23 要因确认 六 检查掩模板缺陷 掩模板28 缺陷 要因 24 要因确认 七 压紧面板过硬 缺一个图 硬接触导致两个面板之间微小缝隙无法调平 从而发生了一侧挤压力过大导致的粘胶 粘胶使电极残缺 要因 25 要因确认 八 检测气压轴是否偏离 八个端子高度差低于0 02mm 表示气压轴没有偏离 运转良好 气压轴工作原理是 采用八个端子之间的互相制约作用 达到微调气压轴水平的效果 八个端子间高度差小于0 02mm表明水平良好 从而判断不会造成曝光粘胶等不良 保证电极完整 26 要因确认 九 十 试剂质量问题导致光刻不良 第三方机构出示的质量检验合格报告 化学药品试剂合格 非要因 27 要因确认 十一 工件运输方式错误导致划伤 缺单个外延划伤图 划伤面积达到了5 7 要因 28 要因确认 十二 吹干方法问题导致电极变黑 手动氮气吹干 29 要因确认 二 入职培训没做好 30 要因确认 二 入职培训没做好 31 要因确认 二 入职培训没做好 32 要因确认 二 入职培训没做好 33 七 活动计划 制订计划常用的QC工具 调查表简易图表系统图矩阵图PDPC法矢线图优选法正交实验法 34 八 计划实施 对即将采取的对策与措施从可行性 经济性 效益性等方面进行严格评估与筛选 以确定最佳实施方案 实施周期和相对应负责人 35 八 计划实施 措施实施1 措施实施2 实施过程中如出现残留问题或出现的新问题 要重新进行要因分析 制定对策并实施 按PDCA循环 36 九 效果确认 改善后数据收集 效果确认常用的QC工具 调查表简易图表排列图直方图控制图散布图 采取了一系列的措施之后 通过图表 数据的统计 一目了然 37 九 效果确认 改善目标的达成情况 改善前 改善后 说明 通过图表的使用 改善前后的情况一目了然 38 九 效果确认 有形效果改善前 后比较 39 九 效果确认 无形效果改善前 后比较 每一项满分为5分 40 十 标准化 改进措施手册化 规格规范化 作业方法标准化 制定一套任何人来做 都不会出差错的作业安排和作业流程 标准化常用的QC工具