真空常用数据及单位换算.doc

1、真空的定义 真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态2、真空度 处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。3、真空度单位 通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。1托1/760大气压1毫米汞柱4、托与帕的转换 1托133.322帕或1帕7.510-3托5、平均自由程 作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“”表示。6、流量 单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕升/秒（PaL/s）或托升/秒（TorrL/s）。7、流导 表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”。 UQ/(P2- P1)8、压力或压强 气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。9、标准大气压 压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。10、极限真空 真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。11、抽气速率 在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即SpQ/（PP0）真空常用数据及单位换算1、真空区域划分真空区域 压强范围 托(Torr) 帕(Pa) 低真空 76010 1013251333 中真空 1010-3 13331.3310-1 高真空 10-310-8 1.3310-110-6 超高真空 10-810-12 10-610-10 极高真空 10-12 10-10 3、重量：公斤-磅-央士对照表单位 公斤(kg) 英磅(Ib) 央士(oz) 1公斤 1 2.2 35.27 1磅 0.45 1 16 1央士 0.03 0.06 1 4、各种真空计及规管对照表真空计名称 电阻真空计 热偶真空计 1.热阴极电离真空计2.压强自动控制仪 冷阴极碰控真空计 中真空计 超高真空计 规管名称 电阻规管 热偶规管 电离规管 冷阴极规管 中真空规管 B-A规管 规管型号 ZJ-52T ZJ-51(DL-3)ZJ-53 ZJ-27(DL-9)ZJ-2(DL-2)ZJ-10(DL-5) M014 DL-5DL-8 ZJ-32ZJ-32BCZJ-12 5、绝对温度、摄氏、华氏温度对照表温度形式 K(绝对温度) (摄氏) F(华氏) K(绝对温度) 1 +273.15 5/9(F+459.67) (摄氏) K-273.15 1 5/9(F-32) F(华氏) 9/5(K-459.67) 9/5(+32) 1 6、抽气速率单位换算表单位 立方米/秒(m3/s) 升/秒(L/s) 立方米/小时 立方英尺/分 1立方米/秒(1m3/s) 1 1000 3600 2118.88 1升/秒(1L/s) 10-3 1 3.6 2.119 1立方米/小时(1m3/h) 2.7810-4 0.278 1 0.59 1立方英尺/分(1cft/min) 4.7210-4 0.47 1.69 1 7、各种水的电阻率(欧姆)水 海水 劣质自来水 优质自来水 蒸馏水 超净水 电阻率 1010-2 103 104105 106 1071088、20空气在不同压强下的分子平均自由程P(托) 1 10-3 10-4 10-5 10-6 10-9 (厘米) 4.7210-3 4.72 47.2 472 4720 4.721069、常用压强单位换算表帕Pa 托Torr 微米汞柱mHg微巴bar毫巴mbar大气压atm工程大气压am英寸汞柱inHg 磅/英寸2lb/in2 1 Pa17.510-37.51010-29.8692310-6 1.01971052.95310-41.45010-41 Torr133.3211031333.21.33321.3157910-3 1.359510-33.93710-21.93410-21 mHg0.1333210-311.33321.333210-3 1.3157910-61.359510-63.93710-51.93410-51 bar10-17.510-47.510-1110-39.8692310-7 1.019710-62.95310-51.45010-51 mbar1027.510-17.510210319.8692310-4 1.019710-32.95310-21.45010-21 atm1013257607601031013.25103 1013.2511.033329.92114.6961 am98066.3735.56735.56103 98066398066310-3 0.967839128.95914.2231 inHg338625.425.41033.38610433.863.34210-2 3.45310-214.91210-11 lb/in2 689551.71551.715103 6.89510468.956.80510-2 7.03110-22.086110、不同压强下空气分子密度P(托) 1 10-3 10-4 10-5 10-6 10-9 n0(个/厘米3) 41016 41013 41012 41011 41010 4107 11、真空油脂的主要性能名称成分20时饱和蒸气压(托) 最高使用温度()2#高分子碳3.110-8303# 氧化合物10-9354# 皂基脂10-710-81307501 硅油加硅粉10-6以下-40+20012、力单位的换算达因(Dyn)牛顿(N) 斯坦公斤力(kgf)110-510-81.0210-613、功率单位换算单位马力千瓦瓦马力(PS)10.735735千瓦(kW）1.3611000瓦(W)1.360.001114、真空封膏特性真空脂名称 真空封脂真空封泥508030温度50803010-710-8托10-710-8托510-4托15、各种橡胶特性表橡胶种类 天然橡胶丁基橡胶丁腈橡胶氟橡胶特性1耐水性，耐酸性，耐碱性良好渗透率小耐油良好23型耐强酸特性2出气量较大升华严重弹性较好26型渗透率低出气率小真空范围1105托107托108托10-8托温度30803015030120-2020016、面积单位换算平方米(m2) 平方厘米(cm2) 平方毫米(mm2) 平方市尺(sc2) 平方英尺(ft2) 平方英寸(in2) 1 10000 1000000 9 10.7639 1550 17、容积单位换算立方米升立方市尺英加仑美加仑(液体)立方英尺立方英寸日升1 1000 27 219.98 264.18 35.3147 0.06103 554.37 18、1号真空机械泵油的主要性能指标项目运动粘离(厘泊) 闪点()饱和蒸汽压20时(托)比重(克/厘米3)分子量(克) KK-1 50时(4757)100时(811) 不低于15不高于410-50.86333 19、国产扩散泵油性能指标牌号1#2#3#274硅油275硅油饱和蒸气压(托)20不大于410-8210-8210-8210-81.710-8运动粘度(厘泊)45605565688038316520凝固点()不高于-15-15-15-10-14-18闪点()不低于230230230210243比重(克/厘米2)1.051.081.090.02 20、真空泵的种类及其工作范围真空泵工作范围(托)真空泵工作范围(托)旋片真空泵760510-4往复真空泵76010-2滑阀真空泵760510-3吸附泵76010-4油增压泵10-110-4溅射离子泵10-410-10罗茨真空泵10-110-4钛升华泵10-310-10油扩散泵10-3510-7分子泵10-310-10水环真空泵76025低温泵10-310-1021、水在各种温度下的饱和蒸气压温度蒸汽压mmHg温度蒸汽压mmHg温度蒸汽压mmHg温度蒸汽压mmHg温度蒸汽压mmHg-200.77256.543031.8255118.080355.1-190.8567.013133.7056123.881369.7-180.93577.513235.6657129.882384.9-171.02788.053337.7358136.183400.6-161.12898.613439.9059142.684416.8-151.238109.213542.1860149.485433.6-141.357119.843644.5661156.486450.9-131.4861210.523747.0762163.887468.7-121.6271311.233849.6563171.488487.1-111.7801411.993952.4464179.389506.1-101.9461512.794055.3265187.590525.8-92.2151613.634158.3466196.191546.1-82.3211714.534261.5067205.092567.0-72.5321815.484364.8068214.293588.6-62.7611916.484468.2669223.794610.9-53.0082017.544571.8870233.795633.9-43.2762118.654675.6571243.996657.6-33.5662219.834779.6072254.697682.1-23.8792321.074883.7173265.798707.3-14.2162422.384988.0274277.299733.204.5792523.765092.5175289.1100760.014.9302625.215197.2076301.425.2902726.7452102.177314.1 35.6902828.3553107.278327.346.102930.0454112.579341.022、一些物质的熔点、熔解热、沸点和汽化热物质熔点（）熔解热（Cal/g)沸点（）汽化热（Cal/g）酒精-11423.5478204二硫化碳-11245.346.2584氨-77.781.3-33327松节油-1080160-冰080100539萘803321850.5生铁110012008245093一氧化碳-20046.68-190263醋酸16.616.4118.3104甲醇-97.120.9564.794苯胺-6.2430.24184.3124苯5.4882.2丙酮-96.556.1罗茨真空泵的工作原理 罗茨泵的结构如图所示。在泵腔内，有二个8字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。 罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从吸气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突