超纯水设备过滤原理详解.pptx

超纯水设备过滤原理详解 在半导体工业中 超纯水被用在晶圆的清洁和蚀刻上 尤其是晶圆残渣 它是造成晶圆工厂中超纯水大量消耗的主要原因 在制药工业中 高纯度的水可以做为产品的成分之一 也可以在生产加工中使用 洁净室洗烫业尽管只占整个超纯水市场的一小部分份额 但是在洁净室市场中 他们却是超纯水的一个主要用户 其他对超纯水有使用要求的工业领域包括液晶显示器 生物技术以及实验室业务 在先进国家购买净水设备时 厂商会随机附送安装及操作 维护手册 民众仅需依照手册上所说明的事项操作即可 而认证单位 在美国是国家卫生基金会 NSF 会依照净水设备种类及其相关文件进行测试 合于标准的净水设备才给予认证 在国内则应以通过中国国家标准方法 CNS 的认证才是好的净水设备 且民众应找具有完善操作及维护手册及良好售后服务的净水设备厂商购买净水设备 每一种净水设备均非万能 购买前应先了解净水设备功能与当地自来水的水质状况 以免浪费金钱而又得不到预期的效果 例如某些水质并不适用于逆渗透法 在水中含氯或铁过高 可能会造成薄膜受损 又如果水中含铁过高 则会损及紫外线杀菌净水设备的效果 此外 使用净水设备时进水温度应避免过高 许多净水设备或滤心在温度高时 处理效果变差 材料也会受损并减少使用寿命 在新使用的滤心型净水设备或净水单元时 包括活性碳净水设备及阳离子交换树脂软水器 应先使用清水浸泡过至少15分钟以上 或以清水冲洗 以去除滤心中之杂质 以逆渗透净水系统而言 前置活性碳滤心及逆渗透膜各约需使用20公升左右的水冲洗 以去除碳粒及逆渗透膜保存液 个典型的200mm晶片厂每个月生产近40 000个晶片 每天需要2 3百万加仑水 其中百分之七十的水用来生产超净高纯水 UHPW 这也是晶圆清洁处理的一部分 这些水大部分都被循环再利用 或是回收后用于工厂的其他领域 大约百分之二十的水用做其他非超净高纯水的用途 例如用于冷却塔和热交换器 剩下百分之十的水用在工厂中与加工过程无关的部分 例如 草地 盥洗室和洒水系统 制药业使用的注射用水 WFI 是经过进一步提纯的 用于医学产品和制药洁净室的清洗 CIP WFI水是通过蒸馏或反渗透得到的 洁净室洗烫业开发出了许多不同的衣服清洁方法 用来处理被人体的油污 污垢 棉绒以及化学着色污染的衣服 只留下非常少的表面残留物 这些开发大多数都是有专利的 尤其是水 或溶剂 抛光 洗涤用的化学药品和配方 其它的进步是由于洗烫环境发展到了现代洁净室水平而出现的 穿整套洁净外套的工人 经HEPA过滤的房间和干燥的空气 不易脱落的房间和工作表面 隔离式洗衣机 BARRIERWASHER 封袋机以及在处理和传输过程中对衣服的保护 都对洁净室服装的质量产生影响 洁净室洗烫最基本的要求是 他们的清洁设备要和使用服装的洁净室的清洁设备一样好或是更好 这就必须使用高纯度的水 典型的半导体工业超纯水系统包括反渗透 离子交换 控制仪器 除气设备 过滤设备 水泵 阀门 储存 管路和消毒 超纯水系统的每个组成部分都一直保持高度的纯洁是至关重要的 净水设备滤心的更换频率 通常可由厂商提供的操作维护手册中得知 但必须注意通常厂商所用的水质条件及产水量是在标准的状况下 使用者必须注意当地的水质状况及每天用水量是否与厂商资料不同 如果原水中污染物浓度愈高 用水量愈大 则更换滤心换频率应愈高 使用者必须特别注意 即使滤心更换时间未到 但清水水质明显变化 口感变差或系统的产水量降低 则必须检查可能造成的原因 例如管线连接不当 管线或滤心破裂 必要时必须更换管线或滤心 此外 逆渗透净水设备前置粒状物滤心更换时机除操作说明书上机外 若由肉眼判断滤心已严重变成土黄色时 应考虑更换 一般而言 自来水水质较硬的地区 如南部地区 其清洗频率要比软水地区为高 部分厂牌的蒸馏水机有使用前置或后置活性碳滤心 此部分滤心也有一定使用寿命 必须参考使用说明定期更换 为减少吸入过多水中挥发性气体 操作蒸馏水机时在煮沸过程中 尽量避免接近机器的废气孔 在用一般开饮机或电热水瓶 甚至于烧开水时 也必须注意这一点 比较复杂的净水设备 例如逆渗透净水设备系统 可委托厂商三个月至半年维护一次 自行维修或更换滤心耗材时 在拆下管线或零件时 可先在管线或零件上作记号 以保证重新连接时可以接到正确位置 新逆渗透系统机器或刚更换滤心的机器 应打开水龙头 使水流出并排放掉一