真空测量习题.doc

复 习 题1. 解释下式名词术语： 真空计，绝对真空计，相对真空计，直接测量， 间接测量。 解释质谱计的如下性能参数： 质量范围，分辨能力，灵敏度，最小可检分压力，分压比灵敏度2. 选择真空计的主要原则是哪些？3. 降低U型计的测量下限有哪些措施及方法?4. 说明压缩式真空计的测量范围及扩展其测量上、下限的措施。5. 试以真空中热丝的三种换热方式说明热传导真空计的工作原理。 6. 说明影响热传导真空计测量上、下限的因素，如何扩展其压力测量范围？7. 热传导真空计的优缺点是什么？ 8. 气体种类不同对热传导真空计测量的影响是什么? 9. 一台电离真空计的发射电流Ie5mA，在压力p=110-3Pa的H2中测得离子流Ii3.7510 -7A，若电离计对H2的相对灵敏度为0.5，试求在p = 110 4 Pa的N2气时可测得的离子流。10. 一台电离真空计使用DL-2型规管，当被测气体是空气，且压力p=110 -2Pa时，测得离子流Ii = 7.510 -6A, 求规管对空气的规系数K是多少? (发射电流Ie = 5mA) 若He气相对于空气的相对灵敏度Sr = 0.17，求DL-2规管对He气的规系数KHe 。11. 一台来启封的DL-2电离真空规，当用电离真空计电源对其进行测试时，发现读数并不稳定，起初读数越来越大，测了几小时以后读数越来越小。请解释这一现象。12. 一台B-A型电离真空计，其发射电流Ie =100mA，在压力p=1l0-5Pa时测得的离子流Ii1.1l0-11A，求此时规管中每个电子平均产生的离子流。13. 说明下列真空计的工作原理、特点及压力测量范围：弹性元件真空计；电容式薄膜真空计；振膜式真空计；放射性电离真空计。14. 一台四极质谱计的高频电压频率f = 3MHz，四极场场半径r04mm，试求质量范围为1100u时所对应的U、V值。15. 试述回旋质谱计、射频质谱计和飞行时间质谱计的质量分离原理。 16. 某膨胀法校准系统, 校准室容积V=2500cm3，内部已抽至110-4 Pa真空，传递阀容积Vs =1cm3 ，为了使被校的热导规在第一次膨胀后压力正好为110-1 Pa，求与传递阀相连的稳压室的初始压力。17. 说明动态流导法的校准原理及特点，并绘图说明。18. 导致电离真空计测量误差的主要因素有哪些? 如何减小其影响？19. 一台真空镀膜机，真空室出口处系统对其有效抽速为150L /s，要求真空室工作压力为110-3Pa，求此镀膜机最大允许漏率。20. 一只电子管的容积V = 0.1L，封离时的压力为110-4Pa，假设内部没有放气源也没安装消气剂，经过1000h之后管内压力不应高于110-3Pa，则该电子管所允许的最大漏率为多少? 1.解释术语：气密性，漏孔，最佳检漏灵敏度，有效检漏灵敏度，真空法检漏，充压法检漏，背压法检漏，标准漏孔。2.如何以静态升压法判断系统漏气？3.漏孔漏率是如何定义的？4.试述以下检漏方法的原理、特点及最小可检漏率：气泡检漏法，氨检漏法，真空计检漏法，离子泵检漏法。5.为什么用质谱计检漏时多用He作探索气体？6.试述氦质谱检漏仪的质谱室结构、电气线路框图、真空系统的组成元件及功能。7.试述氦质谱检漏仪的检漏方法及其检漏灵敏度。8.试述火花检漏仪、卤素检漏仪的结构、工作原理和特点。9.有一台单级180o磁偏转型氦质谱检漏仪，磁分析器离子轨道半径R3cm，加速电压调节范围为10