WDM一些基础原理.ppt

有角度入射Filter分析 1 中心波长偏移 1 SINQin N等效 SINQtnhcosQt 波长 4N等效 1 1 NL NH NL NH 2 简略值 Qin ASIN N等效 1 0度波长 角度波长 2 1 2 2 2度 0度 用软件模拟角度偏移 软件模拟结果 实测值为0 46 双G lens 双C lens G C 一 根据工作波长确定干涉腔深度 SPEC要求 1440 0 1640 0nm 单腔 基材HLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHL空气 100G膜系设计 单腔 基材HLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHL空气 二 双腔 双腔 基材HLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHL空气 单腔 双腔 虽然双腔比单腔的干涉效果已好很多 但是透射带不够平坦 依然无法使用 三 三腔 无基材单腔实际是不可能存在的 设双腔反射曲线R1 无基材反射曲线R2 则合成后的三腔反射曲线R3 R3 1 T 1 1 R1 1 R2 1 R1 R2 0 5 2 三腔 基材HLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHL空气 四 四腔 为了提高隔离度 需要再加一个腔 四腔雏形 基材HLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHL空气 设三腔反射曲线R1 无基材反射曲线R2 则合成后的四腔反射曲线R3 R3 1 T 1 1 R1 1 R2 1 R1 R2 0 5 2 反射隔离度只有7dB 透射ripple 0 7dB 30dB BW 2nm 四腔雏形 基材HLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHL空气修正后四腔 基材HLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHL0 66H0 66L空气增加HL对数层可以压缩带宽 提高隔离度 0 66H0 66L是匹配层 可以减少空气失配 降低透射Ripple 提高反射隔离度 修正后透射ripple 0 02dB 真正商用化的100G膜系至少5腔以上 五 五腔 五腔透射ripple 0 06dB 五腔 基材HLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLHLH8LHLHLHLHLHLHLHL0 7H0 56L空气 匹配层的作用是减少无基材单腔膜系的空气失配 提高其透射率与隔离度 更加接近四腔的图形 近而相交于四个点 形成四个透射尖峰 对抑制Ripple立竿见影 BPF的Filter 看其反射隔离度的尖峰数目就可以看得出其腔的数目 一 根据客户要求的隔离度确定对数层HL个数 LH n是截止类Filter的原始膜系 n表示层数 层数越多 透射隔离度越好 即反透射拐点愈近 但是透射带波纹以及反射隔离度会愈加恶化 无法使用 LPF膜系设计 0 5HL0 5H N适合做LPF器件 0 5LH0 5L N适合做SPF器件 二 通过添加H 2即 8层初步消波纹 波纹明显改善 但还是无法接受 三 添加匹配层 进一步减小通带波纹 基材1 158L1 09H0 538L0 722H0 699L1 165H1 477L 0 5HL0 5H 181 412L1 115H1 166L0 979H0 532L0 865H2 165L空气 匹配层可以交给软件来计算 将透射带波长与目标插损告诉软件即可 但要给出足够的匹配层数 如果想把LPF做得更陡 0 5HL0 5H NN必须不断增加 结果又需要更多的匹配层去补救透射RIP与反射IS 因此 Filter价格必然蹭蹭往上涨 匹配层的作用 以较简单的0 5HL0 5H为例 小弟辞职后自己买了台镀膜机 混口饭吃 有单就做 不挑剔 希望结交朋友 镀膜打样免费 只要膜系不是太难 QQ 412548152SKYPE jiahao1985312 后面是个人广告 内容绝非恶俗 您可以不看的 出来混都不容易 请不要恶评哈 镀膜 四线 三线三角 三线平行 粗磨 抛光 待镀膜 端面检查 1 玻璃光纤Pigtail不像跳线对面型的要求那么严格 采用国产中心机即可 2 采用30um 4min 3um 4min 抛光 6min 3步制程 并在40倍显微镜下全检 机器配置 1 本底真空3 10 3 分子泵系统 腔体不返油 2 晶控仪 监控精度0 1nm 1A 3 考夫曼离子源 增固 冷镀 膜系设计 膜系设计 膜系设计 膜料 Ta2O5 SiO2 均采用日本浩发的A级品 整个膜层约585nm 膜系设计 膜系设计