RENA清洗设备中文版说明书.doc

RENA清洗设备中文版说明书仅操作部分6、操作6.1 开机6.1.1 步骤1：开机前准备 第一步：打开药液供给侧的手动阀 第二步：关闭所有后侧门 第三步：关闭所有服务和维修窗口的盖板 第四步：解锁所有急停按钮6.1.2步骤2：给机器上电 第一步：将机器的主开关打到ON的状态 此时机器有电 第二步：移走UPS电源的盖板 第三步：将UPS的主开关打到ON的状态 第四步：将主机的主开关打到ON的状态 此时操作系统启动6.1.3步骤3：给CHILLER上电 第一步：将CHILLER的主开关打到ON的状态 此时CHILLER启动6.1.4步骤4：登录Windows 第一步：选择Operator用户 第二步：输入Operator密码，点击确定6.1.5步骤5：启动应用软件6.1.5.1启动SPS软件 第一步：双击WINLC RTX SPS软件启动 SPS软件开始自动运行，直到ON和RUN显示为绿色 第二步：将WINLC RTX最小化6.1.5.2 启动Server 第一步：双击Server 第二步：点击Open Project 第三步：选择Project Path 第四步：点击+ 第五步：点击Configuration 第六步：点击OK 第七步：点击RUN 第八步：点击Start Tag Provider 第九步：最小化服务器程序6.1.5.3 启动用户界面 第一步：双击Client6.1.6步骤6：用户登入 第一步：登入Process6.1.7步骤7：控制系统上电 第一步：按动ON按钮6.2 工艺初始化准备 第一步：登入Service 第二步：了解所有报警信息 第三步：将机器打到Manual状态 第四步：对所有的功能单元下载Recipe 第五步：冷却系统补液 第六步：清洗槽补液 第七步：所有dosage tanks补液 第八步：所有Pump tanks补液 此时机器用于工艺已准备好6.3 自动生产 第一步：登入Operator用户 第二步：确认所有的功能单元都处在Ready状态 第三步：点击Start production6.3.3 停止自动生产6.3.3.1停止预定的自动生产 第一步：点击Scheduled stop 弹出一个窗口 第二步：点击YES 仍在机器内的硅片跑出后停止6.3.3.2停止未预定的自动生产 第一步：点击Unscheduled stop 弹出一个窗口 第二步：点击YES 仍在机器内的硅片将过刻6.3.3.3停止自动生产关闭 步骤1：停止预定的自动生产 第一步：点击Scheduled stop 第二步：点击YES 仍在机器内的硅片跑出后停止 步骤2：点击Unscheduled time6.3.4 手动补液6.3.4.1 工艺槽补液 第一步：点击Process bath 第二步：点击欲加液的dosage tank. 第三步：点击dosage 第四步：输入欲加液的体积 第五步：点击Start manual dosage 补液开始 停止补液 第一步：点击Stop manual dosage 补液停止6.3.4.2 碱槽补液 与以上相似6.3.4.3 酸槽补液 与以上相似6.3.5 滚轮操作6.3.5.1 停止滚轮 第一步：点击Drives break 滚轮停止转动6.3.5.2 启动滚轮 第一步：点击Drives continue 滚轮开始转动6.3.6 机器保护门的操作6.3.6.1 解锁保护门 第一步：点击Unlock pane 保护门解锁6.3.6.2 锁保护门 第一步：点击Lock pane 保护门锁上6.3.7硅片计数器清零 第一步：点击Reset wafer counter 硅片计数器清零6.4 手动操作6.4.1 将机器打到Manual状态 第一步：点击Manual 第二步：等到所有功能单元都切换到Manual状态6.4.2 冷却系统补液 第一步：将机器打到Manual状态 第二步：点击Cooling System 第三步：点击Manual functions 第四步：点击Fill with City Water 冷却系统开始补液 中断冷却系统补液 第五步：点击Stop 正补液的冷却系统停止补液6.4.3 清洗槽补液 第一步：将机器打到Manual状态 第二步：点击欲加液的清洗槽 第三步：点击Manual functions 第四步：点击Fill with DI 清洗槽开始补液6.4.4 dosage tank补液6.4.4.1 工艺槽dosage tank补液 第一步：将机器打到Manual状态 第二步：点击Process bath 第三步：点击Manual functions 第四步：点击欲加化学药品的Dosage Tank Fill dosage tank开始补液 第五步：对所有的dosage tank重复第四步的操作 中断补液 第六步：点击Stop 补液被中断6.4.4.2 碱槽的dosage tanks补液 与以上相似6.4.4.3酸槽的dosage tanks补液 与以上相似6.4.5Pump tanks 补液6.4.5.1工艺槽Pump tanks 补液 第一步：将机器打到Manual状态 第二步：点击Process bath 第三步：点击Manual functions 第四步：对所有的dosage tanks补液 第五步：点击Fill chemistry Pump tank将按照recipe的设定补液 中断补液 第六步：点击Stop 补液被中断6.4.5.2碱槽Pump tanks 补液 与以上相似6.4.5.2酸槽Pump tanks 补液 与以上相似6.4.6Bath槽补液 第一步：将机器打到Manual状态 第二步：冷却系统补液 第三步：所有清洗槽补液 第四步：所有dosage tanks补液 第五步：所有pump tanks补液 第六步：点击InOxSide 第七步：点击Start production Bath槽开始补液6.4.7 冷却系统排液 第一步：将机器打到Manual状态 第二步：点击Cooling system 第三步：点击Manual functions 第四步：点击Drain 冷却系统开始排液 中断排液 第五步：点击Stop 排液被中断6.4.8清洗槽排液 与以上相似6.4.9 将Baths的药液排到pump tank 第一步：将机器打到Manual状态 第二步：选择欲操作的功能单元 第三步：点击Manual functions 第四步：点击Drain bath to pump tank Bath开始排液到Pump tank 中断排液 第五步：点击Stop 排液被中断6.4.10 对baths and pump tank排液 第一步：将机器打到Manual状态 第二步：选择欲操作的功能单元 第三步：点击Manual functions 第四步：点击Drain Bath和Pump tank将被排空6.4.11 对dosage tanks排液 第一步：将机器打到Manual状态 第二步：选择欲操作的功能单元 第三步：点击Manual functions 第四步：点击Drain Bath和Pump tank将被排空 第五步：点击欲操作的dosage tank的Drain dosage tank dosage tank的药液被排到pump tank. pump tank.的药业被排空 中断排液 第六步：点击Stop 排液被中断6.4.12 换液Changing the bath 第一步：将机器打到Manual状态 第二步：选择欲操作的功能单元 第三步：点击Manual functions 第四步：点击Bath change6.4.13 启动自动清洗 清洗周期和清洗时间由recipe的参数预设 第一步：将机器打到Manual状态 第二步：选择欲操作的功能单元 第三步：点击Manual functions 第四步：点击Clean 开始清洗 中断清洗 第五步：点击Stop 清洗被中断6.4.14 启动手动清洗6.4.14.1 工艺槽的手动清洗 第一步：将机器打到Manual状态 第二步：点击Process bath 第三步：点击Manual functions 第四步：点击 Start manual rinse Bath槽的排液阀门打开 用水枪冲洗bath槽 中断清洗 第五步：点击Stop Bath槽的排液阀门关闭手动清洗被中断6.4.14.2 酸槽的手动清洗 与以上相似6.4.15 停止手动清洗6.4.15.1 工艺槽的手动清洗 第一步：将机器打到Manual状态 第二步：点击Process bath 第三步：点击Manual functions 第四步：点击 stop manual rinse Bath槽的排液阀门关闭6.4.15.2酸槽的手动清洗 与以上相似6.4.16 初始化 第一步：将机器打到Manual状态 第二步：选择欲操作的功能单元 第三步：点击Init 功能单元开始初始化 中断初始化 第四步：点击Stop 初始化被中断6.4.17 dosage tanks的余量置零 第一步：将机器打到Manual状态 第二步：点击Process bath 第三步：点击Manual functions 第四步：点击 Bath change The bath is changed. The rest volume dosage tank is reseted6.4.18 检测 第一步：登入Process用户 第二步：打开检测单元的盖子 第三步：将检测容器与检测软管连接 第四步：关闭检测单元的盖子 第五步：点击sampling按钮5秒 第六步：打开检测单元的盖子 第七步：取出检测容器 第八步：锁上检测容器 第九步：关闭检测单元的盖子 第十步：登入Operator用户6.5 设置6.5.1 改变温度6.5.1.1 在生产过程中改变温度 第一步：点击Inoxside 第二步：点击Bath temperature 第三步：改变温度值 第四步：点击OK6.5.1.2 在Recipe里改温度 第一步：点击Inoxside 第二步：点击Process bath 第三步：点击Recipe 第四步：双击pump tank temperature or bath temperature的数值 第五步：更改数值 第六步：点击OK6.5.2 更改带速6.5.2.1在生产过程中改变速度 第一步：点击Inoxside 第二步：点击Speed setpoint 第三步：改变速度值 第四步：点击OK6.5.2.2在Recipe里改速度 第一步：点击Inoxside 第二步：点击Transport 第三步：点击Recipe 第四步：双击欲改变的数值 第五步：更改数值 第六步：点击OK6.5.3 设置第一次补液的比例 第一步：点击Inoxside 第二步：点击欲操作的功能单元 第三步：点击Recipe 第四步：双击Concentration for first fill.的数值 第五步：更改数值 第六步：点击OK6.5.4 设置自动补液 第一步：点击Inoxside 第二步：点击欲操作的功能单元 第三步：点击Recipe 第四步：双击Dosage Volume的数值 第五步：更改数值 第六步：点击OK6.5.5 设置自动清洗6.5.5.1设置清洗周期的编号 第一步：点击Inoxside 第二步：点击欲操作的功能单元 第三步：点击Recipe 第四步：双击Numbers of Cleaning Cycles.的数值 第五步：更改数值 第六步：点击OK6.5.5.2设置清洗时间 第一步：点击Inoxside 第二步：点击欲操作的功能单元 第三步：点击Recipe 第四步：双击Cleaning time. 第五步：更改数值 第六步：点击OK6.5.6设置流动时间 第一步：点击Inoxside 第二步：点击欲操作的功能单元 第三步：点击Recipe 第四步：双击Setpoint flow 第五步：更改数值 第六步：点击OK6.5.7设置dryer 第一步：点击Inoxside 第二步：点击dryer 第三步：点击Recipe 第四步：双击要改变的参数 第五步：更改数值 第六步：点击OK6.6 关机6.6.1 步骤1：机器排液 第一步：点击Scheduled stop No new wafers are conveyed into the machine. The mode of the machine is changed to Standby. Processing of any wafers that are still in the machine is carried out to the end. The baths are drained into the pump tank. The mode of the machine is changed to Manual.6.6.2步骤2：结束工艺准备就绪 第一步：登入Process用户 第二步：所有的Pump tanks排液 第三步：所有的Dosage tanks排液 第四步：清洗所有的Dosage tanks 第五步：清洗所有的Pump tanks 第六步：将机器状态改为Off6.6.3步骤3：关闭控制电源 第一步：在控制面板上点击Off按钮 机器将不再能从界面上控制6.6.4步骤4：关机准备 第一步：关闭所有的药液提供侧的手动阀6.6.5步骤5：关闭总电源 第一步：将主开关打到Off状态6.7 急停按下后的开机6.7.1步骤1：开机准备 第一步：处理急停原因 第二步：解锁所有的急停按钮6.7.2步骤2：打开控制电源 第一步：点击ON按钮6.7.3步骤3：启动准备就绪 第一步：登入Service用户 第二步：将机器打到manual状态 第三步：了解所有的报警信息6.7.4步骤4：开始自动生产 第一步：登入Operator用户 第二步：确保所有的功能单元都处于Ready状态 第三步：点击InOxside 第四步：点击Start production 该按钮键变绿 状态显示变为Init Baths槽开始补液 状态显示变为Auto 机器开始生产 The Semi E10状态改为Start production 6.8断电后的开机6.8.1断电断于10分钟的开机6.8.1.1步骤1：开机前准备 第一步：重启电源6.8.1.2步骤2：打开控制电源 第一步：按动ON按钮 控制电源上电 该按钮键显示为绿色6.8.1.3步骤3：启动准备就绪 第一步：登入Service用户 第二步：将机器打到man