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无尘室相关标准 1 无尘室原理无尘室衡量标准无尘室验收标准 Contents 2 无尘室原理 无尘室概念 以工业铝材 或不锈钢方通 铁方通喷塑 作为框架 采用风机滤网机组FFU送风 四周用防静电垂帘 或钢化玻璃 内部净化级别可达100 100K级 适用局部净化级别要求高的区域 对微粒控制 温度 湿度 照明 噪声 静电 微振的多功能综合整体 3 无尘室原理 依据送风方式的不同 可分为乱流式 非均匀流型 和单一方向式 均匀流型 Class1 100均采用单向流送风方式 即在同一截面的任一点 气流的方向和速度均保持一致 将室内的尘埃粒子以最快的速度带走 靠送风气活塞般的挤压作用 新风量不小于总风量的2 4 Class1000 100000采用非单向流送风方式 以不均匀的速度呈不平行流动 伴有回流或涡流 主要靠气流不断稀释室内空气 将室内的污染逐渐排出 以实现净化 靠气流扩散来稀释 新风量不小于总风量的10 30 测量单位 微米 micrometer 1um 1m的百万分之一 4 无尘室衡量标准 洁净度 参照STD 209E 5 无尘室衡量标准 AirChange HEPA遮蔽率 Airchange FFU的表面积 风速 FFU数量 CleanRoom体积 HEPA遮蔽率 FFU的表面积 FFU数量 CleanRoom面积 6 无尘室衡量标准 风速 温湿度气流速度为 0 3 0 5m s 60 100ft min 一般之温度控制范围 T 21 2 一般之湿度控制范围 45 5 RH 7 无尘室衡量标准 压差在两个无尘室间合理的设计压力差应为10Pa 而在无尘室和未确认洁净等级的区域应保持有15Pa的压力差 当产生这些压力差有实际困难时 维持5Pa的最小压力差是可以接受的 8 无尘室验收标准 用ParticleCounter MetOne 测空气中之粒子总数及大小 离作业面为30公分 依据ISO14644 1可分为三种操作状态 完工状态 无制程设备 原料或工作人员 完工后停止生产状态 室内有制程设备 不含工作人员 运转状态 三者皆在工作状态 9 无尘室验收标准 取样次数要求单一方向气流的测试数量 方法一 气流的流入体积 25方法二 气流的流入体积 洁净度等级的平方根 选数字小者 非单一方向气流的测试数量 方法 气流的流入体积 洁净度等级的平方根 例如 计算iMac所使用的洁净室的测试数量 1 6 3 2 3 2 4 2 7 7 01 1 3 2 44 1 66 3 2 2 2m 3次 例如 计算M97所使用的洁净室的测试数量方法一 16 1 9 2 1 m 25 3次方法二 16 1 9 2 1 m 7次 10 无尘室验收标准 洁净度取样要求取样需两点以上测试点要平均分布各测试点须一个以上的取样数全体需5个以上的取样数各测试点的取样数不一样也可以 11 无尘室验收标准 洁净度判断标准两个条件需同时满足 在每个测试点的粒子浓度平均值应在CLASS上限值以下这些平均值的平均在95 的信赖界限的上限值在CLASS上限值以下 12 无尘室验收标准 实例说明在RingRoom空态下 共取3个点 每个点测量0 5um的粒子 测量记录如下 第一点8 0第二点20 8第三点11 23 14判断依据一 在各测试点的粒子浓度平均值应在CLASS上限值以下第一点的平均值 8 0 2 4第二点的平均值 20 8 2 14第三点的平均值 11 23 14 3 16小结 满足 13 无尘室验收标准 判断依据二 这些平均值的平均在95 的信赖界限的上限值在CLASS上限值以下上限值UCL M SE UCL系数M 平均值的平均M 4 14 16 3 11 3SE 标准误差SE SD SD 标准偏差L 测试点数量SD 6 429SE 6 429 3 71 14 无尘室验收标准 UCL系数 95 信赖界限的UCL系数上限值UCL M SE UCL系数 11 3 3 71 2 9 22 1总结 满足 15 无尘室验收标准 其余要求 注 1 PVC窗帘与地面高度为15 20cm 且应该在立柱内侧 2 配电箱是三相电 电压380V 16 图片欣赏 FFU 风淋室 17 1 2米方通 立柱 18 托框 初效 19 高效 自己找找看 1 盲板 2 PVC帘 3 垂帘 20 抢答环节 1 PVC帘为什么要围在内侧 2 初效过滤器是保护初效的 换