太阳能电池专用等离子体刻蚀机.doc

太阳能电池生产设备主要设备扩散系统用途:设备应用于大规模集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域，适用28硅片退火、氧化、扩散、预沉积等工艺。主要技术指标 1.可配加工硅片尺寸：382.工作温度范围：4001300 3.恒温区长度及精度：6001250 800mm/0.5 4.单点温度稳定性：6001250 1/6h5.最大可控升温速度：15/min6.最大降温速度：5/min7.自动送舟太阳能电池专用等离子体刻蚀机用途:等离子体刻蚀机是采用高频辉光放电手段，使气体离解成活性原子和自由基，与被反应物进行反应，生成挥发性反应物，达到刻蚀目的。M42200-3/WJ等离子体刻蚀机主要用于太阳能电池的周边掺杂硅的刻蚀。具有占地面积小装片容量大生产效率高等到优点。同时还具有手动/自动功，除装卸片手动操作外其余过程实现了全自动，保证了工艺的准确性和重复性，大大提高了产品质量。主要技术指标1刻蚀介质 ： 掺杂硅 氮化硅多晶硅2刻蚀部位 ： 晶片周边3硅片尺寸：210mm圆片或156156mm方片4生产量： 300片/批5射频功率： 13.56MHz 1001000W可调 6气路系统 ： 五路路浮子流量计或二路质量流量计三路浮子流量计7抽气系统： 机械泵节流阀8刻蚀周期：25分/批9控制方式：手动/自动10整机功率：2.5KW太阳能电池链式烧结炉用途：主要用于太阳能电池片的键合烧结，也可用于其它贴片元件的烧结。主要技术指标：1 最高温度：10002 工作温度：1509503 控温精度：3/2h（采用日本温控仪）4 网带宽度：380mm（可根据用户要求改变）5 炉膛有效高度：10mm（可根据用户要求改变）6 加热段数：9段（可根据用户要求改变）7 出口冷却方式：水冷+风冷、风量可调8 网带速度：10005000mm/min 连续可调9 加热功率：100Kw10.加热方式：近红外灯管加热11.护功能：有超温、断偶、报警和保护功能12.温度曲线：按委托方提供的曲线调试13.网带速度稳定性：优于3%14.每各温区一路气体，进、出口各一路气体15.计算机控制APCVD(常压CVD)用途:主要技术指标1.有效成膜宽度：300mm2.加热区数量：3个 3.加热区长度:2000mm3最高加热温度区：7004.温区控制精度：2, 5.送气路数：5路浮子流量计控制（三路恒温源瓶）6.加热方式：红外加热器加热7. 网带速度：7001500mm/min 连续可调8.成膜均匀性：5%快速扩散炉用途:该设备主要用于硅片的快速扩散和晶片的快速退火.主要技术指标:1.最高温度:11502.工作温度:500-11003.升温速度:50/S4.炉膛尺寸:170mm35mm550mm5.加热功率:20KW6.送气路数:三路7.保护功能:有超温,断偶保护功能链式烘干炉用途:主要用于太阳能电池和厚膜电路丝网印刷后的烘干主要技术指标:1.最高温度：3002.工作温度：1002503控温精度：3/2h4网带宽度：600mm5炉膛有效高度：30mm6加热段数：3段7出口冷却方式：风冷、风量可调8网带速度：2001500mm/min 连续可调9加热功率：15Kw10加热方式：近红外灯管加热11总长度：5000mm12炉体长度：3000mm13控制方式：手动、自动、具有自动开、关机功能等离子体粉末纯化系统用途:该设备主要用于硅体粉末材料等离子提纯和粉体材料的改性.主要技术指标1. 反应室有效工作尺寸：80260mm2.机械泵抽速：80l/s 3.极限真空：10Pa 4.工作真空：30Pa100Pa 连续可调 5.真空系统：机械泵电磁阀节流阀过滤器 6.送气路数：二路 7.送气系统：针阀浮子流量计